氏名

ショウジ　シュウイチ

庄子　習一

職名

教授 (https://researchmap.jp/read0206458/)

所属

（基幹理工学部）

プロフィール

1984年 東北大学大学院　工学研究科　博士後期課程修了（工学博士） 1994年 東北大学工学部・助手 1990-1991年　スイス・ヌーシャテル大学研究員 1991年　マサチューセッツ工科大学研究員（国際共同研究） 1992年 　　同　　　　・助教授 1994年 早稲田大学理工学部・助教授 1997年 早稲田大学理工学部・教授 1994-2006 Sensors & Actuators, (A&B) Section Editor 1997年 IEEE MEMS国際会議・議長 1994-1998 同会議論文委員・運営委員 2002年 MicroTAS 国際会議・議長 1998-2005同会議論文委員・運営委員 2006-2010 IEEE J Micro Electromechanical Systems, Editor 2009-2015 International Conference on Solid-state Sensor, Actuator, Microsystems: Transducers 運営委員 2011年 Transducers 国際会議　論文副委員長 2015年 Transducers 国際会議　論文副委員長 2017年 Transducers 国際会議　論文委員長 　　

連絡先

URL等

WebページURL

http://www.shoji.comm.waseda.ac.jp/

研究者番号
00171017

本属以外の学内所属

兼担

理工学術院（大学院先進理工学研究科）

理工学術院（大学院基幹理工学研究科）

研究院（研究機関）/附属機関・学校（グローバルエデュケーションセンター）

学内研究所等

ナノテクノロジー研究所

プロジェクト研究所所長 2006年-2006年

規範科学総合研究所

研究所員 2011年-

理工学総合研究センター

兼任研究員 1989年-2006年

規範科学総合研究所

研究所員 2015年-2019年

ナノテクノロジー研究所

プロジェクト研究所所長 2007年-2014年

グリーンデバイス研究所

研究所員 2014年-2014年

ナノテクノロジー研究所

研究所員 2007年-2014年

ライフサポートイノベーション研究所

研究所員 2014年-2014年

規範科学総合研究所

研究所員 2014年-2014年

低消費電力光インターコネクション研究所

研究所員 2012年-2014年

低消費電力光インターコネクション研究所

研究所員 2015年-

ナノテクノロジー研究所

研究所員 2015年-

アンビエントロニクス研究所

研究所員 2018年-

理工学術院総合研究所（理工学研究所）

兼任研究員 2006年-2018年

理工学術院総合研究所（理工学研究所）

兼任研究員 2018年-

ナノテクノロジー研究所

プロジェクト研究所所長 2017年-2021年

ライフサポートイノベーション研究所

研究所員 2015年-2019年

ライフサポートイノベーション研究所

研究所員 2019年-

規範科学総合研究所

研究所員 2019年-

グリーンデバイス研究所

研究所員 2015年-2018年

学歴・学位

学位

工学博士 課程 東北大学

所属学協会

電子情報通信学会

電気学会

IEEE

日本機械学会

日本ME学会

応用物理学会

化学とマイクロナノシステム研究会 会長

受賞

Mate2018 優秀発表賞 （学生賞）

2018年01月

タイトル：非晶質層を用いたLiTa03/QZ接合SAW基板の作製

受賞者(グループ)：須崎遥、桑江博之、岸田和人、垣尾省司、庄子習一、水野潤

第３４回　センサ・マイクロマシンと応用システム　シンポジウム　奨励賞

2017年10月授与機関：電気学会　センサ・マイクロマシン部門

タイトル：フレキシブルエレクトロニクスデバイスへ向けたメッシュパターンを有するフレキシブル酸化インジウムスズ電極

受賞者(グループ)：坂本暁祐、桑江博之、小林直史、登厚惇輝、庄子習一、水野潤

2017 Taiwan-Japan Workshop on Electronic Interconnection I Best Oral Presentation Award

2017年10月

タイトル：Effects of Surface Modification on Woody Carbon Materials by Vacuum Ultraviolet Treatment

受賞者(グループ)：H. Kuwae, K. Mizokami, S. Maeda,.S. Shoji, J. Mizuno

IEEE CPMT Japan Chapter Young Award of ICEP 2017

2017年04月

タイトル：Fabrication of Self-Standing Curved Film with Pillar Arrays by Large Area Spherical Soft-UV Imprint Lithography

受賞者(グループ)：T. Kamibayashi, H. Kuwae, A. Nobori, S. Shoji, J. Mizuno

IEEE-NEMS 2017 Best Student Paper Award

2017年04月

タイトル：Highly Bendable Transparent Electrode Using Mesh Patterned Indium Tin Oxide for Flexible Electronic Devices

受賞者(グループ)：K. Sakamoto, H. Kuwae, N. Kobayashi, A. Nobori, S. Shoji, J. Mizuno

電気学会　フェロー

2017年03月授与機関：電気学会

タイトル：フェロー

Mate2017 優秀発表賞

2017年02月

タイトル：ナノポーラス金接合に向けた真空紫外光による表面前処理

受賞者(グループ)：金田達志、岡田愛姫子、付偉欣、庄子習一、齊藤美紀子、西川宏、水野潤

IMPACT-IAAC 2016 Student Packaging Paper Award

2016年10月

タイトル：Simultaneous Fabrication of a Through-Glass Interconnect Via and Bumps Using Dry Filling Process of Submicron Gold Particles

受賞者(グループ)：K. Nomura, A. Okada, S. Shoji, T. Ogashiwa, J. Mizuno

The 10th IMPACT Conference Student Paper Award

2015年10月

タイトル：Low Temperature Direct Bonding of Polyether Ether Ketone (PEEK) and Pt

受賞者(グループ)：W. Fu, A. Shigetou, S. Shoji, J. Mizuno

電気学会 第２４回業績賞

2015年05月

受賞者(グループ)：庄子習一

第３１回センサ・マイクロマシンと応用システム シンポジウム 奨励賞

2014年10月

IEEE CPMT Japan Chapter Young Award, 2014 International Conference on Electronics Packaging (ICEP 2014)

2014年04月授与機関：IEEE

Young Award, IEEE CPMT Symposium Japan 2013

2013年11月授与機関：International Conference on Electronics Packaging 2013

日本タイトルなし

2013年10月

優秀ポスター発表賞、ＣＳＪ化学フェスタ２０１３

2013年10月

ICEP 2013 IEEE CPMT Japan Chapter Young Award, International Conference on Electronics Packaging 2013 (ICEP 2013)

2013年04月

日本タイトルなし

2012年11月

日本タイトルなし

2012年10月

日本タイトルなし

2012年10月

日本タイトルなし

2012年07月

日本タイトルなし

2012年05月

日本タイトルなし

2011年06月

日本タイトルなし

2011年06月

第１８回化学とマイクロ・ナノシステム研究会　優秀ポスター賞

2008年12月

日本タイトルなし

2007年07月

電気学会　電気技術振興賞　論文賞

2007年

日本タイトルなし

2003年10月

科学計測振興会賞　「パッケージドマイクロセンサ」

1993年

電子情報通信学会論文賞　「生体用マイクロISFETの試作」

1985年

Mate 2019 優秀発表賞　（学生賞）

2019年01月

タイトル：メッシュパターンを有するフレキシブル酸化インジウムスズ電極の開発

受賞者(グループ)：坂本暁祐、桑江博之、庄子習一、水野潤

Mate 2019優秀発表賞 （学生賞）

2019年01月

タイトル：フレキシブル木質系炭素材料を用いた水蒸気発電デバイス

受賞者(グループ)：高橋奈々、前田世蓮、桑江博之、庄子習一、水野潤

CIAiS International Symposium 2019 Best Poster Award

2019年03月

タイトル：Water-Electrokinetic Energy Harvester Using Flexible Woody Carbon Film

受賞者(グループ)：S. Maeda, H. Kuwae, S. Shoji, J. Mizuno

IEEE EPS Japan Chapter Young Award

2019年04月授与機関：2019 International Conference on Electronics Packaging (ICEP 2019)

タイトル：Cu-Cu Quasi-Direct Bonding with Atomically Thin-Au and Pt Intermediate Layer Using Atomic Layer Deposition

受賞者(グループ)：H. Kuwae, K. Yamada, W. Momose, S. Shoji, J. Mizuno

Best Student Poster Award

2019年07月授与機関：The 10th Japan-China-Korea Joint Conference on MEMS/NEMS 2019

タイトル：Introduction of the Study on Moisture Adsorption Characteristics of Woody Carbon Material

受賞者(グループ)：N. Takahashi, H. Kuwae, S. Shoji, J. Mizuno

IEP Poster Award of ICEP 2019」

2019年04月授与機関：2019 International Conference on Electronics Packaging (ICEP 2019)

タイトル：Study of Low-Residual Stress Amorphous Film Deposition Method for LiTaO3/Quarts or LiNbO3/Quarts Bonding toward 5G Surface Acoustic Wave Devices

受賞者(グループ)：A. Tezuka, H. Kuwae, K. Yamada, S. Shoji, S. Kakio, J. Mizuno

優秀ポスター賞

2020年01月授与機関：第２６回「エレクトロニクスにおけるマイクロ接合・実装技術」シンポジウム（Mate 2020)

タイトル：液体有機ELを用いたオンデマンド蛍光検出システムの開発

受賞者(グループ)：大塚茜里、桑江博之、大島寿郎、庄子習一、水野潤

Mate 2020 優秀発表賞

2020年01月授与機関：第２６回「エレクトロニクスにおけるマイクロ接合・実装技術」シンポジウム（Mate 2020)

タイトル：ソフトリソグラフィー技術を用いてマイクロパターン化した魚うろこコラーゲン足場材付き培養口腔粘膜の作成

受賞者(グループ)：三輪慶人、鈴木絢子、桑江博之、山口勇、兒玉泰洋、泉健次、庄子習一、水野潤

IMPACT 2019 Packaging - Best Student Award

2019年10月授与機関：14th International Microsystems, Packaging, Assembly and Circuits Technology Conference (IMPACT-IAAC 2019)

タイトル：LiTaO3/Quarts Bonding with Low-Residual-Stress Al2O3 Amorphous Intermediate Layer for 5G Surface Acoustic Wave Devices

受賞者(グループ)：A. Tezuka, H. Kuwae, K. Yamada, S. Shoji, S. Kakio, J. Mizuno

化学とマイクロ・ナノシステム学会賞

2020年05月授与機関：化学とマイクロ・ナノシステム学会

化学とマイクロ・ナノシステム学会賞

2020年05月授与機関：化学とマイクロ・ナノシステム学会

受賞者(グループ)：庄子習一

取材ガイド

カテゴリー
工学
専門分野
計測工学、微細加工学、MEMS
自己紹介コメント
半導体の加工技術を応用した３次元マイクロ加工やトップダウンナノテクノロジーを応用して、化学、バイオ、医療を目的としたマイクロ／ナノデバイス・システムの実現を目指しています。また、次世代LSIやディスプレイ等電子産業分野への貢献を目的として低環境負荷を意識した新たなナノスケール３次元加工技術を開発進めています。
キーワード
マイクロ化学、ナノバイオ工学

研究分野

キーワード

マイクロセンサ、微小電気機械システム、マイクロナノ化学・生化学システム

研究シーズ

ナノインプリント技術を用いた高品質GaNテンプレート基板

シーズ分野：ナノ・材料

異種材料の低温大気圧ハイブリッド接合技術

シーズ分野：ナノ・材料

マイクロ・ナノデバイス

シーズ分野：ナノ・材料

マイクロ流体白色有機EL

シーズ分野：ナノ・材料

簡易組み立て工程で実現するポリマーエナジーハーベスター

シーズ分野：ものづくり技術, エネルギー

圧電薄膜フィルムを用いた安価な振動発電素子

シーズ分野：環境, ナノ・材料

骨親和性の生体埋植材

シーズ分野：ライフサイエンス

研究テーマ履歴

1978年09月-マイクロマシーニング

研究テーマのキーワード：微細加工学

個人研究

1978年09月-生体情報計測用マイクロシステム

個人研究

1986年04月-化学・生化学マイクロ・ナノシステム

個人研究

人工衛星用マイクロセンサ

個人研究

1986年04月-マイクロフルィディクエンジニアリング

研究テーマのキーワード：マイクロ流体工学

個人研究

論文

Size-Dependent and Property-Independent Passive Microdroplet Sorting by Droplet Transfer on Dot Rails

D.H. Yoon, D. Tanaka, T. Sekiguchi, S. Shoji

Micromachines査読有り9(10)2018年10月-

DOI

Color-Tunable Microfluidic Electrogenerated Chemiluminescence Cells Using Y-Shaped Micromixer

T. Kasahara, R. Ishimatsu, H. Kuwae, S. Shoji, J. Mizuno

Japanese Journal of Applied Physics査読有り57(12)p.128001-1 - 128001-42018年10月-

DOI

詳細

掲載種別：研究論文（学術雑誌）

Structural Formation of Oil-in-Water (O/W) and Water-in-Oil-in-Water (W/O/W) Droplets in PDMS Device Using Protrusion Channel without Hydrophilic Surface Treatment

D.H. Yoon, D. Tanaka, T. Sekiguchi, S. Shoji

Micromachines査読有り9(9)2018年09月-

DOI

Construction of Integrated Gene Logic-Chip

T. Masubuchi, M. Endo, R. Iizuka, A. Iguchi, D.H. Yoon, T. Sekiguchi, H. Qi, R. Iinuma, Y. Miyazono, S. Shoji, T. Funatsu, H. Sugiyama, Y. Harada, T. Ueda, H. Tadakuma

Nature Nanotechnology Letters査読有り20182018年07月-

DOI

Compensation of Surface Roughness Using an Au Intermediate Layer in a Cu Direct Bonding Process

T. Kamibayashi, H. Kuwae, N. Suzuki, T. Nonaka, S. Shoji, J. Mizuno

Journal of Electronic Materials査読有り20182018年06月-

DOI

A Wide-Energy-Gap Naphthalene-Based Liquid Organic Semiconductor Host for Liquid Deep-Blue Organic Light-Emitting Diodes

N. Kobayashi,H. Kuwae, J. Oshima, R. Ishimatsu, S. Tashiro, T. Imato, C. Adachi, S. Shoji, J. Mizuno

Journal of Luminescence査読有り200p.19 - 232018年03月-

DOI

Highly Flexible Transparent Electrodes Based on Mesh-Patterned Rigid Indium Tin Oxide

K. Sakamoto, H. Kuwae, N. Kobayashi, A. Nobori, S. Shoji, J. Mizuno

Scientific Reports査読有り82018年02月-

DOI

Mechanical Reinforcement of Low-Concentration Alginate Fibers by Microfluidic Embedding of Multiple Cores

D.H. Yoon, D. Tanaka, T. Sekiguchi, S. Shoji

Macromolecular Materials and Engineering査読有り20182018年01月-

DOI

Fabrication of Hole-Patterned Self-Standing Curved Film Using Large-Area Spherical Soft UV Imprint Lithography

T. Kamibayashi, H. Kuwae, S. Shoji, J. Mizuno

Transactions of The Japan Institute of Electronics Packaging査読有り10p.E17-002-1 - E17-002-62017年12月-

DOI

Low Temperature Poly(oxymethylene) Direct Bonding via Self-Assembled Monolayer

W. Fu, B. Ma, H. Kuwae, S. Shoji, J. Mizuno

Japanese Journal of Applied Physics査読有り57(2S1)p.02BB01-1 - 02BB01-52017年11月-

DOI

Synthesis of an Azo–Mn(II) Complex with Mild pH Control Using a Microfluidic Device

D. Tanaka, S. Sawai, D.H. Yoon, T. Sekiguchi, T. Akitsu, S. Shoji

RSC Advances査読有り2017(7)p.39576 - 395822017年08月-

DOI

A High-Resolution Passive Droplet-Phase Sample Sorter Using Multi-Stage Droplet Transfer

D.H. Yoon, Z, Xie, D. Tanaka, T-Sekiguchi, S. Shoji

RSC Advances査読有り2017(7)p.36750 - 367542017年07月-

DOI

Low Temperature Direct Bonding between PEEK (Polyetheretherketone) and Pt via Vapor-Assisted Vacuum Ultraviolet Surface Modification

W. Fu, A. Shigetou, S. Shoji, J. Mizuno

Journal of Materials Science and Engineering B査読有り7(2)p.49 - 622017年06月-

DOI

Analysis of Vinylidene Fluoride–Trifluoroethylene Copolymer Film for Nonpolarized Energy Harvester

Y. Kamata, T. Sekiguchi, T. Nakajima, T. Sasaki, D.H. Yoon, D. Tanaka, S. Shoji

Japanese Journal of Applied Physics査読有り56(7)p.070301-1 - 070301-32017年06月-

DOI

二重凹角構造ピラーアレイを応用した超撥水性表面の低コスト量産プロセスの開発

中西完貴、簔城森幸、尹棟鉉、関口哲志、庄子習一

電気学会論文誌Ｅ査読有り137(6)p.165 - 1682017年06月-

DOI

Low-Temperature Direct Heterogeneous Bonding of Polyether Ether Ketone and Platinum

W. Fu, A. Shigetou, S. Shoji, J. Mizuno

Journal of Materials Science and Engineering C査読有り79p.860 - 8652017年05月-

DOI

橋架け構造により高い擦り耐性を実現するガラスナノピラーの作製

桑江博之、須藤健成、岡田愛姫子、高山公介、庄子習一、水野潤

電気学会論文誌Ｅ査読有り137(3)p.72 - 772017年03月-

DOI

Development of an exVivo Brain Lactic Acid Monitoring System

S. Negishi, S. Kamada, R. Kajiwara, Y. Kaneko, D.H. Yoon, T. Sekiguchi, S. Shoji, H. Kudo

IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines査読有り137 No.1 (2017) pp.38-43,(1)p.38 - 432017年01月-

DOI

Application of I-Structure Though-Glass Interconnect Filled with Submicron Gold Particles to a Hermetic Sealing Device

K. Nomura, A. Okada, S. Shoji, T. Ogashiwa, J. Mizuno

Journal of Micromechanics and Microengineering査読有り26(10)2016年09月-

DOI

Stacked Piezoelectric Energy Harvesting Device by Printing Process

Y. Kamata, D.H. Yoon, T. Sasaki, Y. Nozaki, S. Yamaura, T. Sekiguchi, T. Nakajima, S. Shoji

Micro & Nano Letters査読有りp.1 - 42016年08月-

DOI

Retention and Bandwidths Predictions by Fast Gradient Elution Chromatography Using a Pillar Array Column

Y. Song, K. Takatsuki, T. Sekiguchi, T. Funatsu, S. Shoji, M. Tsunoda,

Chromatography査読有り2016年07月-

DOI

Liquid Chromatography Chip with Low-Dispersion and Low-Pressure-Drop Turn Structure Utilizing a Distribution-Controlled Pillar Array

M. Isokawa, K. Takatsuki, Y.T. Song, K. Shih, K. Nakanishi, Z. Xie, D.H. Yoon, T. Sekiguchi, T. Funatsu, S. Shoji, M. Tsunoda

Analytical Chemistry査読有り88(12)p.6485 - 64912016年06月-

DOI

Microfluidic Stamping on Sheath Flow

D.H. Yoon, D. Tanaka, T. Sekiguchi, S. Shoji

Small査読有り12(24)p.3224 - 32282016年06月-

DOI

Fabrication of Bottom-Emitting Organic Light-Emitting Diode Panels Interconnected with Encapsulation Substrate by Au-Au Flip-Chip Bonding and Capillary-Driven Filling Process

S. Yamada, C.-H. Shim, T. Edura, A. Okada, C. Adachi, S. Shoji, J. Mizuno,

Microelectronic Engineering査読有り161p.94 - 972016年04月-

DOI

Culture-Independent Method for Identification of Microbial Enzyme-Encoding Genes by Activity-Based Single-Cell Sequencing Using a Water-in-Oil Microdroplet Platform

K. Nakamura, R. Iizuka, S. Nishi, T. Yoshida, Y. Hatada, Y. Takaki, A. Iguchi, D. H. Yoon, T. Sekiguchi, S. Shoji, T. Funatsu

Scientific Reports査読有り62016年02月-

DOI

Evaluation of Hybrid Bonding Technology of Single–Micron Pitch with Planar Structure for 3D Interconnection

M. Ohyama, M. Nimura, J. Mizuno, S. Shoji, T. Nonaka, Y. Shinba, A. Shigetou

Microelectronics Reliability査読有り59p.134 - 1392016年01月-

DOI

詳細

ISSN：00262714

Fabrication Methodology for a Hermetic Sealing Device Using Low Temperature Intrinsic-Silicon/Glass Bonding

K. Nomura, A. Okada, S. Shoji, T. Ogashiwa, J. Mizuno

Transactions of The Japan Institute of Electronics Packaging査読有り8(1)p.74 - 802015年12月-

DOI

A Metal Bump Bonding Method Using Ag Nanoparticles as Intermediate Layer

W. Fu, M. Nimura, T. Kasahara, H. Mimatsu, A. Okada, S. Shoji, S. Ishizuka, J. Mizuno

Journal of Electronic Materials査読有り44(11)p.4646 - 46522015年11月-

DOI

Suppression of External Quantum Efficiency Roll-Off of Nanopatterned Organic-Light Emitting Diodes at High Current Densities

H. Kuwae, A. Nitta, K. Yoshida, T. Kasahara, T. Matsushima, M. Inoue, S. Shoji, J. Mizuno, C. Adachi

Journal of Applied Physics査読有り1182015年10月-

DOI

Isopentenyl Pyrophosphate Secreted from Zoledronate-Stimulated Myeloma Cells, Activates the Chemotaxis of γδT Cells

E. Ashihara, T. Munaka, S. Kimura, S. Nakagawa, Y. Nakagawa, M. Kanai, H. Hirai, H. Abe, T. Miida, S. Yamato, S. Shoji, T. Maekawa

Biochemical and Biophysical Research Communications463p.650 - 6552015年06月-

DOI

マイクロ流体電気化学発光素子を励起光源として用いたポータブル蛍光検出デバイスの作製

津脇美帆、笠原崇史、江面知彦、大島寿郎、國澤栄里、石松亮一、松波成行、今任稔彦、安達千波矢、庄子習一、水野潤

電気学会論文誌Ｅ135(6)p.230 - 2352015年06月-

DOI

Formation of Polymeric Hollow Microcapsules and Microlenses Using Gas-in-Organic-in-Water Droplets

D.H. Yoon, K. Hasegawa, Y. Kaneko, T. Arakawa, J.S. Go, T. Sekiguchi, S. Shoji

Micromachines 20156p.622 - 6332015年05月-

DOI

Chemical Reaction in Microdroplets with Different Sizes Containing CdSe/ZnS Quantum Dot and Organic Dye

T. Fukuda, T. Kurabayashi, H. Udaka, N. Funaki, M. Suzuki, D.H. Yoon, A. Nakahara, T. Sekiguchi, S. Shoji

IEICE TRANS. ELECTRON.E98-C(2)p.123 - 1262015年02月-

DOI

Selective Droplet Sampling Using a Minimum Number of Horizontal Pneumatic Actuators in a High Aspect Ratio and Highly Flexible PDMS Device

D. H. Yoon, D. Wakui, A. Nakahara, T. Sekiguchi, S. Shoji

RSC Advances 20155p.2070 - 20742014年12月-

DOI

木質系炭素材料を用いた電気二重層キャパシタ用機能性電極

船橋翼、庄子習一、佐藤正倫、北島昌夫、梅津理恵、水野潤

電子情報通信学会論文誌J97-C(11)p.386 - 3902014年11月-

Multi-Color Microfluidic Organic Light-Emitting Diodes Based on on-Demand Emitting Layers of Pyrene-Based Liquid Organic Semiconductors with Fluorescent Guest Dopants

T. Kasahara, S. Matsunami, T. Edura, R. Ishimatsu, J. Oshima, M. Tsuwaki, T. Imato, S. Shoji, C. Adachi, J. Mizuno

Sensors and Actuators B207p.481 - 4892014年10月-

化学・バイオ・医療への応用を目的とした３次元微細加工

庄子習一

バイオマテリアル32(4)p.256 - 2632014年10月-

マイクロ流体有機ＥＬデバイスの作製

笠原崇史、津脇美帆、庄子習一、水野潤

化学工業65(9)p.37 - 422014年09月-

Droplet-Based Microfluidics for High-Throughput Screening of a Metagenomic Library for Isolation of Microbial Enzymes

M. Hosokawa, Y. Hoshino, Y. Nishikawa, T. Hirose, D.H. Yoon, T. Mori, T. Sekiguchi, S. Shoji, H. Takeyama

Biosensors and Bioelectronics2014年08月-

DOI

Multi-Color Microfluidic Electrochemiluminescence Cells

T. Kasahara, S. Matsunami, T. Edura, R. Ishimatsu, J. Oshima, M. Tsuwaki, T. Imato, S. Shoji, C. Adachi, J. Mizuno

Sensors and Actuators A214p.225 - 2292014年08月-

DOI

Development of an Electrohydrodynamic Ion-Drag Micropump Using Three-Dimensional Carbon Micromesh Electrodes

D.H. Yoon, H. Sato, A. Nakahara, T. Sekiguchi,, S. Konishi, S. Shoji

Journal of Micromechanics and Microengineering24(9)2014年07月-

DOI

Real-Time Monitoring of Chemical Reaction in Microdroplet Using Fluorescence Specctroscopy

T. Fukuda, N, Funaki, T. Kurabayashi, M. Suzuki, D.H. Yoon, A. Nakahara, T. Sekiguchi, S. Shoji

Sensors and Actuators B203p.536 - 5422014年07月-

DOI

Fabrication and Characterization of Large-Area Flexible Microfluidic Organic Light-Emitting Diode with Liquid Organic Semiconductor

M. Tsuwaki, T. Kasahara, T. Edura, S. Matsunami, J. Oshima, S. Shoji, C. Adachi, J. Mizuno

Sensors and Actuators A216p.231 - 2362014年06月-

DOI

Active Microdroplet Merging by Hydrodynamic Flow Control Using a Pneumatic Actuator-Assisted Pillar Structure

D.H. Yoon, A. Jamshaid, J. Ito, A. Nakahara, D. Tanaka, T. Akitsu, T. Sekiguchi, S. Shoji

Lab on a Chip2014p.3050 - 30552014年06月-

DOI

Hybrid Au-Adhesive Bonding Using Planar Adhesive Structure for 3-D LSI

M. Nimura, J. Mizuno, S. Shoji, K. Sakuma, H. Ogino, T. Enomoto, A, Shigetou

IEEE Transactions on Components, Packaging and Manufacturing Technology4(5)p.762 - 7682014年05月-

DOI

センサ・マイクロマシン技術のあゆみと現状

庄子習一

電気学会創立１２５周年記念特集号 巻頭言、電気学会誌３134(3)p.1272014年03月-

Vacuum Ultraviolet Irradiation Treatment for Reducing Gold-Gold Bonding Temperature

A. Okada, S. Shoji, M. Nimura, A. Shigetou, K. Sakuma, J. Mizuno

Materials Transactions54(11)p.2139 - 21432013年11月-

Fast and Quantative Analysisi of Branched-Chain Amino Acids in Biological Samples Using a Pillar Array Column

Y. Song, K. Takatsuki, M. Isokawa, T. Sekiguchi, J. Mizuno, T. Funatsu, S. Shoji, M. Tsunoda

Analytical and Bioanalytical Chemistry405(25)p.7993 - 79992013年10月-

Film of Lignocellulosic Carbon Material for Self-Supporting Electrodes in Electric Double-Layer Capacitors

T. Funabashi, J. Mizuno, M. Sato, M. Kitajima, M. Matsuura, S. Shoji

APL Materials1(3)p.321042013年09月-

DOI

Fabrication of Low Dislocation Density GaN Template by Nano-Channel FIELO Using Nanoimprint Lithography

A. Okada, S. Shoji, H. Shinohara, H. Nishihara, H. Goto, H Sunakawa, T. Matsueda, A. Usui, A, Yamaguchi, J. Mizuno

Journal of Photopolymer Science and Technology26(1)p.69 - 722013年06月-

Fabrication and Performance Evaluation of Microfluidic Organic Light Emitting Diode

T. Kasahara, S. Matsunami, T. Edura, J. Oshima, C. Adachi, S. Shoji, J. Mizuno

Sensors and Actuators A195p.219 - 2232013年06月-

DOI

Active and Precise Control of Microdroplet Division Using Horizontal Pneumatic Valves in Bifurcating Microchannel

D.H. Yoon, J. Ito , T. Sekiguchi , S. Shoji

Micromachines 20134(2)p.197 - 2052013年05月-

DOI

Low-Temperature Au-Au Bonding Using Nanoporous Au-Ag Sheets

H. Mimatsu, J. Mizuno, T. Kasahara, M. Saito, H. Nishikawa, S. Shoji

Japanese Journal of Applied Physics52p. 0502042013年04月-

Controllable Active Micro Droplets Merging Device Using Horizontal Pneumatic Micro Valves

A. Jamshaid, M. Igaki, D.H. Yoon, T. Sekiguchi, S. Shoji

Micromachines?2013 4(1)p.34 - 482013年03月-

DOI

Integrated Channel Selector for Directing Fluid Flow Using Thermoreversible Gelation Controlled by a Digital Mirror Device

Y. Shirasaki, M. Tatsuoka, M. Yamagishi, J. Mizuno, S. Shoji, T. Funatsu

Journal of Sensors2013p.Article ID 436492 - (6pages)2013年03月-

Matrix Arrangement of Three-Dimensional Sheath Flow for Multiple Component Nanofibers

D.H. Yoon, A. Nakahara, A. Jamshaid, H. Sato, T. Sekiguchi, S. Shoji

Journal of Sensors2013p.Article ID 814753 - (6pages)2013年03月-

Study on Hybrid Au-Underfill Resin Bonding Method with Lock-and-Key Structure for 3-D Integration

M. Nimura, J. Mizuno, A. Shigetou, K. Sakuma, H. Ogino, T. Enomoto, S. Shoji

IEEE Transactions on Components, Packaging and Manufacturing Technology3p.10.1109/TCPMT.2013.22405662013年02月-

Fabrication and Surface Modification of Flat Lignocellulosic Carbon Materials

T. Funabashi, M. Sato, M. Kitajima, S. Shoji, J. Mizuno

Japanese Journal of Applied Physics52p.0102032013年01月-

Surface Modification of Polyethylene Terephthalate (PET) by 172-nm Excimer Lamp

T. Kasahara, S. Shoji, J. Mizuno

Transactions of The Japan Institute of Electronics Packaging5(1)p.47 - 542012年12月-

Continuous Generation of Femtolitre Droplets Using Multistage Dividing　Microfluidic Channel

K. Kawai, M. Fujii, J. Uchikoshi, K. Arima, S. Shoji, M. Morita

Current Applied Physics12p.533 - 5372012年12月-

Stand-Alone Micro Fluidic System Using Partly Disposable PDMS Microwell Array for High Throughput Cell Analysis

K. Miyamoto, R. Yamamoto, K. Kawai, S. Shoji

Sensors and Actuators A188p.133 - 1402012年12月-

三次元ＬＳＩに向けたはんだと接着剤のハイブリッド接合技術と表面処理技術

仁村将次、佐久間克幸、庄子習一、水野潤

電子情報通信学会論文誌J95-C(11)p.296 - 3032012年11月-

Large-Scale Atmospheric Step-and-Repeat UV Nanoimprinting

K. Ishibashi, H. Goto, J. Mizuno, S. Shoji

Journal of Nanotechnology2012p.Article ID 1034392012年08月-

Large Area Nano Pattern Fabrication Using Improved Step and Repeat UV Nanoimprint

K. Ishibashi, H. Goto, T. Kasahara, J. Mizuno, S. Shoji

Journal of Photopolymer Science and Technology25(2)p.235 - 2382012年06月-

Development of a Roll Press UV Imprint Process for Replication of Microstructures on a Large and Thin Quarts Substrate

M. Okubo, Y. Tsutsui, K. Ishibashi, L. Li, S. Shoji, J. Mizuno, Y. Yanagisawa

Journal of Photopolymer Science and Technology25(2)p.229 - 2342012年06月-

シリコンチップの新接合技術 (New Chip Joint Method for Silicon Die Bonding)

水野潤、佐久間克幸、宇波奈保子、仁村将次、庄子習一

スマートプロセス学会誌1(3)p.120 - 1252012年05月-

Construction of Membrane Sieves Using Stoichiometric and Stress-Reduced Si3N4/SiO2/Si3N4 Multilayer Films and Their Applications in Blood Plasma Separation

D-S. Lee, Y.H. Choi, Y.D. Han, H.C. Yoon, S. Shoji, M.Y. Jung

ETRI Journal34(2)p.226 - 2342012年04月-

DOI

Biochip Applications of DLC Films on a Resin Material

S. Murata, S. Ito, J. Mizuno, K. Hirakuri, H. Sakamoto, S. Masuko, K. Sato, N. Fukata, F. Shizuku, S. Shoji

Physica Status Solidi C9(6)p.1439 - 14422012年03月-

XPS and NEXAFS Studies of VUV/O3-Treated Aromatic Polyurea and its Application to Microchip Electrophoresis

H. Shinohara, A. Nakahara, F. Kitagawa, Y. Takahashi, K. Otsuka, S. Shoji, O. Ohara, J. Mizuno

IET (The Institution of Engineering and Technology) Nanobiotechnology 20115(4)p.136 - 1422012年01月-

集積化マイクロ・ナノ流体システムと環境技術への応用展望

庄子習一

超精密17p.44 - 472011年12月-

Improvement of the Size-Selective Separation of Microbeads in a Curved Microchannel Using Particle Focusing

B.H. Kwon, H.H. Kim, J. Cha, C.H. Ahn, T. Arakawa, S. Shoji, J.S. Go

Japanese Journal of Applied Physics50p.973012011年09月-

Integrated Hydrophilic Surface Treatment System of Vapor Deposition Polymerization and Vacuum Ultraviolet Irradiation for Chemical/Biochemical Microchips

H. Shinohara, T. Hori, S. Umeda, Y. Takahashi, S. Shoji, O. Ohara, J. Mizuno

Microelectronic Engineering88(8)p.2751 - 27542011年08月-

Low-Temperature Wafer Bonding for MEMS Packaging Utilizing Screen-Printed Sub-Micron Size Au Particle Patterns

S. Ishizuka, N. Akiyama, T. Ogashiwa, T. Nishimori, H. Ishida, S. Shoji, J. Mizuno

Microelectronic Engineering88(8)p.2275 - 22772011年08月-

Fabrication of High-Aspect-Ratio Amorphous Perfluorinated Polymer Structure for Total Internal Reflection Fluorescence Microscopy

A. Nakahara, Y. Shirasaki, K. Kawai, O. Ohara, J. Mizuno, S. Shoji

Microelectronic Engineering88(8)p.1817 - 18202011年08月-

Anti-Sticking Curing of Fluorinated Polymers for Improvement of Mold Releasability

J. Mizuno, L. Li, Y. Kawaguchi, K. Tsunozaki, H. Shinohara, S. Shoji

Journal of Photopolymer Science and Technology24(1)p.89 - 932011年07月-

Studies on Low-Temperature Direct Bonding of VUV/O3-, VUV-and O2 Plasma-Pre-Treated Poly-Methylmethacrylate

H. Shinohara, T. Kasahara, S. Shoji, J. Mizuno

Journal of Micromechanics and Microengineering21p.850282011年07月-

Microfluidic Active Sorting of DNA Molecules Labeled with Single Quantum Dots Using Flow Switching by a Hydrogel Sol-Gel Transition

M. Haneoka, Y. Shirasaki, H. Sugino, T. Aoki, T. Arakawa, K. Ozaki, D.H. Yoon, N. Ishii, R. Iizuka, S. Shoji, T. Funatsu

Sensors and Actuators B159p.314 - 3202011年06月-

Development of Lateral Displacement Sensor for Real-Time Detection of Structural Damage

I. Matsuya, R. Tomishi, M. Sato, K. Kanekawa, Y. Nitta, M. Takahashi, S. Miura, Y. Suzuki, T. Hatada, R. Katamura, T. Tanii, S. Shoji, A. Nishitani and I. Ohdomari

IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering6(3)p.266 - 2722011年05月-

マイクロＴＡＳの始まりと国際会議の歴史

庄子習一

電気学会誌131(5)p.281 - 2822011年05月-

High-Throughput Single-Cell Manipulation System for a Large Number of Target Cells

T. Arakawa, M. Noguchi, K. Sumitomo, Y. Yamaguchi, S. Shoji

Biomicrofluidics5(1)p.141142011年03月-

Studies on Low-Temperature Direct Bonding of VUV, VUV/O3 nd O2 Plasma Pretreated Cyclo-Olefin Polymer

H. Shinohara, J. Mizuno, S. Shoji

Sensors and Actuators A165(1)p.124 - 1312011年01月-

Improvement of Filtration Performance Using Self-Turning of Flow Resistance

D.H. Yoon, Y.K. Bahk, B.H. Kwon, S.S. Kim, Y.-D. Kim, T. Arakawa, J.S. Go, S. Shoji

Japanese Journal of Applied Physics50p.172012011年01月-

Simple and Low-Cost Fabrication of Flexible Capacitive Tactile Sensors

T. Kasahara, M. Mizushima, H. Shinohara, T. Obata, T. Futakuchi, S. Shoji, J. Mizuno

Japanese Journal of Applied Physics50p.165022011年01月-

Simple and Low-Cost Fabrication of Flexible Capacitive Tactile Sensors

Kasahara, Takashi;Mizushima, Masanori;Shinohara, Hidetoshi;Obata, Tsutomu;Futakuchi, Tomoaki;Shoji, Shuichi;Mizuno, Jun

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS50(1)2011年-2011年

DOIWoS

詳細

ISSN：0021-4922

Improvement of Filtration Performance Using Self-Tuning of Flow Resistance

Yoon, Dong Hyun;Bahk, Yeon Kyoung;Kwon, Bong Hyun;Kim, Seong Sik;Kim, Yong-Deok;Arakawa, Takahiro;Go, Jeung Sang;Shoji, Shuichi

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS50(1)2011年-2011年

DOIWoS

詳細

ISSN：0021-4922

Studies on low-temperature direct bonding of VUV, VUV/O-3 and O-2 plasma pretreated cyclo-olefin polymer

Shinohara, Hidetoshi;Mizuno, Jun;Shoji, Shuichi

SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL165(1)p.124 - 1312011年-2011年

DOIWoS

詳細

ISSN：0924-4247

Local drug-stimulation on microfluidic system for analysis of apoptotic impact on local area

Watanabe, Taku;Kawai, Kentaro;Fujii, Masaru;Shoji, Shuichi;Edagawa, Yoshikuni

JOURNAL OF PHARMACOLOGICAL SCIENCES115p.273P - 273P2011年-2011年

WoS

詳細

ISSN：1347-8613

High-throughput single-cell manipulation system for a large number of target cells

Arakawa, Takahiro;Noguchi, Masao;Sumitomo, Keiko;Yamaguchi, Yoshinori;Shoji, Shuichi

BIOMICROFLUIDICS5(1)2011年-2011年

DOIWoS

詳細

ISSN：1932-1058

Development of Lateral Displacement Sensor for Real-Time Detection of Structural Damage

Matsuya, Iwao;Tomishi, Ryota;Sato, Maya;Kanekawa, Kiyoshi;Nitta, Yoshihiro;Takahashi, Motoichi;Miura, Satoru;Suzuki, Yasutsugu;Hatada, Tomohiko;Katamura, Ryuta;Tanii, Takashi;Shoji, Shuichi;Nishitani, Akira;Ohdomari, Iwao

IEEJ TRANSACTIONS ON ELECTRICAL AND ELECTRONIC ENGINEERING6(3)p.266 - 2722011年-2011年

DOIWoS

詳細

ISSN：1931-4973

Studies on low-temperature direct bonding of VUV/O-3-, VUV- and O-2 plasma-pre-treated poly-methylmethacrylate

Shinohara, Hidetoshi;Kasahara, Takashi;Shoji, Shuichi;Mizuno, Jun

JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING21(8)2011年-2011年

DOIWoS

詳細

ISSN：0960-1317

Anti-Sticking Curing of Fluorinated Polymers for Improvement of Mold Releasability

Mizuno, Jun;Li, Lingyi;Kawaguchi, Yasuhide;Tsunozaki, Kentaro;Shinohara, Hidetoshi;Shoji, Shuichi

JOURNAL OF PHOTOPOLYMER SCIENCE AND TECHNOLOGY24(1)p.89 - 932011年-2011年

WoS

詳細

ISSN：0914-9244

Fabrication of high-aspect-ratio amorphous perfluorinated polymer structure for total internal reflection fluorescence microscopy

Nakahara, Asahi;Shirasaki, Yoshitaka;Kawai, Kentaro;Ohara, Osamu;Mizuno, Jun;Shoji, Shuichi

MICROELECTRONIC ENGINEERING88(8)p.1817 - 18202011年-2011年

DOIWoS

詳細

ISSN：0167-9317

Microfluidic active sorting of DNA molecules labeled with single quantum dots using flow switching by a hydrogel sol-gel transition

Haneoka, Mai;Shirasaki, Yoshitaka;Sugino, Hirokazu;Aoki, Tokihiko;Arakawa, Takahiro;Ozaki, Kazuto;Yoon, Dong Hyun;Ishii, Noriyuki;Iizuka, Ryo;Shoji, Shuichi;Funatsu, Takashi

SENSORS AND ACTUATORS B-CHEMICAL159(1)p.314 - 3202011年-2011年

DOIWoS

詳細

ISSN：0925-4005

Microfluidic Cell Sorter with Flow Switching Triggered by a Sol-Gel Transition of a Thermo-Reversible Gelation Polymer

K. Ozaki, H. Sugino, Y. Shirasaki, T. Aoki, T. Arakawa, T. Funatsu, S. Shoji

Sensors and Actuators B150p.449 - 4552010年09月-

Integration in a Multilayer Microfluidic Chip of 8 Parallel Cell Sorters with Flow Control by Sol-Gel Transition of Thermoreversible Gelation Polymer

H. Sugino, T. Arakawa, Y. Nara, Y. Shirasaki, K. Ozaki, S. Shoji

Lab on a Chip10p.2559 - 25652010年09月-

Au-Electrode-Embedded Cyclo-Olefin Polymer Microchip Using Low-Temperature Direct Bonding

H. Shinohara, J. Mizuno, S. Shoji

IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines130(8)p.347 - 3502010年08月-

大面積モールド作製プロセスおよびナノインプリント装置用アライメント技術

石橋健太郎、小久保光典、後藤博史、水野潤、庄子習一

電気学会論文誌E130(8)p.363 - 3682010年08月-

ナノスプレー一体型ポリマー製マイクロチップにおける電気泳動分離—質量分析検出

北川文彦、篠原秀敏、水野潤、大塚浩二、庄子習一

電気学会論文誌E130(8)p.351 - 3552010年08月-

光を用いた高速微小領域流体制御 - バイオ・MicroTAS分野への光応用

庄子習一

月刊オプトロニクス29(7)p.104 - 1072010年07月-

Effects of Vacuum Ultraviolet Surface Treatment on the Bonding Interconnections for Flip Chip and 3-D Integration

K. Sakuma, J. Mizuno, N. Nagai, N. Unami, S. Shoji

IEEE Transactions on Electronics Packaging Manufacturing33(3)p.212 - 2202010年07月-

Effects of Excimer Irradiation Treatment on Thermocompression Au-Au Bonding

N. Unami, K. Sakuma, J. Mizuno, S. Shoji

Japanese Journal of Applied Physics49(6)p.06GN122010年06月-

Use of Folded Micromachined Pillar Array Column with Low-Dispersion Turns for Pressure-Driven Liquid Chromatography

C. Aoyama, A. Saeki, M. Noguchi, Y. Shirasaki, S. Shoji, T. Funatsu, J. Mizuno, M. Tsunoda

Analytical Chemistry82(4)p.1420 - 14262010年02月-

An Experimental Study on Relative Displacement Sensing Using Phototransistor Array for Building Structures

K. Kanekawa, I. Matsuya, M. Sato, R.Tomishi, M. Takahashi, S. Miura, Y. Suzuki, T. Hatada, R. Katamura, Y. Nitta, T. Tanii, S. Shoji, A. Nishitani, I. Ohdomari

IEEJ Trans. 20105p.251 - 2552010年02月-

8-Parallel Bioparticle Sorter with a Multilayer PDMS Chip

Sugino, Hirokazu;Ozaki, Kazuto;Arakawa, Takahiro;Shirasaki, Yoshitaka;Nara, Yuki;Shoji, Shuichi;Funatsu, Takashi

BIOPHYSICAL JOURNAL98(3)p.194A - 194A2010年-2010年

WoS

詳細

ISSN：0006-3495

Use of Folded Micromachined Pillar Array Column with Low-Dispersion Turns for Pressure-Driven Liquid Chromatography

Aoyama, Chiaki;Saeki, Akira;Noguchi, Masao;Shirasaki, Yoshitaka;Shoji, Shuichi;Funatsu, Takashi;Mizuno, Jun;Tsunoda, Makoto

ANALYTICAL CHEMISTRY82(4)p.1420 - 14262010年-2010年

DOIWoS

詳細

ISSN：0003-2700

An Experimental Study on Relative Displacement Sensing Using Phototransistor Array for Building Structures

Kanekawa, Kiyoshi;Matsuya, Iwao;Sato, Maya;Tomishi, Ryota;Takahashi, Motoichi;Miura, Satoru;Suzuki, Yasutsugu;Hatada, Tomohiko;Katamura, Ryuta;Nitta, Yoshihiro;Tanii, Takashi;Shoji, Shuichi;Nishitani, Akira;Ohdomari, Iwao

IEEJ TRANSACTIONS ON ELECTRICAL AND ELECTRONIC ENGINEERING5(2)p.251 - 2552010年-2010年

DOIWoS

詳細

ISSN：1931-4973

Electrochemical Fabrication and Characterization of CoPt Bit Patterned Media: Towards a Wetchemical, Large-Scale Fabrication

Ouchi, Takanari;Arikawa, Yuki;Kuno, Taisuke;Mizuno, Jun;Shoji, Shuichi;Homma, Takayuki

IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS46(6)p.2224 - 22272010年-2010年

DOIWoS

詳細

ISSN：0018-9464

Effects of Excimer Irradiation Treatment on Thermocompression Au-Au Bonding

Unami, Naoko;Sakuma, Katsuyuki;Mizuno, Jun;Shoji, Shuichi

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS49(6)2010年-2010年

DOIWoS

詳細

ISSN：0021-4922

Electrochemical etching process to tune the diameter of arrayed deep pores by controlling carrier collection at a semiconductor-electrolyte interface

Sato, Hirotaka;Yamaguchi, Takuya;Isobe, Tetsuhiko;Shoji, Shuichi;Homma, Takayuki

ELECTROCHEMISTRY COMMUNICATIONS12(6)p.765 - 7682010年-2010年

DOIWoS

詳細

ISSN：1388-2481

Integration in a multilayer microfluidic chip of 8 parallel cell sorters with flow control by sol-gel transition of thermoreversible gelation polymer

Sugino, Hirokazu;Arakawa, Takahiro;Nara, Yuki;Shirasaki, Yoshitaka;Ozaki, Kazuto;Shoji, Shuichi;Funatsu, Takashi

LAB ON A CHIP10(19)p.2559 - 25652010年-2010年

DOIWoS

詳細

ISSN：1473-0197

Microfluidic cell sorter with flow switching triggered by a sol-gel transition of a thermo-reversible gelation polymer

Ozaki, Kazuto;Sugino, Hirokazu;Shirasaki, Yoshitaka;Aoki, Tokihiko;Arakawa, Takahiro;Funatsu, Takashi;Shoji, Shuichi

SENSORS AND ACTUATORS B-CHEMICAL150(1)p.449 - 4552010年-2010年

DOIWoS

詳細

ISSN：0925-4005

Effects of Vacuum Ultraviolet Surface Treatment on the Bonding Interconnections for Flip Chip and 3-D Integration

Sakuma, Katsuyuki;Mizuno, Jun;Nagai, Noriyasu;Unami, Naoko;Shoji, Shuichi

IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRONICS PACKAGING MANUFACTURING33(3)p.212 - 2202010年-2010年

DOIWoS

詳細

ISSN：1521-334X

Measuring Relative-Story Displacement and Local Inclination Angle Using Multiple Position-Sensitive Detectors

Matsuya, Iwao;Katamura, Ryuta;Sato, Maya;Iba, Miroku;Kondo, Hideaki;Kanekawa, Kiyoshi;Takahashi, Motoichi;Hatada, Tomohiko;Nitta, Yoshihiro;Tanii, Takashi;Shoji, Shuichi;Nishitani, Akira;Ohdomari, Iwao

SENSORS10(11)p.9687 - 96972010年-2010年

DOIWoS

詳細

ISSN：1424-8220

Desktop Type Equipment of Thermal-assisted UV Roller Imprinting

T. Shibazaki, H. Shinohara, T. Hirasawa, N. Sakai, J. Taniguchi, J. Mizuno, S. Shoji

Journal of Photopolymer Science and Technology22(6)p.727 - 7302009年12月-

Copper Multilayer Interconnection Using Ultraviolet Nanoimprint Lithography with a Double-Deck Mold and Electroplating

N. Nagai, H. Ono, K. Sakuma, M. Saito, J. Mizuno, S. Shoji

Japanese Journal of Applied Physics (JJAP)48(11)p.1150012009年11月-

On-Chip Microfluidic Sorting with Fluorescence Spectrum Detection and Multiway Separation

H, Sugino, K. Ozaki, Y. Shirasaki, T. Arakawa, S. Shoji, T. Funatsu

Lab on a Chip 20099p.1254 - 12602009年09月-

Fabrication of Post-Hydrophilic Treatment-Free Plastic Biochip Using Polyurea Film

H. Shinohara, Y. Takahashi, J. Mizuno, S. Shoji

Sensors & Actuators A154p.187 - 1912009年09月-

Fabrication of Uniform Gratings on Composite Semiconductors Using UV Nanoimprint Lithography

S. Ishizuka, M. Nakao, S. Mashiko, J. Mizuno, S. Shoji

Journal of Photopolymer Science and Technologyp.213 - 2172009年07月-

Seamless Pattern Fabrication of Large-Area Nanostructures Using Ultraviolet Nanoimprint Lithography

S. Kataza, K. Ishibashi, M. Kokubo, H. Goto, J. Mizuno, S. Shoji

Japanese Journal of Applied Physics48(6)p.06ＦＨ212009年07月-

Simplified 20-μm Pitch Vertical Interconnection Process for 3D Chip Stacking

K. Sakuma, N. Nagai, M. Saito, J. Mizuno, S. Shoji

IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering4(3)p.339 - 3442009年05月-

細胞解析チップ〜生体内のがん細胞の挙動研究を目指して

務中達也、叶井正樹、木村晋也、芦原英司、阿部浩久、庄子習一、前川平

島津評論66(3・4)p.141 - 1492009年03月-

Size-Selective Separation of Micro Beads by Utilizing Secondary Flow in a Curved Rectangular Microchannel

D.H. Yoon, J.B. Ha, Y.K. Bahk, T. Arakawa, S. Shoji, J.S. Go

Lab on a Chip9p.87 - 902009年-

Parallel and Passive Distribution to Arrayed Microwells Using Self-Regulating Pinched Flow

K. Kawai, M. Kanai, T. Munaka, H. Abe, A. Murakami, S. Shoji

Sensors and Materials20(6)p.281 - 2882008年10月-

「機械工学年鑑」２４章２節：マイクロ・ナノ工学 — マイクロＴＡＳ

庄子習一

日本機械学会誌　２００８年８月号111(1077)p.832008年08月-

化学・バイオ応用を目的としたマイクロ流体制御素子

庄子習一

バルブ技報 通巻第６０号23(1)p.73 - 762008年03月-

M41 Micropump: liquid

S. Shoji, H. Sato, R. Zengerle

Comprehensive Microsystems, Elsevier Science Ltd.2008年03月-

Fabrication of High-Intensity Light-Emitting Diodes Using Nanostructures by Ultraviolet Nanoimprint Lithography and Electrodeposition

H. Ono, Y. Ono, K. Kasahara, J. Mizuno, S. Shoji

Japanese Journal of Applied Physics47(2)p.933 - 9352008年02月-

ＭＥＭＳ・ナノテクノロジーのバイオ・医療分野への応用

庄子習一

精密工学会誌74(1)p.28 - 322008年01月-

混相流マイクロ流体システムを用いた微小マイクロ液滴の生成と応用

荒川貴博、庄子習一

表面科学29(6)p.356 - 3632008年-

Fabrication of Catalyst-Functionalized Three-Dimensional Micromesh Structures

S. Keino, H. Sato, T. Homma, S. Shoji

Japanese Journal of Applied Physics47(6)p.5204 - 52072008年-

Fabrication of Magnetic Nanodots Array Using UV Nanoimprint Lithography and Electrodeposition for High Density Patterned Media

H. Shinohara, M. Fukuhara, T. Hirasawa, J. Mizuno, S. Shoji

Journal of Photopolymer Science and Technology21(4)p.591 - 5962008年-

Microfluidic Centrifuge of Nano-Particles Using Rotating Flow in a Microchamber

J.H. Lee, J.B. Ha, Y.K. Bahk, S.H. Yoon, T. Arakawa, J.S. Ko, B.S. Shin, S. Shoji, J.S. Go

Sensors and Actuators B132p.525 - 5302008年-

Polymer Microchip Integrated with Nano-Electrospray Tip for Electrophoresis-Mass Spectrometry

H. Shinohara, T. Suzuki, F. Kitagawa, J. Mizuno, K. Otsuka, S. Shoji

Sensors and Actuators B132p.368 - 3732008年-

Micro-Bubble Formation with Organic Membrane in a Multiphase Microfluidic System

T. Arakawa, T. Yamamoto, S. Shoji

Sensors & Actuators A143p.58 - 632008年-

3D Sheath Flow Using Hydrodynamic Position Control of the Sample Flow

H. Sato, Y. Sasamoto, D. Yagyu, T. Sekiguchi, S. Shoji

Journal of Micromechanics and Microengineering17p.2211 - 22162007年10月-

Fabrication of a Microchannel Device by Hot Embossing and Direct Bonding of Poly(methyl methacrylate)

H. Shinohara, J. Mizuno, S. Shoji

Japanese Journal of Applied Physics46(6A)p.3661 - 36642007年06月-

Rapid Multi-Reagents Exchange TIRFM Microfluidic System for Single Biomolecular Imaging

T. Arakawa, T. Sameshima, Y. Sato, T. Ueno, Y. Shirasaki, T. Funatsu, S. Shoji

Sensors and Actuators B128p.218 - 2252007年06月-

UV Nanoimprint Lithography and Its Application for Nanodevices

M. Fukuhara, H. Ono, T. Hirasawa, M. Otaguchi, N. Sakai, J. Mizuno, S. Shoji

Journal of Photopolymer Science and Technology20(4)p.549 - 5542007年05月-

Fabrication of Metallic Nanopatterns Using the Vacuum Type UV-NIL Equipment

M. Fukuhara, J. Mizuno, M. Saito, T. Homma, S. Shoji

IEEＪ Transactions on Electrical and Electronic Engineering2(3)p.307 - 3122007年05月-

Low-temperature Direct Bonding of Poly(methyl methacrylate) for Polymer Microchips

H. Shinohara, J. Mizuno, S. Shoji

IEEＪ Transactions on Electrical and Electronic Engineering2(3)p.301 - 3062007年05月-

Real-Time Monitoring of Antibody Secretion from B-Cells on a Microchip Stimulated with a Minute Amount of Mitogen

T. Munaka, H. Abe, M. Kanai, T. Sakamoto, H. Nakanishi, S. Shoji

Analyst132p.512 - 5142007年04月-

Interdigitated Array 3D Micromesh Electrodes for Electrochemical Sensors

H. Sato, K. Yoshimine, T. Otsuka, S. Shoji

Journal of Micromechanics and Microengineering17p.909 - 9142007年04月-

On-Chip Cell Sorting System Using Thermoreversible Gelation Polymer

Y. Shirasaki, H. Sugino, M. Tatsuoka, J. Mizuno, S. Shoji, T. Funatsu

IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics13(2)p.223 - 2272007年04月-

Three-Dimensional Sheath Flow Sorting Microsystem Using Thermosensitive Hydrogel

T. Arakawa, Y. Shirasaki, T. Aoki, T. Funatsu, S. Shoji

Sensors and Actuators A135p.99 - 1052007年03月-

MPS法を用いたマイクロ混相流３次元解析

原田隆宏、鈴木幸人、越塚誠一、荒川貴博、庄子習一

日本機械学会論文集　2007年2月号B編73(726)p.437 - 4442007年02月-

An all SU-8 microfluidic chip with built-in 3D fine microstructures

H. Sato, H. Matsumura, S. Keino, S. Shoji

Journal of Micromechanics and Microengineering16p.2318 - 23222006年11月-

Metallization on Three Dimensions Microstructures Using Photoresist Spray Coating for Microdirect Methanol Fuel Cell

M. Ishizuka, H. Houjou, S. Motokawa, J. Mizuno, T. Momma, T. Osaka, S. Shoji

Japanese Journal of Applied Physics45(10A)p.7944 - 79482006年10月-

マイクロ流体デバイス

庄子習一、荒川貴博、叶井正樹、佐藤寛暢

真空（日本真空協会）49(7)p.395 - 3992006年07月-

Real-time monitoring of antibody secretion from hybridomas on a microchip by time-resolved luminescence anisotropy analysis

T. Munaka, H Abe, M. Kanai, T. Sakamoto, H. Nakanishi, T. Yamaoka, S. Shoji, A. Murakami

Analytical Biochemistry353(1)p.1 - 62006年06月-

Micro-fluidics assisted synthesis of well-defined spherical polymeric microcapsules and their utilization as potential encapsulants

S. Abraham, E.H. Jeong, T. Arakawa, S. Shoji, K.C. Kim, I. Kim, J.S. Go

Lab on a Chipp.752 - 7562006年06月-

MEMS技術の化学・バイオへの応用

庄子習一

ニューダイヤモンドフォーラム会誌NEW DIAMONDO 第８１号22(2)p.48 - 502006年04月-

On-Chip Cell Sorting System Using Laser-Induced Heating of a Thermoreversible Gelation Polymer to Control Flow

Y. Shirasaki, J. Tanaka, H. Makazu, K. Tashiro, S. Shoji, S. Tsukita, T. Funatsu

Analytical Chemistry78(3)p.695 - 7012006年02月-

High-Speed Particles and Biomolecules Sorting Microsystem Using Thermosensitive Hydrogel

T. Arakawa, Y. Shirasaki, T. Izumi, T. Aoki, H. Sugino, T. Funatsu, S. Shoji

Measurement Science and Technology17p.3141 - 31462006年-

Realization of A Chip-Level Batch Process Chemical Plant with Quantitative Performance Evaluation

E. H. Jeong, T. Arakawa, K. C. Kim, J. S. Boo, J. S. Ko, B. Shin, S. Shoji, J. S. Go

Key Engineering Materials326-328p.269 - 2722006年-

An Extended Gate FET-Based Biosensor Integrated With a Si Microfluidic Channel For Detection Of Protein Complexes

D.-S. Kim, J.-E. Park, J.-K. Shin, P. K. Kim, G. Lim, S. Shoji

Sensors and Actuators B117p.488 - 4942006年-

Simulation of Droplet Generation in Micro Flow Using MPS Method

T. Harada, Y. Suzuki, S. Koshizuka, T. Arakawa, S. Shoji

Society of Mechanical Engineers, International Journal, Series B49(3)p.731 - 7362006年-

アクリル製マイクロチャネルアレイを用いた血液通過時間の再現性の検討

西泰治、萩原清道、福田始弘、木下藤寿、伊藤克之、菊池佑二、庄子習一、水野潤、篠原秀敏

日本ヘモレオロジー学会誌9(2)2006年-

Monitoring Cellular Events in Living Mast Cells Stimulated with an Extremely Small Amount of Fluid on a Microchip

T. Munaka, H Abe, M. Kanai, T. Sakamoto, H. Nakanishi, T. Yamaoka, S. Shoji, A. Murakami

Japanese Journal of Applied Physics45(24)p.L634 - L6372006年-

Improved Passive Cell Distributing Method for Micro Cellular Diagnostic Well Array

K. Kawai, M. Kanai, H. Nakanishi, S. Shoji

Japanese Journal of Applied Physics45(6B)p.5607 - 56132006年-

Improved inclined multi-lithography using water as exposure medium and its 3-D mixing microchannel application

H. Sato, D. Yagyu, S. Ito, S. Shoji

Sensors and Actuators A128p.183 - 1902006年-

マクロ流体素子を目的とした金属電極埋め込みＰＤＭＳ三次元構造体組み立て技術

石束真典、阿部昌昭、北條洋明、水野潤、庄子習一

電気学会論文誌Ｅ125(9)p.393 - 3972005年09月-

化学・バイオ応用マイクロ・ナノ流体デバイス・システム

庄子習一

ケミカル　エンジ二ヤリング （化学工業社）50(7)p.1 - 52005年07月-

High efficiency electrochemical immuno sensors using 3D comb electrodes

N. Honda, M. Inaba, T.Katagiri, S. Shoji, H. Sato, T. Homma, T. Osaka, M. Saito, J. Mizuno, Y. Wada

Biosensors and Bioelectronics20(11)p.2306 - 23092005年-

PDMS microchannels with slanted grooves embedded in three walls to realize efficient spiral flow

H.Sato, S.Ito, K.Tajima, N.Orimoto, S.Shoji

Sensors and Actuators A119p.365 - 3712005年-

Picoliter Volume Glass Tube Array Fabricated by Si Electrochemical Etching Process

H. Sato, T. Homma, K. Mori, T. Osaka, S. Shoji

Electrochimica Acta51p.844 - 8482005年-

化学・生化学分析への応用を目的としたマイクロ流体素子

佐藤寛暢、庄子習一

混相流19(2)p.86 - 932005年-

Fabrication of multi-pixel TES microcalorimeters with an electrodeposited Sn absorber and Bi absorber

T.Arakawa, H.Kudo, H.Sato, H.Kobayashi, T.Izumi, S.Ohtsuka, K.Mori, S.Shoji, T.Osaka, T.Homma

Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Ap.456 - 4592004年-

The multiple sample injector using improved sheath flow to prevent sample dilution

M,Kanai, S.Ikeda, J.Tanaka, J.S.Go, H.Nakanishi, S.Shoji

Ｓｅｎｓｏｒｓ　＆　Ａｃｔｕａｔｏｒｓ　Ａ111p.32 - 362004年-

In-channel 3-D micromesh structures using maskless multi-angle exposure and their microfilter application

H.Sato, T.Kakinuma, J.S.Go, S.Shoji

Sensors & Actuators A111p.87 - 922004年-

High sensitive X-ray microcalorimeter using Bi-Au microabsorber for imaging applications

H.Kudo, T.Arakawa, S.Ohtsuka, T.Izumi, S.Shoji, H. Sato, H. Kobayashi, K. Mori, T. Osaka

J.J. Applied Physics43(3)p.1190 - 11952004年-

Micro chamber for cellar analysis integrated with negligible dead volume sample injector

M.Kanai, H.Abe, T.Munaka, Y.Fujiyama, D.Uchida, A.Yamayoshi, H.Nakanishi, A.Murakami, S.Shoji,

Sensors & Actuators A114p.129 - 1342004年-

Prototype of the high sensitive X-ray microcalorimeter for X-ray imaging

H.Kudo, T.Nakamura, T.Arakawa, S.Shoji

Sensors & Actuators A114p.171 - 1752004年-

Ａ ｄｉｓｐｏｓａｂｌｅ ｄｅａｄ ｖｏｌｕｍｅ−ｆｒｅｅ ａｎｄ ｌｅａｋ−ｆｒｅｅ ｉｎ−ｐｌａｎｅ ＰＤＭＳ ｍｉｃｒｏｖａｌｖｅ

J.S.Go, S.Shoji

Sensors & Actuators A114p.438 - 4442004年-

Three-dimensional micro-structures consisting of high aspect ratio inclined micro-pillars fabricated by simple photolithography

H.Sato, Y.Houshi, S.Shoji

Microsystem Technologies9p.440 - 4432004年-

Fabrication of polymer and metal three-dimensional micromesh structures

H.Sato, Y.Houshi, T.Otsuka, S.Shoji

J. J. Applied Physics43(12)p.8341 - 83442004年-

Development of Bi electrodeposition process for fabricating microabsorber arrays for high sensitive X-ray imaging sensor

H.Sato, H.Kobayashi, H.Kudo, T.Izumi, T.Homma, T.Osaka, S.Shoji, Y.Ishisaki, R.Fujimoto, K.Mitsuda

Electrochemistry72p.424 - 4262004年-

MEMS-based design and fabrication of a new concept micro direct methanol fuel cell (u-DMFC)

S.Motokawa, M.Mohamedi, T.Momma, S.Shoji, T.Osaka

Electrochemistry Communications6p.562 - 5652004年-

フッ素樹脂被服PDMSマイクロ構造体形成に関する研究

内田大輔，叶井正樹，西本尚弘，庄子習一

電気学会論文誌Ｅ124(10)p.364 - 3682004年-

早稲田大学COE ナノ分子工学研究拠点

庄子習一

次世代センサ14(1)p.5 - 72004年-

microTAS2004 Malmo　Sweden

庄子習一

次世代センサ14(2)p.18 - 192004年-

ポリマーを用いたMEMS技術とその応用

庄子習一

電気学会論文誌Ｅ124(10)p.349 - 3532004年-

Particles and molecules handling in micro channels

S.Shoji, K.Tashiro, T.Sekiguchi, H.Sato, N.Honda, T.Funatu

Lab-on-a-chip, Miniaturies Systems for (Bio)Chemical Analysis and Synthesis, Elsevier B.V., Amsterdamp.205 - 2142003年-

Micromechanical characterization of self-oscillating microcantilever using piezoresistive microsensors

J.S.Go, S.Shoji

IEEJ Trans. SM123(11)p.510 - 5122003年-

Digital sorting of flow-through droplet phase microfluid

J.S.Go, S.Shoji

Jpn. J. Appl. Phys.42p.L449 - 4502003年-

Sn electrodeposition process for fabricating microabsorber arrays for an X-ray microcalorimeter

T.Homma, H.Sato, H.Kobayashi, T.Arakawa, H.Kudo, T.Osaka, S.Shoji

J. Electroanalytical Chem.559p.143 - 1482003年-

MEMS技術のバイオへの応用

庄子習一

OHM, Ohmsha90(10)p.53 - 562003年-

化学／バイオマイクロ・ナノシステム—エレクトロニクスの微細加工技術の化学／バイオへの応用—

庄子習一

表面科学24(11)p.684 - 6882003年-

マイクロ流体素子・要素とマイクロシステムへの応用動向

庄子習一

計測と制御42(12)p.1005 - 10092003年-

Fabrication of an X-ray Microcalorimeter with an Electrodeposited X-ray Microabsorber

H.Kudo, H.Sato, T.Nakamura, T.Arakawa, E.Goto, S.Shoji, T.Homma, T.Osaka

Low Temperature Detectors, American Institute of Physicsp.235 - 2382002年-

マイクロ化学／生化学システム用マイクロ流体デバイスの研究動向

庄子習一

日本フルードパワーシステム学会誌33(3)p.44 - 472002年-

MEMS技術を用いたマイクロ化学・生化学システム—最近の動向と将来展望—

庄子習一

ニューダイヤモンド18(3)p.2 - 52002年-

マイクロ化学センシングシステム

庄子習一

マテリアルインテグレーション15(2)p.12002年-

ナノテクノロジー：化学／生化学システムのダウンサイジング化の研究動向

庄子習一

機能材料22(1)p.52 - 572002年-

Development of Biological Micro Reactor Array System

E.Shinohara, A.Kondo, K.Akahori, K.Tashiro, S.Shoji

IEICE Trans. Electron.E84-C(12)p.1807 - 19122001年-

マイクロチャネル−流体の性質とその応用デバイス／システム

庄子習一

医用電子と生体工学：BME15(10)p.51 - 562001年-

特集ナノメカテクノロジーと化学：マイクロチャネル流体制御

庄子習一

化学工業52(11)p.42 - 462001年-

新しい化学産業を創成するマイクロ流体システム

庄子習一

機械振興395p.26 - 312001年-

生化学：マイクロ化学分析システム—マイクロマシン技術—

庄子習一

Lab. Clin. Paract.19(1)p.11 - 132001年-

Cell-free protein synthesis in a microfabricated reactor

T.Nojima, T.Fujii, K.Hosokawa, A.Yotsumoto, S.Shoji, I.Endo

Bioprocess Engineering22p.13 - 172000年-

Studies on SiO2-SiO2 bonding with hydrofluoric acid. Room temperature and low stress bonding technique for MEMS

H.Nakanishi, T.Nishimoto, R.Nakamura, A.Yotsumoto, T.Yoshida, S.Shoji

Sensors & Actuators79p.237 - 2442000年-

Condition optimizasion, reliability evaluation of SiO2-SiO2 HF bonding and its application for UV detection micro flow cell

H.Nakanishi, T.Nishimoto, M.Kanai, T.Saitoh, R.Nakamura, T.Yoshida, S.Shoji

Sensors & Actuators83p.136 - 1412000年-

マイクロ化学分析システム（uTAS）と電気化学（1）

庄子習一

電気化学および工業物理化学68(3)p.188 - 1912000年-

uTAS その現状と将来

庄子習一

精密工学会誌165(5)p.655 - 6581999年-

マイクロチップをどうやってつくる−半導体リソグラフィーでつくる

庄子習一

化学154(10)p.36 - 381999年-

Micromachining:Handbook of Sensors and Actuators: Intelligent Sensors

Elsevier Science B.V.31996年-

LIGAプロセス

日本ME学会雑誌BME/日本ME学会10;51995年05月-

微小電子機械システム要素材料とマイクロマシーニング

まてりあ/金属学会34;11995年-

Microfluidic White Organic Light-Emitting Diode Based on Integrated Patterns of Greenish-Blue and Yellow Solvent-Free Liquid Emitters

N. Kobayashi, T. Kasahara, T. Edura, J. Oshima, R. Ishimatsu, M. Tsuwaki, T. Imato, S. Shoji, J. Mizuno

Scientific Reports査読有り5-2015年10月　

DOI

Microfluidic Synthesis of Chiral Salen Mn(II) and Co(II) Complexes Containing Lysozyme

D. Tanaka, W. Kawakubo, E. Tsuda, Y. Mitsumoto, D.H. Yoon, T. Sekiguchi, T. Akitsu, S. Shoji

RSC Advances, 2016査読有り6p.81862 - 818682016年08月-

DOI

Integration of Horizontal and Vertical Microfluidic Modules for Core-Shell Droplet Generation and Chemical Application

D.H. Yoon, Y. Nozaki, D. Tanaka, T. Sekiguchi, S. Shoji

Micromachines 2019査読有り10(9)p.6132019年09月-

DOI

Structural Formation of Oil-in-Water (O/W) and Water-in-Oil-in-Water (W/O/W) Droplets in PDMS Device Using Protrusion Channel without Hydrophilic Surface Treatment

D.H. Yoon, D. Tanaka, T. Sekiguchi, S. Shoji

Micromachines 2018査読有り9(9)2018年09月-

Simple and Rapid Fabrication Process of Porous Silicon Surface Using Inductively Coupled Plasma Reactive Ion Etching

T. Sugaya, D.H. Yoon, H. Yamazaki, K. Nakanishi, T. Sekiguchi, S. Shoji

Journal of Microelectromechanical Systems査読有りp.1 - 62019年11月-

DOIlink

詳細

掲載種別：研究論文（学術雑誌）ISSN：Print ISSN: 1057-7157, Electronic ISSN: 1941-0158

Low-Temperature Quasi-Direct Copper-Copper Bonding with a Thin Platinum Intermediate Layer Prepared by Atomic Layer Deposition

H. Kuwae, K. Yamada, T. Kamibayashi, W. Momose, S. Shoji, J. Mizuno

Transactions of The Japan Institute of Electronics Packaging 2020査読有り13p.E19-014-1 - E19-014-92020年01月-

DOIlink

詳細

掲載種別：研究論文（学術雑誌）

Liquid/Solution-based Microfluidic Quantum Dots Light-Emitting Diodes for High-Colour-Purity Light Emission

M. Kawamura, K. Kuwae, T. Kamibayashi, J. Oshima, T. Kasahara, S. Shoji, J. Mizuno

Scientific Reports査読有りp.1 - 92020年09月-

DOI

詳細

掲載種別：研究論文（学術雑誌）ISSN：2045-2322

原子層堆積法による極薄膜金属中間層形成を利用した低温Cu-Cu 疑似直接接合技術

手塚彩水、山田紘右、河合 Alaric 洋平、桑江博之、庄子習一、百瀬渉、水野潤

スマートプロセス学会誌査読有り9(5)p.232 - 2362020年09月-

電子工学を基盤とした化学・生化学研究の流れと今後

庄子　習一

化学とマイクロ・ナノシステム学会誌招待有り19(2)p.35 - 392020年10月-

Microdroplet Synthesis of Azo Compounds with Simple Microfluidics-Based pH Control

D. Tanaka, S. Sawai, S. Hattori, Y. Nozaki, D.H. Yoon, H. Fujita, T. Sekiguchi, T. Akitsu, S. Shoji

RSC Advances査読有り2020(10)p.38900 - 389052020年10月-

DOI

詳細

掲載種別：研究論文（学術雑誌）

Development of Microdroplet Generation Method for Organic Solvents Used in Chemical Synthesis

S. Hattori, C. Tang, D. Tanaka, D.H. Yoon, Y. Nozaki, H. Fujita, T. Akitsu, T. Sekiguchi, S. Shoji

Molecules査読有り25(22)p.5360 - 53712020年11月-

DOI

詳細

掲載種別：研究論文（学術雑誌）ISSN：1420-3049

書籍等出版物

機能材料２０１４年３月号

蜂巣琢磨、水野潤、庄子習一、逢坂哲彌

㈱シーエムシー出版2014年 03月-

月刊ディスプレイ

仁村将次、庄子習一、水野潤、重藤暁津、佐久間克幸、荻野浩司、榎本智之

㈱テクノタイムズ社2013年 03月-

ナノインプリントの開発とデバイス応用」(第12章４　実装技術　及び、第14章２　マイクロTAS)

水野潤、篠原秀敏、笠原崇史、庄子習一

シーエムシー出版2011年 10月-

Microfluidics, Topics in Current Chemistry 304

S. Shoji, K. Kawai

Springer-Verlag Berlin Heidelberg2011年 04月-

ＢＩＯ ＩＮＤＵＳＴＲＹ

庄子習一、川合健太郎

シーエムシー出版2010年 03月-

Solid State Circuits Technologies

H. Shinohara, J. Mizuno, S. Shoji

INTECH2010年 01月-

２００９ ナノインプリント技術大全（Nanoimprint Technology Outlook）

篠原秀敏、水野潤、庄子習一

電子ジャーナル2009年 04月-

２００９ ナノインプリント技術大全（Nanoimprint Technology Outlook）

石塚修吾、庄子習一、水野潤

電子ジャーナル2009年 04月-

ＭＥＭＳ/ＮＥＭＳ工学全集（Fundamentals and Applications of MEMS/NEMS Engineering）

庄子習一

テクノシステム2009年 04月-

マイクロ・ナノ化学チップと医療・環境・バイオ分析

庄子習一

技術教育出版社2009年 01月-

福田・新井編「バイオテクノロジーシリーズ　細胞分離・操作技術の最前線」

庄子習一、荒川貴博、川合健太郎

シーエムシー出版2008年-

Comprehensive Microsystems

S. Shoji, H. Sato, R. Zengerle

Elsevier Science Ltd.2008年 03月-

バイオテクノロジーシリーズ「ナノテク・バイオＭＥＭＳ時代の分離・計測技術」

庄子習一

シーエムシー出版2006年 02月-

高分子学会編　ポリマーフロンティア２１シリーズ「ナノバイオー微細加工と計測技術の新展開」

庄子習一

2005年 10月-

ナノインプリントの開発と応用—マイクロ流体デバイス—

水野 潤, 庄子習一

シーエムシー出版2005年-

マイクロ化学チップの技術と応用

北森武彦，庄子習一，馬場嘉信，藤田博之編

丸善2004年-

日本化学会編 第５版実験化学講座：機能性材料

庄子習一

丸善2004年-

進化するマイクロマシン： 2.6 μTAS

庄子習一

日刊工業新聞2004年-

Lab-on-a-chip, Miniaturies Systems for (Bio)Chemical Analysis and Synthesis

S.Shoji, K.Tashiro, T.Sekiguchi, H.Sato, N.Honda, T.Funatu

Elsevier Science Ltd.2003年-

ナノテクノロジーハンドブック，IVバイオ・化学に使う

庄子習一

2003年-

Electrochemical Microsystem Technologies

S.Shoji

Tayler & Francis, London2002年-

IEICE Trans.

E.Shinohara, A.Kondo, K.Akahori, K.Tashiro, S.Shoji

Electron.2001年-

Biosensors & Their Applications

S.Shoji

Kluwer Academic/Plenum Pub.2000年-

マイクロオプトメカトロニクスハンドブック

朝倉書店1997年-

Micromachining:Handbook of Sensors and Actuators: Intelligent Sensors

Elsevier Science B.V.1996年-

講演・口頭発表等

Electrowetting Device With Liquid Organic Semiconductor Emulsion

H. Kuwae, A. Fujiwara, K. Sakamoto, J. Oshima, S. Shoji, J. Mizuno

31st International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2018)2018年11月15日

詳細

国際会議ポスター発表開催地：Sapporo, Japan

Oil-In-Water Droplet Formation in Hydrophobic PDMS Device Using Three-Dimensional Protruded Taper Channel

C. Tang, D.H. Yoon, T-Sekiguchi, S, Shoji

The 22nd International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (μTAS 2018)2018年11月13日

詳細

国際会議ポスター発表開催地：Kaohsiung, Taiwan

マイクロ流体デバイスと電界紡糸法によるマルチコンポーネントファイバーの作製

菅谷拓央、深野愼介、尹棟鉉、関口哲志、庄子習一

第３５回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム2018年11月01日

詳細

国内会議ポスター発表開催地：札幌

粘度の違いを利用したマイクロドロップレットソーティングデバイスの開発

田中大器、菅谷拓央、川久保渉、尹棟鉉、関口哲志、庄子習一

第３５回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム2018年10月31日

詳細

国内会議ポスター発表開催地：札幌

High-Aspect-Ratio Sub-2-µm Vias Using Thermal Imprint with Build-Up Resin

T. Kamibayashi, H. Kuwae, T. Kishioka, Y. Usui, T. Ohashi, M. Tamura, S. Shoji, J. Mizuno

International Microsystems, Packaging, Assembly and Circuit Technology Conference (IMPACT 2018)2018年10月25日

詳細

国際会議口頭発表（一般）開催地：Taipei, Taiwan

Low Temperature Copper-Copper Quasi-Direct Bonding with Ultrathin Platinum Intermediate Layer Using Atomic Layer Deposition

K. Yamada, H. Kuwae, T. Kamibayashi, W. Momose, S. Shoji, J. Mizuno

International Microsystems, Packaging, Assembly and Circuit Technology Conference (IMPACT 2018),2018年10月25日

詳細

国際会議口頭発表（一般）開催地：Taipei, Taiwan

Position Controllable Liquid Organic Emitter Device Using Electrowetting on Dielectrics

K. Atsumi, A. Fujiwara, H. Kuwae, S. Shoji, J. Mizuno

The 3rd International Symposium on Creation of Life Innovation Materials for Interdisciplinary and International Researcher Development (iLIM-3)2018年09月25日

詳細

国際会議ポスター発表開催地：Tokyo, Japan

ＡＬＤによる超薄膜Pt中間層を用いたCu-Cu低温疑似直接接合

桑江博之、山田紘右、上林拓海、百瀬渉、庄子習一、水野潤

第７９回応用物理学会秋季学術講演会2018年09月20日

詳細

国内会議口頭発表（一般）開催地：名古屋

Fabrication of Long Myotube Bundles in Three-Dimensional Gel Scaffolds with Oriented Cellulose Nanofibers

K. Imato, K. Yoneda, T. Tanaka, D.H. Yoon, T. Sekiguchi, S. Shoji, N. Takeda

5th Tissue Engineering and Regenerative Medicine International Society World Congress2018年09月05日

詳細

国際会議ポスター発表開催地：Kyoto, Japan

Fabrication of Long Luminant Tissues in Three-Dimensional Gel Scaffolds with Oriented Cellulose Nanofibers

T. Tanaka, K. Imato, K. Yoneda, D.H. Yoon, T. Sekiguchi, S. Shoji, N. Takeda

5th Tissue Engineering and Regenerative Medicine International Society World Congress 20182018年09月05日

詳細

国際会議口頭発表（招待・特別）開催地：Kyoto, Japan

Fabrication of Self-Standing Curved Film with Pillar-Shaped Hole Patterns Using Large-Area Spherical Soft UV Imprint Lithography

T. Kamibayashi, H. Kuwae, S. Shoji, J. Mizuno

2018 Japan-Taiwan Workshop on Electronic Interconnection II2018年04月16日

詳細

国際会議口頭発表（一般）開催地：Kuwana, Mie, Japan

LCチップ集積に向けたポストカラムミキサーの開発

菅谷拓央、中西完貴、磯川宗生、尹棟鉉、関口哲志、庄子習一、船津高志、角田誠

4大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム・シンポジウム2018年03月29日

詳細

国内会議ポスター発表開催地：川崎

圧電薄膜フィルムを用いた安価な振動発電素子

笹川健太、佐々木敏夫、関口哲志、中島啓、庄子習一

4大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム・シンポジウム2018年03月29日

詳細

国内会議ポスター発表開催地：川崎

セルロースナノファイバーゲルを培養場とした多層ファイバー中での筋管形成誘導

今任景一、米田憲司、田中智、尹棟鉉、関口哲志、庄子習一、武田直也

第17回日本再生医療学会総会2018年03月23日

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国内会議口頭発表（一般）開催地：横浜

Crystallization of Zinc(II) Complex Containing Lysozyme by Super Water Repellent Umbrella Pillar Array

D. Tanaka, W. Kawakubo, D.H. Yoon, T. Sekiguchi, T. Akitsu, S. Shoji

CIAiS (Research and Education Consortium for Innovation of Advanced Integrated Science) International Symposium 20182018年03月08日

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国際会議ポスター発表開催地：Tokyo, Japan

Simple Formation of Complex Cross-Sectional Flow Using Multi-Stacked Three-Dimensional PDMS Structures

D.H. Yoon, T. Sekiguchi, S. Shoji

CIAiS (Research and Education Consortium for Innovation of Advanced Integrated Science) International Symposium 20182018年03月08日

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国際会議ポスター発表開催地：Tokyo, Japan

Fabrication of Diamond-Based Transmission Electron Microscopy Grid for High-Resolution Bio-Sample Observation

B. Xu, H. Kuwae, S. Shoji, J. Mizuno

第２４回「エレクトロニクスにおけるマイクロ接合・実装技術」シンポジウム（Mate 2018)2018年01月31日

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国内会議口頭発表（一般）開催地：横浜

非晶質層を用いたLiTa03/QZ接合SAW基板の作製

須崎遥、桑江博之、岸田和人、垣尾省司、庄子習一、水野潤

第２４回「エレクトロニクスにおけるマイクロ接合・実装技術」シンポジウム（Mate 2018)2018年01月30日

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国内会議口頭発表（一般）開催地：横浜

液体有機半導体を用いたフレキシブルマイクロ流体有機ＥＬリボン

登惇輝、桑江博之、小林直史、笠原崇史、大島寿郎、庄子習一、水野潤

第２４回「エレクトロニクスにおけるマイクロ接合・実装技術」シンポジウム（Mate 2018)2018年01月30日

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国内会議口頭発表（一般）

Preparation and Charterization of High Performance Activated Carbon Fibers by Vaccum Ultaraviolet Surface Treatment

H. Kuwae, K. Mizokami, S. Maeda, S. Shoji, J. Mizuno

2017 MRS (Materials Research Society) Fall Meeting2017年11月29日

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国際会議ポスター発表開催地：Boston, USA

Luminance Degradation and Recovery of Liquid Organic Semiconductors

K. Sakamoto, H. Kuwae, N. Kobayashi, A. Nobori, J. Oshima, C. Adachi, S. Shoji, J. Mizuno

2017 MRS (Materials Research Society) Fall Meeting2017年11月27日

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国際会議ポスター発表開催地：Boston, USA

Promoting Proliferation and Elongation of Bone Marrow-Derived Stem Cells via Nano-Grain Deposited Periodic Nanostructures

M. Shiozawa, Y. Akiba, K. Uoshima, K. Eguchi, H. Kuwae, W. Fu, S. Shoji, J. Mizuno

2017 MRS (Materials Research Society) Fall Meeting2017年11月27日

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国際会議口頭発表（一般）開催地：Boston, USA

マイクロ流体デバイスによる高効率かつ安全なブロモ基付加操作

川久保渉、田中大器、尹棟鉉、関口哲志、高橋啓太、秋津貴城、庄子習一

３４回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム2017年11月01日

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国内会議ポスター発表開催地：広島

高機能木質系炭素材料に向けた真空紫外光表面処理における酸素分圧の影響

前田世蓮、桑江博之、庄子習一、水野潤

第３４回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム2017年11月01日

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国内会議ポスター発表開催地：広島

フレキシブルエレクトロニクスデバイスへ向けたメッシュパターンを有するフレキシブル酸化インジウムスズ電極

坂本暁祐、桑江博之、小林直史、登厚惇輝、庄子習一、水野潤

第３４回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム2017年10月31日

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国内会議口頭発表（一般）開催地：広島

超撥水性二重凹型ピラーアレイデバイスによるZn(II)錯体含有リゾチームの結晶化

田中大器、川久保渉、尹棟鉉、関口哲志、秋津貴城、庄子習一

第３４回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム2017年10月31日

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国内会議ポスター発表開催地：広島

Effects of Surface Modification on Woody Carbon Materials by Vacuum Ultraviolet Treatment

H. Kuwae, K. Mizokami, S. Maeda,.S. Shoji, J. Mizuno

2017 Taiwan-Japan Workshop on Electronic Interconnection I2017年10月24日

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国際会議口頭発表（一般）開催地：Taipei, Taiwan

A Micromachined Liquid Chromatography Chip with a Pillar Array Mixer for Post-Column Derivatization in the Analysis of Neurotransmitters

M. Isokawa, K. Nakanishi, T. Kanamori, H. Zhuang, H. Yamazaki, T. Sugaya, D.H. Yoon, T. Sekiguchi, T. Funatsu, S. Shoji, M. Tsunoda

The 21st International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (μTAS 2017)2017年10月23日

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国際会議ポスター発表開催地：Savannah, Georgia, USA

Crystallization of Zinc(II) Complex Containing Lysozyme by Super Water Repellent Doubly Reentrant Structure Umbrella Pillar Array

D. Tanaka, W. Kawakubo, D.H. Yoon, T. Sekiguchi, T. Akitsu, S. Shoji

The 3rd Conference on Microfluidic Handling Systems (MFHS 2017)2017年10月06日

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国際会議口頭発表（一般）開催地：Enschede, The Netherlands

Extremely Efficient and Non-Hazardous Bromo Group Addition Reaction Using Simple Microfluidic Devices

W. Kawakubo, D. Tanaka, D.H. Yoon, T. Sekiguchi, K. Takahashi, T. Akitsu, S. Shoji

The 3rd Conference on Microfluidic Handling Systems (MFHS 2017)2017年10月05日

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国際会議ポスター発表開催地：Enschede, The Netherlands

Effects of Surface Modification on Lignocellulosic Porous Carbon Materials by Vacuum Ultraviolet Treatment

S. Maeda, H. Kuwae, S. Shoji, J. Mizuno

2nd International Symposium on Creation of Life Innovation Materials for Interdisciplinary and International Researcher Development (iLIM-2)2017年09月30日

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国際会議ポスター発表開催地：Nagoya, Japan

Free-Formable Microfluidic Organic Light Emitting Diode Ribbons Using Liquid Organic Semiconductors

A. Nobori, H. Kuwae, N. Kobayashi, T. Kasahara, J. Oshima, S. Shoji, J. Mizuno

2nd International Symposium on Creation of Life Innovation Materials for Interdisciplinary and International Researcher Development (iLIM-2)2017年09月30日

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国際会議ポスター発表開催地：Nagoya, Japan

Fabrication of Mechanical Durable Glass Nanopillar with Bridged Structure

H. Kuwae, T. Sudo, K. Takayama,, S. Shoji, J. Mizuno

2017 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2017)2017年09月21日

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国際会議口頭発表（一般）開催地：Sendai, Japan

Cu-Cu Direct Bonding by Introducing Au Intermediate Layer

H. Noma, T. Kamibayashi, H. Kuwae, N. Suzuki, T. Nonaka, S. Shoji, J. Mizuno

2017 5th International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration (LTB-3D)2017年05月18日

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国際会議ポスター発表開催地：Tokyo, Japan

A Study on Low Temperature SAM Modified POM Direct Bonding Affected by VUV/O3 Irradiation

W. Fu, B. Ma, H. Kuwae, S. Shoji, J. Mizuno

2017 5th International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration (LTB-3D)2017年05月18日

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国際会議ポスター発表開催地：Tokyo, Japan

Low Temperature Direct Bonding of Polyoxymethylene (POM) Through Self Assembled Monolayers (SAM)

W. Fu, H. Kuwae, B. Ma, S. Shoji, J. Mizuno

2017 International Conference on Electronics Packaging (ICEP 2017)2017年04月20日

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国際会議口頭発表（一般）開催地：Tendo, Yamagata, Japan

Fabrication of Self-Standing Curved Film with Pillar Arrays by Large Area Spherical Soft-UV Imprint Lithography

T. Kamibayashi, H. Kuwae, A. Nobori, S. Shoji, J. Mizuno

2017 International Conference on Electronics Packaging (ICEP 2017)2017年04月20日

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国際会議口頭発表（一般）開催地：Tendo, Yamagata, Japan

Highly Bendable Transparent Electrode Using Mesh Patterned Indium Tin Oxide for Flexible Electronic Devices

K. Sakamoto, H. Kuwae, N. Kobayashi, A. Nobori, S. Shoji, J. Mizuno

The 12th Annual IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE-NEMS 2017)2017年04月11日

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国際会議口頭発表（一般）開催地：Los Angeles, USA

Fabrication of the Microfluidic Device for Chemical Reaction

S. Sawai, D. Tanaka, D.H. Yoon, T. Sekiguchi, T. Akitsu, S. Shoji

４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム・シンポジウム2017年03月13日

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国内会議ポスター発表開催地：川崎

MEMSテクノロジーによる次世代実装技術

塩澤茉由子、桑江博之、庄子習一、水野潤

４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム・シンポジウム2017年03月13日

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国内会議ポスター発表開催地：川崎

Deep-Blue Light Emission with a Wide-Bandgap Naphthalene-Derivative Liquid Organic Semiconductor Host

N. Kobayashi, H. Kuwae, J. Oshima, R. Ishimatsu, S. Tashiro, T. Imato, C. Adachi, S. Shoji, J. Mizuno

SPIE Photonics West 20172017年02月01日

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国際会議口頭発表（一般）開催地：San Francisco, USA

低分子有機半導体接合を用いた新規有機ＥＬ作製技術

金田達志、桑江博之、庄子習一、安達千波矢、水野潤

第２３回「エレクトロニクスにおけるマイクロ接合・実装技術」シンポジウム（Mate 2017)2017年02月01日

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国内会議口頭発表（一般）開催地：横浜

ナノポーラス金接合に向けた真空紫外光による表面前処理

金田達志、岡田愛姫子、付偉欣、庄子習一、齊藤美紀子、西川宏、水野潤

第２３回「エレクトロニクスにおけるマイクロ接合・実装技術」シンポジウム（Mate 2017)2017年02月01日

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国内会議口頭発表（一般）開催地：横浜

サブミクロン金粒子の一括埋め込みにより形成したＩ型ガラス貫通電極を有する気密封止デバイスの作製

野村和哉、岡田愛姫子、庄子習一、小柏俊典、水野潤

第２３回「エレクトロニクスにおけるマイクロ接合・実装技術」シンポジウム（Mate 2017)2017年02月01日

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国内会議口頭発表（一般）開催地：横浜

OLEDs with Ultra-High Thermal Conductivity Substrate

K. Atsumi, H. Kuwae, Y. Shihara, A. Nobori, C. Adachi, S. Shoji, J. Mizuno

he 8th Asian Conference on Organic Electronics (A-COE 2016)2016年12月06日

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国際会議ポスター発表開催地：Kyoto, Japan

Simultaneous Fabrication of a Through-Glass Interconnect Via and Bumps Using Dry Filling Process of Submicron Gold Particles

K. Nomura, A. Okada, S. Shoji, T. Ogashiwa, J. Mizuno

International Microsystems, Packaging, Assembly and Circuits Technology Conference (IMPACT 2016)2016年10月28日

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国際会議口頭発表（一般）開催地：Taipei, Taiwan

Study of LiTaO3/ST-Quartz Bonding with Amorphous Interlayer Assisted by VUV/O3 Treatment for SAW Device

H. Suzaki, H. Kuwae, A. Okada, S. Shoji, S. Shoji

International Microsystems, Packaging, Assembly and Circuits Technology Conference (IMPACT 2016)2016年10月28日

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国際会議口頭発表（一般）開催地：Taipei, Taiwan

機能性ファイバー材料合成を目的としたチェック状断面構造層流デバイスの開発

小林和博、尹棟鉉、関口哲志、庄子習一

第３３回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム2016年10月25日

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国内会議ポスター発表開催地：長崎

二重四角構造ピラーアレイを応用した超撥水性表面の低コスト量産プロセスの開発

中西完貴、簔城森幸、尹棟鉉、関口哲志、庄子習一

第３３回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム2016年10月25日

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国内会議ポスター発表開催地：長崎

Study for Simple Fabrication Process of Printable Piezoelectric Energy Harvest Device

鎌田裕樹、尹棟鉉、佐々木敏夫、野崎義人、山浦真一、関口哲志、中嶋宇史、庄子習一

第３３回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム2016年10月24日

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国内会議ポスター発表開催地：長崎

Complex Check-Like Cross-Sectional Flow Formation for Fiber-Shaped Materials

K. Kobayashi, D.H. Yoon, T. Sekiguchi, S. Shoji

The 20th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (μTAS 2016)2016年10月11日

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国際会議ポスター発表開催地：Dublin, Ireland

In Vitro Selection of Novel Peptide Agonists for Human Somatostatin Receptor Subtype-2 Using a Water-In-Oil Microdroplet Platform

T. Sakurai, R. Iizuka, Y. Nakamura, J. Ishii, A. Kondo, A. Iguchi, D.H. Yoon, T. Sekiguchi, S. Shoji, T. Funatsu2016年10月11日

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国際会議ポスター発表開催地：Dublin, Ireland

Fifty-Second Analysis of Oxidative Stress Markers in Human Plasma Using Amide-Modified Liquid Chromatography Chip

M. Isokawa, K. Nakanishi, D.H. Yoon, T. Sekiguchi, T. Funatsu, S. Shoji, M. Tsunoda

The 20th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (μTAS 2016)2016年10月11日

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国際会議ポスター発表開催地：Dublin, Ireland

ＭＥＭＳ関連の国際研究開発はどこに向かっているのか

庄子習一

ＭＥＭＳセンシング＆ネットワークシステム展「ＭＥＭＳ協議会フォーラム」招待有り2016年09月15日

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国内会議開催地：横浜

インクジェット工法を用いた環境発電素子の作製

鎌田裕樹、佐々木敏行、関口哲志、庄子習一

東北大学金属材料研究所・ナノ・ライフ創新研究機構 連携協定締結記念シンポジウム2016年09月01日

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国内会議ポスター発表開催地：仙台

早大 ＭＥＭＳ技術の紹介と小型発電デバイスへの応用例

庄子習一、関口哲志、水野潤

東北大学金属材料研究所・ナノ・ライフ創新研究機構 連携協定締結記念シンポジウム招待有り2016年09月01日

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開催地：仙台

Fabrication Process of Fluidic Devices for Producing Fine Droplets

Y. Nozaki, T. Kanai, A. Matsuo, D. Tanaka, I. Yuito, T. Takeuchi, T. Sekiguchi, S. Shoji

The 16th International Conference on Nanotechnology, (IEE NANO 2016)2016年08月24日

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国際会議口頭発表（一般）開催地：Sendai, Japan

脳標本のリアルタイム評価のためのバイオモニタリングシステムの開発

根岸周也、鎌田将仁、梶原利一、金子祐史、尹棟鉉、関口哲志、庄子習一、工藤寛之

電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会2016年06月30日

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国内会議口頭発表（一般）開催地：金沢

三次元マイクロ流体デバイスを用いたマルチコア螺旋構造ファイバの作製

尹棟鉉、有吉理沙、佐藤成晃、関口哲志、庄子習一

電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会2016年06月30日

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国内会議口頭発表（一般）開催地：金沢

Fabrication of Conductive Diamond Membrane for Functional TEM Grids Using Two-Step Dry Etching

B. Xu, H. Kuwae, T. Edura, H. Adaniya, M. Yamashita, T. Shintake, S. Shoji, J. Mizuno

Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology 2016 (APCOT 2016)2016年06月28日

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国際会議口頭発表（一般）開催地：Kanazawa, Japan

Low Temperature Bonding Between Polyether Ether Ketone (PEEK) and Pt Through Vapor Assisted VUV Surface Modification

W. Fu, S. Shoji, J. Mizuno, A. Shigetou

2016 IEEE 66th Electronic Components and Technology Conference (ECTC 2016)2016年06月03日

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国内会議口頭発表（一般）開催地：Las Vegas, USA

VUV/O3 Assisted Single-Crystal Quartz Bonding with Amorphous SiO2 Intermedicate Layer for Manufacturing Optical Low Pass Filter

B. Ma, H. Kuwae, A. Okada, W. Fu, S. Shoji, J. Mizuno

2016 International Conference on Electronics Packaging (ICEP 2016)2016年04月22日

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国際会議口頭発表（一般）開催地：Sapporo, Japan

ST-Quartz/LiTaO3 Direct Bonding Using SiO2 Amorphous Layers with VUV/O3 Pre-Treatment for a Novel 5G Surface Acoustic Wave Device

H. Suzaki, H. Kuwae, A. Okada, B. Ma, S. Shoji, J. Mizuno

2016 International Conference on Electronics Packaging (ICEP 2016)2016年04月22日

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国際会議口頭発表（一般）開催地：Sapporo, Japan

Low Temperature Direct Bonding of PEEK and Pt Through VUV/FAB Surface Treatments

W. Fu, A. Shigetou, S. Shoji, J. Mizuno

2016 International Conference on Electronics Packaging (ICEP 2016)2016年04月21日

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国際会議口頭発表（一般）開催地：Sapporo, Japan

Development of a Simple Fabrication Process for a Printable Piezoelectric Energy Harvest Device

Y. Kamata, D.H. Yoon, T. Sasaki, Y. Nozaki, S. Yamaura, T. Sekiguchi, T. Nakajima, S. Shoji

The 11th Annual IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE-NEMS 2016)2016年04月20日

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国際会議口頭発表（一般）開催地：Matsushima, Japan

Flexible Organic Light Emitting Diode Ribbons Using Three Liquid Organic Semiconductors

A. Nobori, N. Kobayashi, H. Kuwae, T. Kasahara, J. Oshima, C. Adachi, S. Shoji, J. Mizuno

The 11th Annual IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE-NEMS 2016)2016年04月18日

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国際会議口頭発表（一般）開催地：Matsushima, Japan

高密度３次元実装に向けたフィラー含有樹脂とバンプのハイブリッド接合技術

大山真輝、仁村将次、庄子習一、田村護、榎本智之、重藤暁津、水野潤

第２２回「エレクトロニクスにおけるマイクロ接合・実装技術」シンポジウム（Mate 2016）2016年02月03日

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国内会議口頭発表（一般）開催地：横浜

橋掛け構造により高い擦り耐性を実現するガラスナノピラー構造の作製

須藤健成、岡田愛姫子、桑江博之、高山公介、庄子習一、水野潤

第２２回「エレクトロニクスにおけるマイクロ接合・実装技術」シンポジウム（Mate 2016）2016年02月03日

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国内会議口頭発表（一般）開催地：横浜

All-Round Micro Sheath Flow Formation to Realize Complex Cross Sections by Simply Stacked PDMS Structures

D.H. Yoon, L. Ariyoshi, D. Tanaka, T. Sekiguchi, S. Shoji

The 29th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2016)2016年01月26日

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国際会議口頭発表（一般）開催地：Shanghai, China (2016) pp.141-144（発表日：1/26　口頭

Low Temperature Direct Bonding of Single Crystal Quartz Substrates for High Performance Optical Low Pass Filter Using Amorphous SiO2 Intermediate Layers

B. Ma, H. Kuwae, A. Okada, W. Fu, S. Shoji, J. Mizuno

The 29th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2016)2016年01月25日

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国際会議口頭発表（一般）開催地：Shanghai, China

Nano-Structured Organic Light Emitting Diode for Suppression of Roll-Off Characteristics Toward Electrically-Pumped Organic Semiconductor Laser Diodes

H. Kuwae, A. Nitta, T. Kasahara, K. Yoshida, S. Shoji, C. Adachi, J. Mizuno

2015 International Chemical Congress of Pacific Basin Societies (Pacifichem 2015)2015年12月17日

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国際会議ポスター発表開催地：Honolulu, Hawaii

マイクロフルイディックエンジニアリングの進展と課題

庄子習一、尹棟鉉、関口哲志

新化学技術推進協会(JACI)　電子情報技術部会　マイクロナノシステムと材料・加工分科会　講演会招待有り2015年11月04日

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国内会議口頭発表（招待・特別）開催地：東京

金属薄膜を用いた異種材料同時エッチングによる極微細ガラス構造の作製手法

須藤健成、桑江博之、岡田愛姫子、笠原崇史、高山公介、海田由里子、庄子習一、水野潤

第３２回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム2015年10月30日

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国内会議ポスター発表開催地：新潟

外部磁場で制御可能な回転式マイクロアクチュエータの作製とマイクロ液滴搬送への応用

中西完貴、尹棟鉉、関口哲志、庄子習一

第３２回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム2015年10月30日

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国内会議ポスター発表開催地：新潟

チップストリーミングを用いた単一細胞解析に向けた分離可能な液滴の生成

鎌田祐樹、尹棟鉉、関口哲志、庄子習一

第３２回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム2015年10月30日

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国内会議ポスター発表開催地：新潟

On-Chip Integration of Solid-Phase-Extraction and Silicon Pillar Arrays for High Efficient Liquid Chromatography

K Nakanishi, K. Shih, T. Kanamori, D.H. Yoon, T. Funatsu, M. Tsunoda, T. Sekiguchi, S. Shoji

The 19th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (μTAS 2015)2015年10月28日

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国際会議ポスター発表開催地：Gyeongiu, Korea

電流励起有機半導体レーザー光源に向けた高電流密度・高発光効率同時実現のためのNano-OLEDsの作製

桑江博之、新田篤志、笠原崇史、吉田功、庄子習一、安達千波矢、水野潤

第３２回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム2015年10月28日

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国内会議口頭発表（一般）開催地：新潟

ストライプ構造マイクロ流体白色有機ＥＬの作製

小林直史、笠原崇史、江面知彦、大島寿郎、石松亮一、今任稔彦、庄子習一、水野潤

第３２回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム2015年10月28日

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国内会議口頭発表（一般）開催地：新潟

Multi-Stage Size Dependent Passive Droplet Sorting Using Droplet Transfer on Cascade Line-Rails and Shape Recovery on Dot-Rails

Z. Xie, D.H. Yoon, T. Sekiguchi, S. Shoji

The 19th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (μTAS 2015)2015年10月27日

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国際会議口頭発表（一般）開催地：Gyeongiu, Korea

Culture-Independent Method for Screening and Identifying Microbial Enzyme-Encoding Genes Using Microdroplet-Based Single Cell Genomics

K. Nakamura, R. Iizuka, T. Yoshida, Y. Hatada, Y. Takaki, S. Nishi, A. Iguchi, D.H. Yoon, T. Sekiguchi, S. Shoji, T. Funatsu

The 19th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (μTAS 2015)2015年10月27日

詳細

国際会議ポスター発表開催地：Gyeongiu, Korea

Single Cell Encapsulated Microdroplet Formation Using TIP-Streaming and Deterministic Lateral Displacement

Y. Kamata, D.H. Yoon, T. Sekiguchi, S. Shoji

The 19th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (μTAS 2015)2015年10月26日

詳細

国際会議ポスター発表開催地：Gyeongiu, Korea

Low Temperature Direct Bonding of Polyether Ether Ketone (PEEK) and Pt

W. Fu, A. Shigetou, S. Shoji, J. Mizuno

International Microsystems, Packaging, Assembly and Circuit Technology Conference (IMPACT 2015)2015年10月22日

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国際会議口頭発表（一般）開催地：Taipei, Taiwan

Fabrication of a Hermetic Sealing Device Having I-Structure TGV Filled with Submicron Gold Particles

K. Nomura, A. Okada, S. Shoji, T. Ogashiwa, J. Mizuno

International Microsystems, Packaging, Assembly and Circuit Technology Conference (IMPACT 2015)2015年10月21日

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国際会議口頭発表（一般）開催地：Taipei, Taiwan

マイクロ流体技術を用いた液体有機発光デバイスの開発とその応用

水野潤、笠原崇史、津脇美帆、松波成行、江面知彦、石松亮一、大島寿郎、今任稔彦、庄子習一、安達千波矢

一般社団法人エレクトロニクス実装学会 秋季大会 第２５回マイクロエレクトロニクスシンポジウム2015年09月04日

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開催地：大阪

High Quality GaN Template Using Nanometer-Size SiO2 mask structure fabricated by UV-NIL

A. Okada, H. Shinohara, Hiroshi Goto, T. Matsueda, H. Sunakawa, Hiroki Goto, T. Nakagawa, A. Usui, A. Yamaguchi, S. Shoji, J. Mizuno

2015年07月29日

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国際会議口頭発表（一般）開催地：Waseda University, Tokyo, Japan

Effects of Surface Modification on Lignocellulosic Porous Carbon Pellets by Vacuum Ultraviolet Treatment

H. Kuwae, T. Kasahara, T. Funabashi, M. Kitajima, K. Mizokami, S. Shoji, J. Mizuno

The 7th International Conference on Green and Sustainable Chemistry (GSC-7) and 4th JACI/GSC Symposium2015年07月08日

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国際会議ポスター発表開催地：Tokyo, Japan

High Efficient Synthesis of Manganese(II), Cobalt(II) Complexes Containing Lysozyme Using Reaction Area Separated Micro Fluidic Device

D. Tanaka, Y. Murakoshi, E. Tsuda, Y. Mitsumoto, D.H. Yoon, T. Sekiguchi, T. Akitsu, S. Shoji

The 18th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2015)2015年06月23日

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国際会議口頭発表（一般）開催地：Anchorage, Alaska, USA

Microfluidic White Organic Light-Emitting Diode Based on Striped Fine Microchannels for Greenish Blue and Yellow Liquid Emitters

N. Kobayashi, T. Kasahara, T. Edura, J. Oshima, R. Ishimatsu, M. Tsuwaki, T. Imato, S. Shoji, J. Mizuno

The 18th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2015)2015年06月22日

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国際会議ポスター発表開催地：Anchorage, Alaska, USA

Vacuum Ultraviolet (VUV) and Vapor – Combined Surface Modification for Hybrid Bonding of SiC, GaN, and Si Substrates at Low Temperature and Atmospheric Pressure

A. Shigetou, J. Mizuno, S. Shoji

IEEE Electronic Components and Technology Confirence (ECTC 2015)2015年05月29日

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国際会議口頭発表（一般）開催地：San Diego, CA, USA

Hybrid Bonding of Cu/Sn Microbump and Adhesive with Silica Filter for 3D Interconnection of Single Micron Pitch

M. Ohyama, M. Nimura, J. Mizuno, S. Shoji, M. Tamura, T. Enomoto, A. Shigetou

2015年05月27日

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国際会議口頭発表（一般）開催地：San Diego, CA, USA

In Situ Monitoring Chemical Reaction in Microdroplet

T. Fukuda, T. Kurabayashi, H. Udaka, D.H. Yoon, M. Suzuki, A. Nakahara, T. Sekiguchi, S. Shoji

EMN (Energy Materials Nanotechnology) Meeting on Droplets2015年05月08日

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国際会議口頭発表（一般）開催地：Phuket, Thailand

Improvement of Surface Properties on Microfluidic Devices by Diamond-Like Carbone Coatings

Y. Murayama, K. Shiba, Y. Ohgoe, J. Mizuno, S. Shoji, K. Ozeki, K. Sato, A. Alanazi, K. Hirakuri

2015 International Conference on Electronics Packaging & iMAPS All Asia Conference (ICEP-IAAC2015)2015年04月17日

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国際会議ポスター発表開催地：Kyoto, Japan

Improved Low Temperature Gold-Gold Bonding Using Nanoporous Powder Bump Using Vacuum Ultraviolet Irradiation Pre-Treatment

T. Kaneda, J. Mizuno, A. Okada, K. Matsunaga, S. Shoji, M. Saito, H. Nishikawa

2015 International Conference on Electronics Packaging & iMAPS All Asia Conference (ICEP-IAAC2015)2015年04月16日

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国際会議口頭発表（一般）開催地：Kyoto, Japan

Fabrication of a Hermetic Sealing Device Using Low Temperature Intrinsic-Silicon/Glass Bonding

K. Nomura, J. Mizuno, A. Okada, S. Shoji, T. Ogashiwa

2015 International Conference on Electronics Packaging & iMAPS All Asia Conference (ICEP-IAAC2015)2015年04月16日

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国際会議口頭発表（一般）開催地：Kyoto, Japan

Vacuum Ultraviolet (VUV) and Vapor-Combined Surface Modification for Hybrid Bonding at Low Temperature and Atmospheric Pressure

A. Shigetou, J. Mizuno, S. Shoji

2015年04月16日

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国際会議口頭発表（一般）開催地：Kyoto, Japan

マイクロ?体デバイスを用いたキラルサレン型Mn(II), Co(II)錯体含有リゾチームの高効?合成

日本化学会第95春季年会2015年03月27日

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口頭発表（一般）

低温での真性シリコンーガラス接合を用いた気密封止デバイスの作製

第２９回エレクトロニクス実装学会春季講演大会2015年03月18日

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口頭発表（一般）

３次元実装に向けたナノポーラス粉末バンプと真空紫外光を利用した低温金—金接合技術

第２９回エレクトロニクス実装学会春季講演大会2015年03月18日

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口頭発表（一般）

SiCならびにGaNの低温大気圧接合

第２９回エレクトロニクス実装学会春季講演大会2015年03月16日

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口頭発表（一般）

微小液滴中の量子ドット一色素結合体の高速合成及び反応速度の定量化

第６２回応用物理学会春季学術講演会2015年03月11日

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口頭発表（一般）

ＭＥＭＳ３次元加工技術による化学・生化学応用機能デバイス

第５回６大学６研究所連研プロジェクト公開討論会2015年03月02日

低温Au-Au接合技術を用いた有機ELパネル作製プロセスの開発

第２１回「エレクトロニクスにおけるマイクロ接合・実装技術」シンポジウム（MATE 2015）2015年02月04日

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口頭発表（一般）

マイクロフルイディック エンジニアリング

東北大学ベンチャービジネス・ラボラトリー発足２０年記念シンポジウム2014年12月22日

FeCo系超磁歪材料を用いた小型発電デバイスの検討

第３１回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム2014年10月21日

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ポスター発表

電極付マイクロ流体デバイスの作製と電界発光評価

第３１回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム2014年10月21日

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ポスター発表

液体有機発光材料有機ＥＣＬ溶液を励起光源として用いたポータブル蛍光検出デバイスの試作

第３１回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム2014年10月21日

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口頭発表（一般）

ＵＶナノインプリントと異方性ウェットエッチングの組み合わせによるナノスケール極微細構造の作製

第３１回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム2014年10月20日

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ポスター発表

マイクロ流体有機発光素子の作製と評価

第２４回マイクロエレクトロニクスシンポジウム（MES 2014）2014年09月05日

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口頭発表（一般）

ハード＆ソフトMEMSの加工技術とその応用

文部科学省　先進環境材料・デバイス創製スクール（GRENE）主催「MEMS・ナノテクの基礎と応用講座」2014年07月22日

MEMS技術動向：世界のMEMS関連学会の発表からビジネス注目分野を推測

TIA N-MEMSシンポジウム / MEMS協議会フォーラム（ナノ・マイクロ ビジネス展）2014年04月25日

マイクロ流体デバイスを用いた金属錯体含有蛋白質の合成

日本化学会第９４春季年会（２０１４）2014年03月30日

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口頭発表（一般）

HIVの初期感染過程の解析のためのドロップレットデジタルPCR法の確立

日本化学会第９４春季年会（２０１４）2014年03月27日

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口頭発表（一般）

マイクロフルイディクエンジニアリングの進展とその化学・バイオ計測への応用展開

早稲田大学ナノテクノロジーフォーラム主催シンポジウム「ナノテクノロジーとその応用技術 —環境・生命医科学分野への最新応用事例とイノベーション展開—」2014年03月11日

マイクロフルイディックエンジニアリングの進展とその応用

先端計測２０１４2014年03月11日

マイクロドロップレットを利用した難培養微生物からの遺伝子獲得

インテリジェント材料・システムシンポジウム2014年01月14日

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口頭発表（一般）

三次元可変シースフローを実現したマイクロ流体デバイスで作製した生体適合性ゲルファイバー内での細胞培養と組織工学応用

インテリジェント材料・システムシンポジウム2014年01月14日

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口頭発表（一般）

ＭＥＭＳ/ナノテクノロジーの融合と化学・バイオへの応用

早稲田大学・関西大学 第４回理工学研究交流セミナー2013年12月18日

三次元可変シースフローマイクロ流体デバイスを用いた細胞包埋培養ゲルファイバーの作製と組織工学への応用

第３５回日本バイオマテリアル学会大会2013年11月25日

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ポスター発表

マイクロ／ナノフルィディクスの分析機器への応用

早大ナノテクノロジーフォーラム主催講演会2013年11月15日

マイクロ流路を用いた微小液滴生成デバイスにおける出力負荷の影響

電気学会センサ・マイクロマシン部門大会　第３０回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム2013年11月06日

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ポスター発表

三次元可変シースフローによる生体高分子ゲルファイバーの作製と包埋培養細胞の組織工学への応用

ＣＳＪ化学フェスタ２０１３2013年10月22日

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ポスター発表

マイクロ・ナノ流体デバイスと化学・生化学への応用

東京理科大学大学院化学特別講義2013年10月16日

ＭＥＭＳ/ＮＥＭＳデバイスの最新動向

Electronic Journal 第１９１９回 Technical Seminar2013年10月16日

使える材料、使える技術—トップダウン加工とボトムアップ加工の特徴・概要

文部科学省　先進環境材料・デバイス創製スクール（GRENE）主催「微細加工の基礎コース講座」2013年09月18日

MEMS技術動向：MEMS関連学会より最新技術動向を見る

TIA N-MEMSシンポジウム / MEMS協議会フォーラム（ナノ・マイクロ ビジネス展）2013年07月05日

マイクロ／ナノフルィディクスの分析機器への応用

早大ナノテクノロジーフォーラム主催講演会2013年06月28日

細胞の形態と生育領域を制御する培養系の開発と細胞内イベントの可視化

日本薬学会第１３３年会2013年03月29日

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ポスター発表

マイクロ流体システムを用いた局所的損傷刺激によるアポトーシス解析

第８６回日本薬理学会年会2013年03月23日

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ポスター発表

サブミクロン金粒子を用いたMEMSパッケージング用低温接合技術の開発

第１９回エレクトロニクスにおけるマイクロ接合・実装技術シンポジウム2013年01月30日

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ポスター発表

三次元LSIのためのAuバンプと接着剤のハイブリッド接合技術

第１９回エレクトロニクスにおけるマイクロ接合・実装技術シンポジウム2013年01月29日

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ポスター発表

集積化マイクロセンサ、センサシステム −３次元加工技術の観点から−

第１回ICE Cube Center（東京工業大学異種機能集積研究センター）研究会2012年11月20日

ナノテクことはじめ − 微細加工の基礎 −

（財）神奈川科学技術アカデミー主催「ナノ・マイクロ入門講座」2012年11月06日

XeF2 Si鋳型作製に関する研究

電気学会センサ・マイクロマシン部門大会　第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム2012年10月23日

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ポスター発表

ポリマー3次元マイクロ／ナノ構造体とその化学・生化学への応用

日韓マイクロ・ナノテクノロジーセミナー＠立命館2012年09月20日

電気二重層キャパシタ用自己支持性電極のための木質系炭素材料の作製と基礎的評価

（社）日本材料学会2012年度JCOM若手シンポジウム2012年09月01日

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口頭発表（一般）

MEMS技術動向：MEMS関連学会より最新技術動向を見る

第23回マイクロマシン／MEMS展2012年07月13日

SnCu-Auフリップチップの接合における界面への真空紫外光およびギ酸を用いたフラックスレス接合技術の基礎検討

第１８回エレクトロニクスにおけるマイクロ接合・実装技術シンポジウム（Mate 2012）2012年02月01日

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口頭発表（一般）

高スループット生体分子計測を目的とした光応用ナノ・マイクロ流体システム

レーザー学会学術講演会第３２回年次大会2012年01月31日

３次元集積化のための要素技術の研究

社団法人溶接学会、第98回マイクロ接合研究委員会2011年09月02日

ウェーハレベルパターン転写法を用いたサブミクロンAu 粒子低温ウェーハ接合

第51 回マイクロ接合研究委員会ソルダリング分科会2011年07月22日

MEMS技術動向：MEMS関連学会より最新技術動向を見る

MEMS協議会フォーラムTIA-NMEMSシンポジウム2011年07月15日

液体MEMS

日立製作所技術研修所主催講座「第９回MEMS設計の基礎」2011年07月12日

細胞機能解析用マイクロ流体デバイス／システム

東京大学マイクロ・ナノ多機能デバイス研究ネットワーク　第３回シンポジウム2011年07月04日

マイクロ流体デバイス・システム研究の始まりと展開

第２３回化学とマイクロ・ナノシステム研究会（23rd CHEMINAS）2011年06月11日

三次元集積化技術のための簡易低コストハイブリッド接合

第５８回応用物理学関係連合講演会2011年03月

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口頭発表（一般）

アポトーシス誘発刺激に対する単一細胞の応答解析に向けたマイクロ流体システムによる局所薬液投与

第８４回日本薬理学会年会2011年03月

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口頭発表（一般）

表面活性化技術を用いたマイクロ流路チップの作製

表面技術会 第１２３回講演大会2011年03月

化学・バイオ応用ナノ／マイクロ流体デバイス・システム

2011年03月

集積化マイクロ・ナノ流体システムと環境技術への応用展望

精密工学会　超精密加工専門委員会　第６１回研究会2011年01月

ＭＥＭＳ／ナノテクノロジーによるマイクロ／ナノ流体システム構築とバイオ・医療への応用

第６０回日本アレルギー学会秋季学術大会2010年11月

ＤＮＡ分析を目的としたナノドットパターンを有するＣＯＰマイクロチップの試作

第２２回化学とマイクロ・ナノシステム研究会（22nd CHEMINAS）2010年11月

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ポスター発表

低レイノルズ数領域の流体の性質を利用した化学・バイオ応用マイクロデバイス

第１５回マイクロフロービジュアリゼーション研究会2010年09月

Polymer MEMSとその化学・バイオ・医療への応用

第３４回センサ&アクチュエータ技術シンポジウム2010年09月

液体MEMS

日立製作所技術研修所主催講座「第８回MEMS設計の基礎」2010年07月

空間パターン形成解析のための糸状性シアノバクテリア用一細胞刺激デバイスの検討

第21回化学とマイクロ・ナノシステム研究会（21st CHEMINAS）2010年06月

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ポスター発表

温度感受性ポリマーを使った蛍光性ナノ粒子の検出分離システムの開発

第21回化学とマイクロ・ナノシステム研究会（21st CHEMINAS）2010年06月

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ポスター発表

新規流体制御法による生体分子分離システムの開発

第21回化学とマイクロ・ナノシステム研究会（21st CHEMINAS）2010年06月

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ポスター発表

ポストキュアを用いたレプリカモールドの理型性の向上

第５７回応用物理学関係連合講演会2010年03月

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口頭発表（一般）

マイクロ・ナノ加工技術

基盤技術支援セミナー「ナノ・マイクロファブリケーションとその未来」2009年11月

国際会議に見るＭＥＭＳ技術の動向と将来展望

マイクロナノ２００９　ＭＥＭＳ協議会（ＭＩＦ）フォーラム2009年07月

MEMS技術による３次元ポリマーマイクロ構造

日独マイクロナノ・ビジネスフォーラム2009年07月

MEMS・ナノテクノロジーのバイオ・医療への応用

平成２１年度第１回ちばバイオテクノロジーセミナー2009年07月

デスクトップ型熱アシストＵＶロールインプリント装置の開発

第２０回プラスチック成形加工学会　年次大会2009年05月

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口頭発表（一般）

ＰＤＭＳ−熱可塑性樹脂直接接合技術の研究

第１９回化学とマイクロ・ナノシステム研究会（19th CHEMINAS）2009年05月

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ポスター発表

温度感受性ハイドロゲルと蛍光検出を用いた細胞・生体分子の一括分離システム

第１９回化学とマイクロ・ナノシステム研究会（19th CHEMINAS）2009年05月

詳細

ポスター発表

PolymerMEMSと化学・バイオへの応用

MEMS Engineer Forum 20092009年03月

MEMS応用マイクロ・ナノ流体システム

４大学（慶大・早大・東工大・東大）ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム　拠点形成シンポジウム2009年03月

細胞機能解析を目的としたMEMSデバイス

第17回マイクロナノ先端技術交流会2009年02月

マイクロ流体デバイス

マイクロ・ナノ化学チップと医療・環境・バイオ分析、技術教育出版社2009年01月

マルチプレクサ型回路によるバルブアレイ制御システムの開発

第１８回化学とマイクロ・ナノシステム研究会（18th CHEMINAS）2008年12月

マイクロ流体デバイスを利用した脂肪細胞のミトコンドリアカウンティング

第１８回化学とマイクロ・ナノシステム研究会（18th CHEMINAS）2008年12月

細胞・生体分子の高精度一括分離システム

第１８回化学とマイクロ・ナノシステム研究会（18th CHEMINAS）2008年12月

表面修飾ポリマーマイクロチップを用いる生体試料の電気泳動分析2

第１９回クロマトグラフィー科学会議2008年12月

表面修飾ポリマーマイクロチップを用いる生体試料の電気泳動分析

第２８回キャピラリー電気泳動シンポジウム (SCE2008)2008年11月

MEMS/NTを応用した細胞機能解析マイクロシステム

第１７回日本コンピュータ外科学会大会2008年11月

ＵＶ硬化性フッ素樹脂を用いたＵＶ—インプリントによるナノパターン作製技術

第１６回プラスチック成形加工学会 秋季大会（成形加工シンポジア‘０８）2008年10月

ＵＶロールナノインプリント技術と転写特性

第１６回プラスチック成形加工学会 秋季大会（成形加工シンポジア‘０８）2008年10月

バイオ応用マイクロ/ナノ流体システム

第２回かずさＤＮＡ研究所—ASMeW 合同シンポジウム2008年10月

ＭＥＭＳ/ＮＴを応用した細胞機能解析マイクロシステム

センシング技術応用研究会総会・３０周年記念講演会2008年09月

三次元実装用20umピッチ垂直方向配線技術

第６９回応用物理学会学術講演会2008年09月

液体MEMS

日立製作所技術研修所主催講座「MEMS設計の基礎」2008年07月

空間パターン形成解析のための糸状性シアノバクテリア用トラップアレイの検討

第１７回化学とマイクロ・ナノシステム研究会（17th CHEMINAS）2008年05月

マイクロバルブ流体システムを用いた生体分子一分子イメージング技術の開発

第１７回化学とマイクロ・ナノシステム研究会（17th CHEMINAS）2008年05月

マイクロ流路内での細胞培養

第１７回化学とマイクロ・ナノシステム研究会（17th CHEMINAS）2008年05月

マイクロ／ナノデバイス・システムのバイオ・医療への応用

第２回次世代医療システム産業化フォーラム20082008年05月

UVナノインプリント技術を用いたCu立体配線の作製

2008年春季 第55回応用物理学関係連合講演会2008年03月

ダブルUVインプリントプロセスによるパターン作製技術を用いた大面積モールドの開発

2008年春季 第55回応用物理学関係連合講演会2008年03月

UV-NILを用いたフッ素樹脂製レプリカモールドの作製

2008年春季 第55回応用物理学関係連合講演会2008年03月

ESIスプレー集積化ポリマー製マイクロチップによる電気泳動分離−質量分析検出

日本化学会第88春季年会2008年03月

MEMS/ナノテクノロジーのバイオ分離・計測への応用

早稲田大学創立125周年記念シンポジウム「バイオ・ナノ融合領域の新展開」2007年12月

マイクロ/ナノ流体システムを用いた細胞機能計測

(独)日本学術振興会 産業計測第36委員会研究会2007年12月

細胞機能解析のためのマイクロ/ナノ流体システム

(社)新化学発展協会　電子情報技術部会　秋季講演会2007年11月

細胞機能解析を目的としたマイクロ/ナノ流体システム

応用物理学会　有機分子・バイオエレクトロニクス分科会講習会2007年11月

細胞機能解析を目的としたマイクロ流体デバイス/システム

電気学会　第五回「量子ビームによるナノバイオ科学と基盤技術調査専門委員会」2007年11月

ナノESI一体型ポリマー製マイクロチップによる電気泳動分離−質量分析検出

第27回キャピラリー電気泳動シンポジウム2007年11月

アドレス制御型バルブコントロールシステムの開発

第１６回化学とマイクロ・ナノシステム研究会（16th CHEMINAS）2007年10月

ピラーアレイを用いたオンチップLCの開発

日本分析化学会第56年会2007年09月

マイクロチップ電気泳動分離−質量分析検出用ポリマー製デバイスの開発

日本分析化学会第56年会2007年09月

三次元実装用接合技術の開発

第６８回応用物理学会学術講演会2007年09月

MEMSナノテクノロジー実用化技術

社）電子情報技術産業協会（JEITA）センシング技術専門委員会2007年07月

超微小デバイス技術の化学、バイオ（宇宙）への応用

財団法人京都高度技術研究所主催「ナノマシン技術のバイオ計測へのアプローチ」発表交流会（第25回KYO-NANO会）2007年07月

三次元ハイドロフォーカシングシースフローデバイスの作製

電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会2007年07月

バイオセンシングのためのマイクロ・ナノ流体システム

電気学会 第5回集積化センシングシステム調査専門委員会2007年06月

真空紫外線を用いたポリ尿素膜親水化処理とその血液チップへの応用

第１５回化学とマイクロ・ナノシステム研究会（15th CHEMINAS）2007年05月

シクロオレフィンポリマーマイクロチップによる電気流動分離一質量分析検出

第１５回化学とマイクロ・ナノシステム研究会（15th CHEMINAS）2007年05月

接着性フッ素樹脂（ネオフロンTMEFEP）を用いたマイクロ流体デバイスの作製

第１５回化学とマイクロ・ナノシステム研究会（15th CHEMINAS）2007年05月

高速応答微流量コントロールデバイス

第１５回化学とマイクロ・ナノシステム研究会（15th CHEMINAS）2007年05月

High Performance Liquid Chromatography (HPLC)用カラムのチップ化に関する研究

第１５回化学とマイクロ・ナノシステム研究会（15th CHEMINAS）2007年05月

電気泳動分離−質量分析検出用ポリマー製マイクロチップの作製

日本材料学会第56期学術講演会2007年05月

電気泳動分離−質量分析検出用シクロオレフィンポリマーマイクロチップの作製 (2)

第55回質量分析総合討論会2007年05月

電気泳動分離−質量分析検出用シクロオレフィンポリマーマイクロチップの作製

第14回クロマトグラフィーシンポジウム2007年05月

マイクロ〜ナノデバイスの社会的ニーズ

電気化学会第74回大会2007年03月

細胞、生体物質の機能解析を目的としたナノ/マイクロ流体システム

ナノテクノロジー総合支援プロジェクトセンター主催　第４回分野横断スクール「ナノバイオスクール：医療に向けたナノバイオ2006年12月

ナノ加工およびBioMEMS

日本学術振興会　未踏・ナノデバイステクノロジー第１５１委員会研究会、ナノバイオフュージョン分科会合同研究会2006年12月

化学・バイオ応用を目的としたマイクロナノ流体デバイス

The 4th 21COE International Symposium on Practical Nano-Chemistry, Waseda University2006年12月

マイクロ流体デバイス

財団法人神奈川科学技術アカデミー主催 教育講座「マイクロ化学チップー基礎の基礎」2006年11月

早稲田大学におけるMEMSおよびナノバイオ研究

２００６年度マイクロシステム技術研究会定例外セミナー「立命館大学・早稲田大学MEMS・ナノバイオ交流研究会」2006年11月

細胞・分子の高速ソーティングシステム

第５回集積光デバイス技術研究会2006年11月

MicroTAS 国際会議の歴史と今後の課題

第１４回化学とマイクロ・ナノシステム研究会（14th CHEMINAS）2006年11月

MEMS・マイクロ/ナノフルィディクスのバイオ・医療への応用

高分子学会　第２４回高分子表面研究会講座2006年06月

化学・生化学応用のための熱分解炭素化SU-8三次元構造体の試作

第１３回化学とマイクロ・ナノシステム研究会（13th CHEMINAS）2006年05月

UVナノインプリントを用いた高アスペクト比Siナノ構造体の作製

平成１８年度電気学会センサ・マイクロマシン準部門総合研究会2006年05月

シクロオレフィン樹脂マイクロチップにおける高性能電気泳動分析 (3)

日本化学会第86春季年会2006年03月

ポリマーの微細加工技術と化学・生化学マイクロナノ流体デバイス

社団法人 新化学発展協会　電子情報技術部会　MEMS - WG 講演会2006年02月

細胞・分子の高速ソーティングシステム

財団法人光産業技術振興協会　平成１７年度第４回光集積技術フィージビリティ調査委員会2006年01月

ポリマーMEMSとその化学・バイオへの応用

財団法人あきた企業活性化センター「秋田県医工連携クラスター・第３回オープンセミナー」2005年12月

細胞機能解析マイクロセルに用いるSiO2メッシュ構造体の作製

第１２回化学とマイクロ・ナノシステム研究会（12-CHEMINAS）2005年12月

Au電極一体型COPマイクロチャネルの制作II

第１２回化学とマイクロ・ナノシステム研究会（12-CHEMINAS）2005年12月

樹脂製マイクロチャネルアレイを用いた通過時間の再現性検討

第12回日本ヘモレオロジー学会2005年11月

シクロオレフィン樹脂マイクロチップにおける高性能電気泳動分析 (2)

第25回キャピラリー電気泳動シンポジウム；SCE 20052005年11月

シクロオレフィン樹脂マイクロチップにおける高性能電気泳動分析

第16回クロマトグラフィー科学会議2005年11月

ポリマーMEMSと化学・バイオへの応用

第１０回ナノテク部会研究会2005年11月

マイクロ・ナノ流体システムと化学・バイオへの応用

精密工学会　「第２７回マイクロ/ナノシステム研究専門委員会」2005年09月

ポリマーMEMSとマイクロTASへの応用

日本機械学会　２００５年度年次大会2005年09月

マイクロ・ナノフルィディクス

日本学術振興会　未踏・ナノデバイステクノロジー第151委員会　スクール企画2005年09月

微小空間における熱レンズ分光法およびナノ分子構造体を利用したマイクロチップ電気泳動の高感度化 (3)

第49回日本学術会議材料研究連合講演会2005年09月

熱レンズ顕微鏡検出およびオンライン試料濃縮の適用によるマイクロチップ電気泳動分析の高感度化

Separation Sciences 20052005年07月

樹脂製マイクロチャネルアレイを用いた血液流動試験

第80回日本医科器械学会大会2005年05月

低温直接接合によるPMMAマイクロ流体デバイスの制作

第１１回化学とマイクロ・ナノシステム研究会2005年05月

金電極—体型シクロオレフィンポリマーマイクロチャネルの作製

第１１回化学とマイクロ・ナノシステム研究会2005年05月

オンライン資料濃縮および熱レンズ顕微鏡によるマイクロチップ

第１１回化学とマイクロ・ナノシステム研究会2005年05月

MPS法によるマイクロチャネル内液滴生成の数値解析

第１１回化学とマイクロ・ナノシステム研究会2005年05月

微小空間における熱レンズ分光法およびナノ分子構造体を利用したマイクロチップ電気泳動の高感度化 (2)

日本材料学会第54期学術講演会2005年05月

マイクロ／ナノ流体システムとその化学・バイオへの応用

高分子学会　ポリマーフロンティア２１2005年04月

詳細

口頭発表（一般）

MEMS／ナノテクの化学・バイオへの応用

センサ・アクチュエータ・マイクロマシンウィーク2005 総合シンポジウム2005年04月

オンライン試料濃縮および熱レンズ顕微鏡測定によるマイクロチップ電気泳動分析の高感度化 (5)

日本化学会第85春季年会2005年03月

マイクロ・ナノ流体素子・システムとその化学・バイオへの応用

電気化学会・情報機能材料研究会，表面技術協会・表協エレクトロニクス部会合同研究会2004年12月

電気化学デバイスのためのスプレーコーティングを用いた立体電極パターニング

第10回 化学とマイクロ・ナノシステム研究会2004年11月

ハイスループット細胞分析のためのマイクロウェルアレイの開発

第10回 化学とマイクロ・ナノシステム研究会2004年11月

MEMS技術の化学・バイオへの応用

学振151委員会公開シンポジウム：　産業応用を広げるMEMS，ナノテクノを拓くNEMS2004年10月

マイクロ／ナノ流体デバイスおよびシステムの設計の現状

マイクロ流体におけるマルチフィジックスシンポジウム2004年08月

化学／バイオ応用を目的としたマイクロ／ナノ流体デバイスおよびシステム

マイクロリアクター技術研究会，第７回講演会2004年08月

細胞機能解析マイクロセルに用いるサンプルインジェクター構造の設計と試作

第9回 化学とマイクロ・ナノシステム研究会2004年05月

化学／生化学分析への応用を目的としたマイクロ／ナノ流体素子およびシステム

第11回クロマトグラフィーシンポジウム2004年05月

詳細

口頭発表（一般）

ナノ構造配列を基盤とする分子ナノ工学の構築とマイクロシステムへの展開

センサ・アクチュエータ・マイクロマシンウィーク2004 総合シンポジウム2004年04月

化学／生化学マイクロナノ流体デバイスの最近の発展

精密工学会春季大会学術講演会2004年03月

マイクロスケールの流体制御

日本電熱学会関東支部・日本ヒートパイプ協会シンポジウム2004年01月

化学・生化学マイクロ・ナノ流体デバイス・システム

Semicon Japan2003, SEMI Technology Symposium: STS20032003年12月

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口頭発表（一般）

化学・生化学を目的としたナノ／マイクロ流体デバイス・システム—LSI設計との類似性を意識して—

日本学術振興会　シリコン超集積化システム第165委員会　第29回研究会2003年07月

化学・生化学を目的としたナノ／マイクロ流体デバイス・システム—ナノテクノロジーと化学・バイオの接点—

日本学術振興会　ナノプローブテクノロジー第167委員会　第31回研究会2003年07月

未来の臨床化学分析—マイクロファブリケーション技術の応用ー

第２回　生物試料分析科学会関東支部学術集会2003年06月

化学・バイオナノ・マイクロシステム

次世代センサ協議会，第37回研究会2003年05月

化学・生化学へのMEMS技術の応用

電気化学会電子材料委員会，半導体・集積回路第63回シンポジウム2002年12月

トップダウンナノテクノロジーと化学・バイオの接点

日本学術振興会，未踏・ナノデバイステクノロジー第151委員会，第63回研究会2002年12月

ナノ・マイクロ化学：マイクロ化学デバイスを実現するキーテクノロジー

日本化学会関東支部講習会2002年11月

マイクロ流体素子および要素の開発

日本学術振興会　創造機能化学第116委員会，公開シンポジウム2002年10月

マイクロ流体システムと生体分子ハンドリング

第６３回応用物理学会シンポジウム—バイオ・医用マイクロデバイの新展開—2002年09月

μTASの最近の動向　—Microfluidics Device/System を中心として—

計測自動制御学会計測部門大会，第19回センシングフォーラム2002年09月

ナノ・マイクロシステム技術の臨床診断への応用展望

第34回日本臨床検査自動化学会大会2002年09月

MEMS技術とマイクロチャネル流体制御

オーガナイズドセッション，マイクロ設計日本設計工学会春季大会2002年05月

MEMS技術によるマイクロ流体システム−化学／生化学への応用展望

日本塑性加工学会，塑性加工シンポジウム2002年03月

マイクロマシン技術−化学／生化学への展開

エレクトロニクス・マイクロマシニング技術フォーラム2002年02月

マイクロセンサ技術の現状と将来展望

日本計量機器工業連合会第６回新技術導入・活用研究会2002年02月

マイクロ・ナノテクノロジーと検査技術

総合検診第３０回記念大会，日本総合検診医学会2002年01月

マイクロフルィディクスとマイクロ流体デバイス／システム

近畿化学協会合成部会ロボット合成研究会2001年12月

マイクロ流体デバイスと生体計測システムへの応用展望

日本エム・イー学会・日本バイオマテリアル学会合同シンポジウム2001年12月

化学・生化学マイクロシステムの研究開発の動向

日本機械学会・宇宙工学部門：宇宙サロン2001年11月

ナノボリューム空間を利用した化学／生化学マイクロシステムの研究動向

電子情報通信学会・第５回システムLSIワークショップ2001年11月

生体物質ハンドリングのためのマイクロフローシステム

日本化学会第80回秋季年会：ナノメカノテクノロジーとナノ・マイクロ化学の接点2001年09月

Siマイクロマシン技術を用いたトータルアナリシスシステムとDNAチップ

応用物理学会・第29回薄膜・表面セミナー：半導体ナノテクノロジーの展開2001年07月

μTASその現状と将来

日本学術振興会超集積化デバイス・システム第１６５委員会、第１８回研究会2001年01月

μTASのためのマイクロファブリケーション技術とマイクロ流体素子

東洋大学　第５回バイオ・ナノエレクトロニクス研究センター・シンポジウム2000年11月

生化学システムを目的としたマイクロフローデバイス

日本機会学会　２０００年度年次総会ワークショップ：　バイオMEMS2000年08月

マイクロマシン：バイオメディカルシステム

マイクロエレクトロニクス研究開発機構、第２１回ワークショップ2000年08月

サーフェイスマイクロマシニング マルチチップサービス（SUM-MICS）の動向

SEMIマイクロマシンセミナー、　セミコン関西2000年06月

マイクロ化学分析システムのためのマイクロフルィディクス

日本化学会第78春季大会，特別企画「ダウンサイジングケミストリー」2000年03月

マイクロマシンの実用化・標準化とそのインフラストラクチャ：実例紹介（２）早稲田大学における取り組み

電気学会全国大会シンポジウム2000年03月

FlumeCADを用いた生化学フローデバイスの設計

電気学会全国大会シンポジウム2000年03月

マイクロ-TASの実際と展望：マイクロ流体素子およびシステム

神奈川科学技術アカデミー教育講座1999年12月

マイクロチップ電気泳動の基板技術：マイクロマシーニングとマイクロ流体制御デバイス

第１９回キャピラリー電気泳動シンポジウム1999年12月

マイクロフローシステムとその微細加工技術

Science & Technologyスクエアー（財）日本産業技術振興協会1999年06月

マイクロ化学分析システム（mTAS）の最新動向

電気化学会（化学センサ）1999年03月

微小流路を用いたマイクロバイオシステム

電子情報通信学会ソサイエティ大会1997年09月

マイクロ化学分析システム（uTAS）の最近の動向

第８回計測連合シンポジウム／日本学術会議1997年05月

LIGAプロセス

日本ME学会雑誌BME/日本ME学会1995年05月

微小電子機械システム要素材料とマイクロマシーニング

まてりあ/金属学会

Measurement of the Cell Migration and Cytokine Secretion Activity with Real-Time Imaging System

Y. Tanaka, N. Suzuki, K. Moro, J. Mizuno, S. Shoji, S. Uemura, Y. Shirasaki

29th 2018 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science (MHS 2018)2018年12月11日

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国際会議口頭発表（一般）開催地：Nagoya, Japan

ビルドアップ樹脂を用いた熱インプリントプロセスによる高アスペクト比極微細ビア電極の作製

上林拓海、桑江博之、岸岡高広、臼井友輝、大橋拓矢、田村護、庄子習一、水野潤

第２５回「エレクトロニクスにおけるマイクロ接合・実装技術」シンポジウム（Mate 2019)2019年01月30日

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国内会議口頭発表（一般）開催地：横浜

メッシュパターンを有するフレキシブル酸化インジウムスズ電極の開発

坂本暁祐、桑江博之、庄子習一、水野潤

第２５回「エレクトロニクスにおけるマイクロ接合・実装技術」シンポジウム（Mate 2019)2019年01月30日

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国内会議口頭発表（一般）開催地：横浜

フレキシブル木質系炭素材料を用いた水蒸気発電デバイス

前田世蓮、桑江博之、高橋奈々、庄子習一、水野潤

第２５回「エレクトロニクスにおけるマイクロ接合・実装技術」シンポジウム（Mate 2019)2019年01月30日

詳細

国内会議口頭発表（一般）開催地：横浜

Water-Electrokinetic Power Generation Device Using Flexible Woody Carbon Film

S. Maeda, H. Kuwae, K. Sakamoto, S. Shoji, J. Mizuno

The 32nd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2019)2019年01月30日

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国際会議口頭発表（一般）開催地：Seoul

Oil-In-Water Droplet Formation in Hydrophobic PDMS Device Using Three-Dimensional Protruded Taper Channel

D.H. Yonn, T. Sekiguchi, S. Shoji

CIAiS (Research and Education Consortium for Innovation of Advanced Integrated Science) International Symposium 20192019年03月01日

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国際会議ポスター発表開催地：東京

Water-Electrokinetic Energy Harvester Using Flexible Woody Carbon Film

S. Maeda, H. Kuwae, S. Shoji, J. Mizuno

CIAiS (Research and Education Consortium for Innovation of Advanced Integrated Science) International Symposium 20192019年03月01日

詳細

国際会議ポスター発表開催地：東京

Low Cost and High-Efficient Piezoelectric MEMS Energy Harvester with Interdigitated Electrodes and Liquid-based VDF-TrFE

K. Sasagawa, D.H. Yoon, T. Sekiguchi, T. Sasaki, T. Nakajima, S. Shoji

CIAiS (Research and Education Consortium for Innovation of Advanced Integrated Science) International Symposium 20192019年03月01日

詳細

国際会議ポスター発表開催地：東京

マイクロ液滴を用いた効率的なアゾ化合物の合成

澤井俊介、田中大器、尹棟鉉、関口哲志、秋津貴城、庄子習一

日本化学会 第９９春季年会（2019）2019年03月17日

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国内会議口頭発表（一般）開催地：神戸

Study of Low-Residual Stress Amorphous Film Deposition Method for LiTaO3/Quarts or LiNbO3/Quarts Bonding toward 5G Surface Acoustic Wave Devices

A. Tezuka, H. Kuwae, K. Yamada, S. Shoji, S. Kakio, J. Mizuno

2019 International Conference on Electronics Packaging (ICEP 2019)2019年04月17日

詳細

国際会議ポスター発表開催地：新潟

Cu-Cu Quasi-Direct Bonding with Atomically Thin-Au and Pt Intermediate Layer Using Atomic Layer Deposition

H. Kuwae, K. Yamada, W. Momose, S. Shoji, J. Mizuno

2019 International Conference on Electronics Packaging (ICEP 2019)2019年04月18日

詳細

国際会議口頭発表（一般）開催地：新潟

Study on Role of Inserted Pt Intermediate Layer Deposited by Atomic Layer Deposition for Cu-Cu Quasi-Direct Bonding

K. Yamada, H. Kuwae, T. Kamibayashi, S. Shoji, W. Momose, J. Mizuno

2019 6th IEEE International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration (LTB-3D 2019)2019年05月24日

詳細

国際会議口頭発表（一般）開催地：Kanazawa, Japan

High-Efficiency Dibromination of Organic Compound in Microfluidic Channel of Si Pillar Array Directly Coated with Iron Catalyst

T. Sugaya, D. Tanaka, D.H. Yoon, Y. Nozaki, T. Sekiguchi, T. Akitsu, S. Shoji

The 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2019)2019年06月24日

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国際会議ポスター発表開催地：Berlin, Germany

High-Color-Purity Microfluidic Quantum Dots Light-Emitting Diodes Using the Electroluminescence of the Liquid Organic Semiconductor Backlight

M. Kawamura, H. Kuwae, T. Kamibayashi, J. Oshima, T. Kasahara, S. Shoji, J. Mizuno

The 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2019)2019年06月27日

詳細

国際会議口頭発表（一般）開催地：Berlin, Germany

Introduction of the Study on Moisture Adsorption Characteristics of Woody Carbon Material

N. Takahashi, H. Kuwae, S. Shoji, J. Mizuno

The 10th Japan-China-Korea Joint Conference on MEMS/NEMS (JCK MEMS/NEMS 2019)2019年07月17日

詳細

国際会議ポスター発表開催地：Asahikawa, Hokkaido, Japan

Construction of a Well-Operable Crystallization Method for Chemical Analysis Applying Microdroplet Device

S. Hattori, D. Tanka, D.H. Yoon, T. Sekiguchi, Y. Nozaki, T. Akitsu, S. Shoji

The 4th Conference on Micro Fluidic Handling Systems (MFHS 2019)2019年10月04日

詳細

国際会議口頭発表（一般）開催地：Enschede, The Netherlands

Low-Residual Stress ALD-AI2O3 Intermediate Layer for LiTaO3/Quarts Combined Surface Acoustic Wave Substrate

A. Tezuka, H. Kuwae, K. Yamada, S. Shoji, S. Kakio, J. Mizuno

2019 Taiwan-Japan Workshop on Electronic Interconnection III2019年10月22日

詳細

国際会議ポスター発表開催地：Taichung

LiTaO3/Quarts Bonding with Low-Residual-Stress Al2O3 Amorphous Intermediate Layer for 5G Surface Acoustic Wave Devices

A. Tezuka, H. Kuwae, K. Yamada, S. Shoji, S. Kakio, J. Mizuno

14th International Microsystems, Packaging, Assembly and Circuits Technology Conference (IMPACT-IAAC 2019)2019年10月25日

詳細

国際会議口頭発表（一般）開催地：Taipei

Establishment of Labo-In-A-Microdroplet for Azo Compound Synthesis

D. Tanaka, S. Sawai, T. Sugaya, Y. Nozaki, D.H. Yoon, T. Isano, H. Yamagata, H. Fujita, T. Sekiguchi, T. Akitsu, S. Shoji

The 23rd International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (μTAS 2019)2019年10月28日

詳細

国際会議ポスター発表開催地：Basel

Simultaneous Microdroplets Generation by Tall Breakup Induced with Multi-Branch Channel

S. Kajiya, D.H. Yoon, Y. Nozaki, T. Isano, H. Yamagata, H. Fujita, T. Sekiguchi, S. Shoji

The 23rd International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (μTAS 2019)2019年10月28日

詳細

国際会議ポスター発表開催地：Basel

Sequential Formation of Daughter Droplets by Breakup of Microdroplets into Bypass Channel

S. Hattori, D.H. Yoon, Y. Nozaki, T, Isano, H. Yamagata, H. Fujita, T. Sekiguchi, S. Shoji

The 23rd International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (μTAS 2019)2019年10月29日

詳細

国際会議ポスター発表開催地：Basel

High Efficient Synthesis of Functional Compounds by Microfluidic Device

D. Tanaka, D.H. Yoon, Y. Nozaki, T. Sekiguchi, T. Akitsu, S. Shoji

The 4th International Symposium on Creation of Life Innovation Materials for Interdisciplinary and International Researcher Development (iLIM-4)2019年10月03日

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国際会議口頭発表（招待・特別）開催地：Sendai, Japan

Fabrication of Artificial Oral Mucosa with Micropatterned Fish Scale-Collagen Scaffold by Soft Lithography

K. Miwa, A. Suzuki, H. Kuwae, I. Yamaguchi, Y. Kodama, K. Izumi, S. Shoji, J. Mizuno

2019 MRS (Materials Research Society) Fall Meeting2019年12月04日

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国際会議ポスター発表開催地：Boston, USA

Study on Correlation between Surface Morphology and Work Function of Aluminum Film in Nanoscale

K. Sasagawa, H. Kuwae, H. Goto, M. Sakata, T. Yasuda, J. Lu, H. Itoh, A. Honda, S. Shoji, J. Mizuno

2019 MRS (Materials Research Society) Fall Meeting2019年12月05日

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国際会議ポスター発表開催地：Boston, USA

RGB All Liquid-Based Microfluidic Quantum Dots Light-Emitting Diodes Using Deep-Blue Liquid Organic Semiconductor Backlight

M. Kawamura, H. Kuwae, T. Kamibayashi, J. Oshima, T. Kasahara, S. Shoji, J. Mizuno

The 33rd IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2020)2020年01月21日

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国際会議ポスター発表開催地：Vancouver, Canada

液体有機ELを用いたオンデマンド蛍光検出システムの開発

大塚茜里、桑江博之、大島寿郎、庄子習一、水野潤

第２６回「エレクトロニクスにおけるマイクロ接合・実装技術」シンポジウム（Mate 2020)2020年01月28日

詳細

国内会議ポスター発表開催地：横浜、日本

原子層堆積法により形成した薄膜金属中間層を用いた低温Cu-Cu疑似直接接合法の開発

山田紘右、桑江博之、百瀬渉、庄子習一、水野潤

第２６回「エレクトロニクスにおけるマイクロ接合・実装技術」シンポジウム（Mate 2020)2020年01月29日

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国内会議口頭発表（一般）開催地：横浜、日本

ソフトリソグラフィー技術を用いてマイクロパターン化した魚うろこコラーゲン足場材付き培養口腔粘膜の作成

三輪慶人、鈴木絢子、桑江博之、山口勇、兒玉泰洋、泉健次、庄子習一、水野潤

第２６回「エレクトロニクスにおけるマイクロ接合・実装技術」シンポジウム（Mate 2020)2020年01月29日

詳細

国内会議口頭発表（一般）開催地：横浜、日本

マイクロ・ナノ流体工学の光学・バイオ・化学への応用

庄子習一、桑江博之、尹棟鉉、田中大器、関口哲志、水野潤、野崎義人、笠原崇史、秋津貴城

電子情報通信学会　システムナノ技術に関する特別研究専門委員会（SNT）第３回研究会招待有り2020年01月31日

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国内会議口頭発表（招待・特別）開催地：東京、日本

Electrical Property Change of Woody Carbon Material by Moisture Absorption

N. Takahashi, H. Kuwae, S. Shoji, J. Mizuno

CIAiS (Research and Education Consortium for Innovation of Advanced Integrated Science) International Symposium2020年02月28日

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国際会議ポスター発表開催地：東京

化学合成への応用に向けた有機溶媒のマイクロドロップレット形成手法の構築

湯成河、服部翔平、野崎義人、尹棟鉉、田中大器、藤田博之、秋津貴城、関口哲志、庄子習一

日本化学会 第１００春季年会2020年03月25日

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国内会議口頭発表（一般）開催地：千葉

Deformability-Based Microfluidic Microdroplet Sorting as a Screening Method for Single Agarolytic Bacterial Cells

M. Muta, K. Saito, R. Iizuka, W. Kawakubo, D.H. Yoon, M. Ito, Y. Hatada, T. Sekiguchi, S. Shoji, T. Funatsu

The 24th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (μTAS 2020)2020年10月05日

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国際会議ポスター発表開催地：online

QFP/Quartz Adhesive Bonding with Surface Treatment for Physical Security of Edge Artificial Intelligence Devices

H. Nodaka, A. Tezuka, H. Kuwae, K. Yamada, M. Hoga, H. Shimamoto, S. Shoji, J. Mizuno

2020 International Conference on Electronics Packaging (ICEP 2020)2020年04月22日

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国際会議口頭発表（一般）開催地：online

特許

整理番号：229

マイクロシステム（日本）

船津　高志, 庄子　習一, 和田　恭雄, 筒井　謙, 水野　潤, 白崎　善隆

特願2002-319577、特開2004-152218

整理番号：240

マトリックス型可変マイクロ流路及びそのシステム（日本）

船津　高志, 庄子　習一, 白崎　善隆

特願2003- 40330、特開2004-249381

整理番号：318

樹脂製基板の接合方法及びこの接合方法を用いたソーティング装置（日本）

筒井　謙, 江面　知彦, 和田　恭雄, 庄子　習一, 船津　高志, 水野　潤

特願2003-280503、特開2005- 42073

整理番号：334

フローセル（日本）

庄子　習一

特願2003-345857、特開2005-114414、特許第4365182号

整理番号：352

マイクロリアクタの製造方法（日本）

本間　敬之, 庄子　習一, 逢坂　哲彌, 佐藤　裕崇

特願2004- 15141、特開2005-207901、特許第4356109号

整理番号：356

燃料電池及びその製造方法（日本）

逢坂　哲彌, 庄子　習一, 門間　聰之, 本川　慎二

特願2004-004736、特開2005-197188、特許第4679825号

整理番号：369

マイクロミキサーおよびその製造方法（日本）

庄子　習一, 佐藤　寛暢

特願2004-011121、特開2005-199245、特許第4326971号

整理番号：532

微粒子分別マイクロシステムおよび微粒子分別方法（日本）

庄子　習一, 荒川　貴博, 白崎　善隆, 船津　高志

特願2005-345393、特開2007-148981

整理番号：541

マイクロ反応装置（日本）

庄子　習一

特願2005-293046、特開2007-097510、特許第4672511号

整理番号：555

マイクロ反応装置（日本）

庄子　習一, 川合　健太郎

特願2005-302519、特開2007-113922、特許第4598646号

整理番号：616

転写装置（日本）

庄子　習一, 大野　浩志, 福原　誠, 水野　潤

特願2006-135778、特開2007-305944、特許第4830170号

整理番号：623

マイクロカプセル、マイクロカプセル製造装置及びマイクロカプセル製造方法（日本）

庄子　習一, 荒川　貴博, 山本　嵩洋

特願2006-253682、特開2008- 73581

整理番号：624

モールド支持構造（日本）

庄子　習一, 大野　浩志, 福原　誠, 水野　潤

特願2006-135779、特開2007-305945、特許第4830171号

整理番号：668

マイクロ反応装置（日本）

庄子　習一, 川合　健太郎

特願2006-296367、特開2008-111798、特許第4866208号

整理番号：724

半導体発光素子およびその製造方法（日本）

庄子　習一, 水野　潤, 大野　浩志

特願2007- 59801、特開2008-226962

整理番号：777

パターン化磁気記録媒体の製造方法（日本, 大韓民国, アメリカ, 中華人民共和国）

庄子　習一, 水野　潤, 篠原　秀敏

特願2008- 48744、特開2009-205771

整理番号：846

モールド、その製造方法および転写微細パターンを有する基材の製造方法（日本）

庄子　習一, 水野　潤, 片座　慎吾

特願2008-100641、特開2009- 1002

整理番号：896

マイクロ反応装置を用いた細胞運動評価方法（日本）

庄子　習一

特願2009-148339、特開2011- 4608、特許第5166360号

整理番号：933

変位計測システムを用いた建築物の施工管理方法（日本）

谷井　孝至, 松谷　巌, 大泊　巌, 西谷　章, 庄子　習一, 仁田　佳宏, 金川　清

特願2009-043798、特開2010-197282、特許第5137875号

整理番号：942

傾斜角度測定器（日本）

庄子　習一, 谷井　孝至, 大泊　巌, 西谷　章, 仁田　佳宏, 金川　清, 松谷　巌, 冨士　良太

特願2009-223380、特開2011- 69798

整理番号：960

接合方法（日本）

庄子　習一, 水野　潤, 佐久間　克幸

特願2009- 96951、特開2009-239288、特許第4473336号

整理番号：961

三次元シースフロー形成構造及び微粒子集束方法（日本）

庄子　習一, 水野　潤, 後藤　峰生, 加藤　友也, 篠原　秀敏, 船津　高志, 荒川　貴博

特願2009-135665、特開2010-279908、特許第5700189号

整理番号：975

変位計測装置、及び変位計測方法（日本）

谷井　孝至, 金川　清, 松谷　巌, 大泊　巌, 西谷　章, 庄子　習一, 仁田　佳宏

特願2009-157380、特開2011- 13095

整理番号：1025

変位計測装置（日本）

松谷　巌, 大泊　巌, 西谷　章, 庄子　習一, 谷井　孝至, 仁田　佳宏, 金川　清

特願2010-071368、特開2011-203150、特許第5544619号

整理番号：1026

変位計測装置（日本）

谷井　孝至, 仁田　佳宏, 金川　清, 松谷　巌, 大泊　巌, 西谷　章, 庄子　習一

特願2010-101740、特開2011-232123、特許第5610427号

整理番号：1041

表面改質処理装置（日本）

庄子　習一, 篠原　秀敏, 水野　潤

特願2010-125521、特開2011-251228

整理番号：1135

高密度磁気記録媒体及びその製造方法（日本）

逢坂　哲彌, 庄子　習一, 水野　潤, 杉山　敦史, 蜂巣　琢磨

特願2010-269983、特開2011-165299

整理番号：1143

テープ状部材の洗浄装置及び洗浄方法（日本）

水野　潤, 庄子　習一

特願2010-278036、特開2012-125679

整理番号：1160

微細パターンを表面に有する物品の製造方法（日本）

庄子　習一, 石橋　健太郎, 水野　潤

特願2011- 64634、特開2012-204375、特許第5733747号

整理番号：1365

テンプレート基板（日本）

庄子　習一, 水野　潤, 岡田　愛姫子

特願2012-226696、特開2014- 76928

整理番号：1366

基板および基板の製造方法（日本）

庄子　習一, 水野　潤, 岡田　愛姫子

特願2012-226697、特開2014- 76929

整理番号：1367

III族窒化物半導体層の製造方法（日本）

庄子　習一, 水野　潤, 岡田　愛姫子

特願2012-226698、特開2014- 78652

整理番号：1368

III族窒化物半導体層の製造方法（日本）

庄子　習一, 水野　潤, 岡田　愛姫子

特願2012-226700、特開2014- 78653

整理番号：1388

金属材の拡散接合方法および金属材の拡散接合装置（日本）

庄子　習一, 水野　潤, 岡田　愛姫子, 仁村　将次

特願2013- 64468、特開2014-188536

整理番号：1423

積層構造体の製造方法（日本）

庄子　習一, 水野　潤, 仁村　将次

特願2013-100949、特開2014-130993、特許第6157206号

整理番号：1449

接合方法（日本）

庄子　習一, 水野　潤

特願2013-184450、特開2015- 51542、特許第6251935号

整理番号：1902

フレキシブル透明電極及び有機エレクトロルミネッセンス素子（日本）

庄子　習一, 桑江　博之, 坂本　暁祐, 水野　潤

特願2017- 76016、特開2018-181490

整理番号：2030

ピラーアレイミキサー及びこれを使用した試料処理装置（日本）

庄子　習一, 関口　哲志, 中西　完貴

特願2018- 18368、特開2018-122295

整理番号：225-JP

細胞培養容器及びその容器を用いた細胞培養方法（日本）

庄子　習一, 川合　健太郎

特願2012-532891、特許第5703302号

外部研究資金

科学研究費採択状況

研究種別：

マイクロフルイディックエンジニアリングの深化と生体分子高感度定量計測への展開

2011年-0月-2016年-0月

配分額：￥215930000

研究種別：特別推進研究

電気化学デバイス工学の確立と深化

2008年-2012年

配分額：￥570440000

研究種別：

生体一分子リアルタイム機能解析のためのマイクロ流体システムの構築

配分額：￥48620000

研究種別：基盤研究(A)

高機能バイオセンシングのためのサンプル分離抽出・分析前処理マイクロシステムの構築

2004年-2006年

研究分野：マイクロ・ナノデバイス

配分額：￥50310000

研究種別：基盤研究(C)

非線形拡散制御による新規電気化学ナノ加工プロセスの開発

2003年-2005年

研究分野：材料加工・処理

配分額：￥3700000

研究種別：特定領域研究

界面電荷移動反応制御による新規ウェット系インテグレーションプロセスの開発

2002年-2003年

配分額：￥4500000

研究種別：

マイクロケモメカトロニクスの創成に関する総括研究

配分額：￥15300000

研究種別：特定領域研究(B)

マイクロセル内の流体及び液体-液体,固体-液体界面の解析および制御

2001年-2003年

配分額：￥26000000

研究種別：

マイクロチップ集積化による反応・機能制御システムの開発

配分額：￥390000000

研究種別：

1分子の分離、機能評価が可能なマイクロシステムを用いた高機能蛋白質の創製法

配分額：￥14100000

研究種別：

マイクロシステムによる1分子・オルガネラソーターと1分子機能アッセイ系の開発

配分額：￥2400000

研究種別：

診断・治療支援用無拘束計測システムの開発

配分額：￥3600000

研究種別：基盤研究(B)

高機能マイクロ生化学分析システム実現のための生体分子搬送・固定に関する研究

2000年-2002年

研究分野：計測工学

配分額：￥13100000

研究種別：

ディジタルマイクロミラー式光造形法による医用3次元構造体の形成

配分額：￥3500000

研究種別：

ガラスチップに集積したミクロ生化学分析実験システムの構築と単一細胞生化学

研究種別：

マイクロマシーニング技術を応用したX線・赤外線検出器の開発

配分額：￥13700000

研究種別：

スケーリング則にのる1トランジスタ形強誘電体メモリの基礎研究

配分額：￥16200000

研究種別：基盤研究(B)

ヘテロエピタキシャルダイヤモンド電界効果トランジスタを利用した耐環境バイオセンサ

1997年-1999年

研究分野：電子・電気材料工学

配分額：￥12000000

研究種別：

生体情報計測マイクロシステムのための集積化技術およびパッケージング技術の研究

配分額：￥3900000

研究種別：基盤研究(B)

次世代内視鏡の要素技術と方式に関する研究

1996年-1998年

研究分野：計測・制御工学

配分額：￥4400000

研究種別：一般研究(C)

超高流速および超低流速測定用マイクロフローセンサ

1995年-1996年

研究分野：計測・制御工学

配分額：￥2000000

研究種別：国際学術研究

医用集積化化学分析システムに関する共同研究

1991年-1992年

配分額：￥7000000

研究種別：特別推進研究

フォトファイブリケーションによるマイクロアクチュエータ

1991年-1994年

配分額：￥232000000

研究種別：試験研究(B)

集積化容量形圧力センサの高性能化

1990年-1991年

研究分野：電子機器工学

配分額：￥14100000

研究種別：試験研究

体内埋込圧力計測システムの開発

1988年-1989年

研究分野：計測・制御工学

配分額：￥8400000

研究種別：試験研究

医用低ドリフトモノリシック容量形圧センサの開発

1985年-1986年

研究分野：計測・制御工学

配分額：￥7300000

研究種別：

細胞内微小サンプル計測を目的としたマイクロ・ナノドロップレットハンドリング

2016年-0月-2019年-0月

配分額：￥44980000

研究種別：

三次元マイクロ流体デバイスを応用した多重微小界面の構築と機能性化学反応への応 用

2020年-0月-2023年-0月

配分額：￥45370000

研究資金の受入れ状況

提供機関:文部科学省

高機能性新半導体デバイス開発1998年-2002年

学内研究制度

特定課題研究

マイクロ・ナノ流体システム実用化の為のインターフェース技術の開発

2010年度共同研究者：関口哲志

研究成果概要：マイクロ流体デバイス内において細胞やオルガネラ、DNA等のバイオサンプルを取り扱う場合、対象サンプルが微小化、希少化するとともに、サンプルのロスレスなハンドリング技術が重要となり、また、微小サンプルから検出される各種シグナルも弱く...マイクロ流体デバイス内において細胞やオルガネラ、DNA等のバイオサンプルを取り扱う場合、対象サンプルが微小化、希少化するとともに、サンプルのロスレスなハンドリング技術が重要となり、また、微小サンプルから検出される各種シグナルも弱くなるため、センシングの高感度化も必要となる。本研究では、希少サンプルのサンプリング、ハンドリング、検出を行うための要素技術について基礎検討を行った。希少バイオサンプルをマイクロ流体デバイス中でハンドリングする場合、流体デバイス内の壁にサンプルが付着してしまうのを防ぐため、マイクロドロップレットで包み込んで搬送する等の工夫が必要である。そのため、マイクロ流体中で種々のサイズ（25umから300um）の微小ドロップレットを安定かつ大量に作製するとともに、これをPDMSバルブを用いて破壊することなく5流路に流しわけるシステムの開発を行い、種々のサイズのドロップレットの作製と流しわけに成功した。また、マイクロ流体デバイス中でハイドロゲルのSOL-GEL反応を用いて、大腸菌の高速な流しわけにも成功した。これらの要素技術を応用して一つのドロップレットにひとつずつ酵母を入れマイクロ流路中を搬送・流しわけすることを試み、現在までにある程度の歩留まり（７０％程度）で搬送と流しわけに成功している。センシングに関しては、まずマイクロドロップレット生成デバイスを応用してマイクロレンズを作製することに成功し、発光現象に対するインラインでの集光の可能性を示した。また、マイクロガラス流路中にたくさんのピラーを簡単に作製する手法を新たに確立し、従来ではプロセスの複雑さから実用性が疑問視されていた、ガラスピラーを光ファイバーとする高感度センシングシステムの可能性を示した。

疑似細胞構築のためのマイクロ／ナノ流体システム

2011年度共同研究者：関口　哲志

研究成果概要：マイクロ流体デバイス内において細胞やオルガネラ、DNA等のバイオサンプルを取り扱う場合、対象サンプルが微小化、希少化するとともに、サンプルのロスレスなハンドリング技術が重要となり、また、微小サンプルから検出される各種シグナルも弱く...マイクロ流体デバイス内において細胞やオルガネラ、DNA等のバイオサンプルを取り扱う場合、対象サンプルが微小化、希少化するとともに、サンプルのロスレスなハンドリング技術が重要となり、また、微小サンプルから検出される各種シグナルも弱くなるため、センシングの高感度化も必要となる。本研究では、希少サンプルのハンドリングおよび検出を行うための要素技術について基礎検討を行った。ハンドリング技術として三次元シースフローのバリアブルなコントロールについて検討を行い、簡単な構造のデバイスを用いてシースフローの位置と断面積の制御技術を確立した。本技術の確立により、従来微妙な流量制御が必要であった三次元シースフローの汎用化への道が開けた。本技術を使用し、今まで検出・分離の困難であったGFP発現酵母の高精度な分離を実現した。ドロップレットのパッシブなハンドリング方法についても検討し、マイクロ流路に簡単な溝を掘るだけで、大きさの違うドロップレットが表面エネルギーの差により自動的に流しわけされることを示した。これにより、外力を受けることなくドロップレットのソーティングが可能な事が示され、ドロップレットのダメージレスソーティングに道を開いた。さらに、2層PDMSデバイスを圧縮空気でコントロールすることにより、ドロップレットのデジタル融合が可能なことを示した。これにより自由な大きさのドロップレットの作製が容易に可能になり、その応用の可能性を広げた。センシング技術に関しては、まずマイクロドロップレット生成デバイスを応用してマイクロレンズを作製し、これをアレイ上に配置することにより、インラインでの集光の可能性を示した。また、XeF2を使ってエッチングしたSiを鋳型として使い、マイクロガラス流路中にたくさんのガラスレンズを簡単に作製する手法を新たに確立し、従来ではプロセスの複雑さから実用性が疑問視されていた、ガラスレンズアレイによる高感度センシングシステムの可能性を示した。

三次元ナノマイクロデバイス、ナノマイクロセンサ作製の為の新規プロセス技術の創製

2013年度共同研究者：関口 哲志

研究成果概要：本研究では、「三次元ナノマイクロデバイス、ナノマイクロセンサ作製の為の新規プロセス技術の創製」を行い、構築された技術が実際のバイオメディカル分野や化学分野で応用可能かどうかの検証を行った。そのための基盤技術として、マイクロ流体デバ...本研究では、「三次元ナノマイクロデバイス、ナノマイクロセンサ作製の為の新規プロセス技術の創製」を行い、構築された技術が実際のバイオメディカル分野や化学分野で応用可能かどうかの検証を行った。そのための基盤技術として、マイクロ流体デバイスを用いたマイクロドロップレットの操作技術の確立に主眼をおいた。マイクロドロップレットは、その内部に細胞やバクテリア、ナノ粒子や種々の化学物質等を抱合したままマイクロ流体デバイス内を搬送させることが可能であり、また、任意の位置で融合／破砕／取り出しが可能なため、近年盛んに研究がおこなわれている。当該技術の確立のために必要な要素技術は、マイクロドロップレットの作製技術、融合技術、流しわけ技術であり、これらの技術の確立を中心に検討を行った。従来もこれらの個々の技術を実現可能なデバイスは報告されているが、デバイス作製のためのプロセス技術やデバイス構造が煩雑であり、また、応用の範囲がきわめて限定されているものが大多数である。本研究では、コストを含めていかに簡単にデバイスを製作可能かおよびデバイス構造自体がいかにシンプルかという点に主眼をおいて研究を行った。まず、自由なサイズのマイクロドロップレットをシンプルなマイクロ流体デバイス構造で作製することを試み、エアバルブのコントロールのみでドロップレットのサイズが100倍以上可変可能なデバイスの実現に成功した。（参考文献リスト１）次に、シンプルなマイクロ流体デバイス構造で複数のドロップレットを融合することを試み、8個までの任意の大きさのドロップレットを一度に融合可能なデバイスの実現に成功した。（参考文献リスト２）さらに、これらのドロップレットを大きさ別に流し分ける技術の確立について、パッシブソーティングという新しい技術を確立し、柔らかいマイクロドロップレットを外力で破壊することなく、自動でソーティングが可能なデバイスの実現に成功した。（参考文献リスト３）最後に、上述の技術を用いて実際にゲルドロップレットを作製し、その内部に細胞を一つずづ導入し、ゲルドロップレットに細胞が入ったままで培養することを試み、これに成功した。（参考文献リスト４）以上のように、本研究ではマイクロ流体デバイス内でのマイクロドロップレットの操作技術に関して、従来は実現されていなかったシンプルなデバイス構造での作製技術、融合技術、流しわけ技術の確立に成功し、そのバイオ応用の可能性まで示した。

冗長性／拡張性を持つ革新的マイクロ流体システムの構築-ライフサイエンスへの展開-

2014年度共同研究者：関口 哲志

研究成果概要：本研究では、マイクロ流体デバイスの要素技術をシステム化することを念頭に「冗長性／拡張性を持つ革新的マイクロ流体システムの構築」について研究を行った。まず、多種類のドロップレットを順序良く並べ、必要な場所で融合させるマイクロ流体シス...本研究では、マイクロ流体デバイスの要素技術をシステム化することを念頭に「冗長性／拡張性を持つ革新的マイクロ流体システムの構築」について研究を行った。まず、多種類のドロップレットを順序良く並べ、必要な場所で融合させるマイクロ流体システムの開発に成功した。次に、ナノ粒子（QD）とたんぱく質をそれぞれ内包した異なる2種類のドロップレットを融合させ、その内部のナノ粒子がたんぱく質と反応する経時変化をリアルタイムに観察可能なシステムの開発に成功した。さらに、三次元シースフローを応用して人工血管の元となる血管内皮細胞を使った環状構造を作製し、その後培養を行うことにより実際に毛細血管の作製に成功した。

希少サンプルの特異的ハンドリング技術の創成と単一細胞内生体分子計測への応用

2016年度

研究成果概要：本研究では、「マイクロスケール～サブミクロンスケールの壊れやすい微小サンプル（固体/液体）の選択的ハンドリングと処理をマイクロ流体デバイス技術により行う事」を目的とした。まず、マイクロ流体デバイスを応用した超小型液体クロマトグラフ...本研究では、「マイクロスケール～サブミクロンスケールの壊れやすい微小サンプル（固体/液体）の選択的ハンドリングと処理をマイクロ流体デバイス技術により行う事」を目的とした。まず、マイクロ流体デバイスを応用した超小型液体クロマトグラフィーチップを新規に開発し、血漿内タンパク質のこれまでにない高感度な検出を実現した。次に、これを応用して一細胞内たんぱく質の検出と分離にも成功した。また、三次元シースフローの応用デバイスとして縦方向に自由な断面形状が形成可能なチップの開発に成功し、これを応用した機能性微小ファイバーの作製を実現し、本ファイバーを利用した組織再生研究に道を開いた。

細胞内微小サンプル計測を目的としたマイクロ・ナノドロップレットハンドリング

2019年度

研究成果概要：Based on microfluidic engineering developed in our laboratory, multiplex interfaces between specific multiple sourc...Based on microfluidic engineering developed in our laboratory, multiplex interfaces between specific multiple source reagents can be formed in micro channels. These flows enable functional chemical synthesis which is difficult in conventional methods. Actual synthesis of azo complex using micro droplet was realized in short time under the temperature and pH control free conditions. For bromine addition reaction, a multiplex pillar array micro flow device was applied. Using iron modification of the pillar surfaces, double addition reaction of Br was confirmed. Miniaturization of micro droplet have been continued to achieve analysis of micro scale targets in biological cells.

超高速流測定用マイクロフローセンサー

1995年度

研究成果概要： 本研究では超高速流の計測を目的とて流れにより生じる揚力を利用した新しい翼型マイクロフローセンサーを提案し，その基礎研究を行った。以下に本年度の成果を述べる。1. 超高速流計測翼型マイクロフローセンサーの設計，試作 流体力学，... 本研究では超高速流の計測を目的とて流れにより生じる揚力を利用した新しい翼型マイクロフローセンサーを提案し，その基礎研究を行った。以下に本年度の成果を述べる。1. 超高速流計測翼型マイクロフローセンサーの設計，試作 流体力学，航空力学をもとに高速流体において効率良く揚力を受ける翼の設計を行い，数種類の翼形状を決めた。微小構造体では粘性の影響が大きいため，構造よりも翼表面の形状が揚力発生に寄与することが予想された。そこで，翼表面に種々の形状の凹凸を形成し，翼表面と裏面における流速の差を大きくし揚力を得る翼を考案し，翼の表面積を変化させ実際の微小翼パターンを設計した。また，マイクロマシーニング技術の一つである高濃度ボロン拡散層を用いた洗濯エッチング技術を応用した製作プロセスにて微小構造体の試作を行った。このときボロン拡散などにおける残留応力の影響で構造体が破壊したり，反りが生じたりという問題があり，この応力を緩和するため高温アニールをするなど製作プロセスの改良をすすめている。2. 有限要素法流体シミュレーションによる揚力解析 微小翼の周りの気体の流れについて有限要素法を用いた流体シミュレータを用いて解析を行い，翼弦長により揚力が大きく変化することを確認した。また，高速流になると翼と流路壁との距離により流体が影響を受けることがわかり，センサを設置する流路の形状の設計の参考とした。3. 微小流路内の流れの測定 マイクロマシーニングで微小な流路を形成し，印可圧力と流量から粘性の影響を測定した。この実験の成果の一部をPACIFICHEM '95のMicro Total Analysis System Symposiumにおいて紹介した。 今後，これまで得られた成果をもとに翼型マイクロフローセンサを改良，試作して特性を測定しその結果について学会および論文誌に発表する予定である。

健康管理を目的としたマルチメディア時代の生体情報計測・通信システムの基礎研究

1996年度

研究成果概要：　本研究では、マルチメディア時代の情報通信網を利用した健康管理を目的とする生体情報計測・通信システムの実現を目指しその基礎研究を行った。まず、心電計測用マイクロシステムについては直接体を流れる微弱電気信号を伝送に用い手首などに装着...　本研究では、マルチメディア時代の情報通信網を利用した健康管理を目的とする生体情報計測・通信システムの実現を目指しその基礎研究を行った。まず、心電計測用マイクロシステムについては直接体を流れる微弱電気信号を伝送に用い手首などに装着できる小型中継器を介して送信する新しいテレメトリシステムの試作した。また、それをもとにシステムの改良を行い、雑音を低減でき良好な心電位波形計測が行えるようになった。また、通信の多重化についても検討し、多数のセンサを用いたマルチセンシングの可能性を確かめた。カプセル型マイクロシステムについてはシリコンを基板とした電界効果型トランジスタイオンセンサ、ピエゾ抵抗型圧力センサ、ダイオード型温度センサを一体化したマルチセンサを用いたシステムの設計・試作し、特性を評価した．従来のカプセル型システムに比べ大幅に小型化が可能であるという知見を得た。

アクチュエータ集積型宇宙線マイクロセンサの開発

1997年度

研究成果概要：本研究では人工衛星に搭載される小型軽量の宇宙線検出システムの開発を目標として、Ｘ線検出用ボロメータの基礎研究を行なった。従来のボロメータでは熱容量と熱絶縁の問題からセンサの感度に限界があり、個々の入射宇宙線を計測できるセンサの実現...本研究では人工衛星に搭載される小型軽量の宇宙線検出システムの開発を目標として、Ｘ線検出用ボロメータの基礎研究を行なった。従来のボロメータでは熱容量と熱絶縁の問題からセンサの感度に限界があり、個々の入射宇宙線を計測できるセンサの実現は不可能であった。そこで、電気的素子のセンサと機械的素子のアクチュエータの融合により放熱機構を持ったマイクロセンシング機構を開発することを目指した。以下に、本研究で得られた成果を箇条書きで示す。 １．シリコン異方性エッチング技術を検討し、プロセスを工夫することにより、温度センサを持つＸ線受光部を5μm厚の薄い梁構造で支える熱絶縁された微小構造体の製作技術を確立した。この方法では梁構造の残留応力による歪をほとんど生じないため、熱絶縁構造を必要とする他のマイクロセンサ製作にも有効である。２．Ｘ線センサは絶対零度付近で使用するため、この温度範囲で感度の高い温度センサが不可欠である。このためシリコンにｐ型不純物を拡散したタイプのSi熱電対を製作し、濃度－感度依存性を測定した。その結果、温度Ｔの約４乗に比例する出力を発生する高感度な温度センサとなる温度センサが実現できた。３．個々の入射宇宙線を検出するためには高感度の温度センサを実現するだけではなく、センサ部を定期的に冷却する放熱機構が必要となる。そこで、極低温でも有効に動作するマイクロアクチュエータについて検討したが、低温度での熱伝導など実用上の問題があり、放熱機構の再検討を行なっている。４．当該マイクロセンサは将来人工衛星に搭載することを目的としており、今後とも宇宙科学研究所のグループと共同で開発を続けて行く予定である。1998．3．26 電気学会・工藤、庄子、他・電気学会全国大会・宇宙放射線計測用高感度Ｘ線マイクロボロメータの開発・3-673・pp221-222

Microfluidicsを応用した微小流体制御デバイスの開発

1998年度

研究成果概要：マイクロマシーニング技術により作られる微小流路内で慣性力に比べ、粘性力の影響が大きくなるため流れは層流となる。このような流れはMicrofluidicsと呼ばれ化学分析システムなど、流体システムのマイクロ化に重要な意味を持つ。本研...マイクロマシーニング技術により作られる微小流路内で慣性力に比べ、粘性力の影響が大きくなるため流れは層流となる。このような流れはMicrofluidicsと呼ばれ化学分析システムなど、流体システムのマイクロ化に重要な意味を持つ。本研究では対象となる液体と流路の材料との界面状態を考慮し、“Microfluidics”の特質を十分生かした微小流体制御デバイスの研究を行った。まず、シリコン、ガラスなどの無機材料、ポリマー材料など表面性質や形状の異なる微小流路を作成し、全血の流れを観察した。その結果、表面化学基の極端に少ないパリレン膜を表面とし、流路の曲がりに曲率を持たせることが血栓や血液の凝固を防ぐ上で効果があることが確かめられた。また、血液の分析を目的としたマイクロ液体システム実現のため、空気圧で駆動するニューマチック型アクチュエータ部分を分離できる構造を持つ実用的なものである。次に、化学分析システムとして必要な要素である混合器、反応器集積化したマイクロフローセルを“Microfluidics”の特性を利用し設計、試作、評価した。特に２種類の液体を混合する機構では効率化を計るために多数のマイクロノズルから試薬が噴出する構造を採用し、その製作にシリコンの陽極化成によるマクロポーラスシリコン形成技術を応用した。また、SAWデバイスによる超音波振動を混合に利用することについても検討した。反応部分はp-n接合温度センサと金属薄膜マイクロヒータを一体化したシリコンマイクロセルを形成し、精密な温度制御を実現した。これらの要素をガラス基板上に配置し、互いの熱絶縁を実現するとともに流路をできる限り一定の断面積となるようにしたマイクロフローセルを製作し、効率の良い混合・反応が行なえることを確かめた。

ナノエレクトロニクスを基盤とした細胞内微小器官・再構築ナノ空間システムの創成

2006年度

研究成果概要：細胞機能解析のため細胞培養と試薬導入による細胞の変化をリアルタイムで計測するマイクロセルを開発している。大量の情報を短時間で収集するため８マイクロウエルを並列化し、それぞれにほぼ同数の細胞を分配導入するマイクロ流体デバイスを試作し...細胞機能解析のため細胞培養と試薬導入による細胞の変化をリアルタイムで計測するマイクロセルを開発している。大量の情報を短時間で収集するため８マイクロウエルを並列化し、それぞれにほぼ同数の細胞を分配導入するマイクロ流体デバイスを試作した。有限要素法を用いた流体解析の手法を有効に活用することにより、流路構造を最適化しほぼ目的の分配が可能なデバイスを作成できた。細胞内タンパク質の機能を維持したまま取り出すことを目的に、PDMSマイクロバルブを用いた細胞破砕デバイスを新たに開発した。これを用いて、特異的に染色したミトコンドリア持つ細胞をマイクロ流路中で捕捉し、個々のミトコンドリアを観察しつつ細胞破砕を行った。本方法では破砕後もミトコンドリアが脂質二重膜構造を維持しており、ミトコンドリアに対しダメージの少ない破砕方法であることが確認された。これにより、個々の細胞を観察しながら、タンパク質の機能を維持しつつ細胞外に取り出すことが初めて可能となった。有限要素法を用いた流体解析の手法を有効に活用することにより１入力－２出力の生体分子ソーティングシステム流路構造の最適化を行った。また、サンプル流の両側をキャリア流ではさむ形のシースフローを取り入れることにより、ゾル・ゲル相転移に伴う微小領域の僅かな粘度変化を利用してソーティング可能なデバイスを新規に開発した。これにより、ゾル-ゲル相転移速度のみに律速則される高速ソーティングが可能となった。入力部分に３次元的なシースフローを取り入れることによりサンプル流を底面に絞ることで、ターゲット粒子の分布を流路底面付近に集束させ、生体分子を一個ずつ確実に検出するように工夫した。これらの流路構造の最適化により、検出から分離まで5ミリ秒以内で行える高速ソーティングを実現し、ソーティングエラーも大幅に減少させた。

現在担当している科目

科目名開講学部・研究科開講年度学期
理工学基礎実験１Ａ　IIIブロック基幹理工学部2020春学期
理工学基礎実験１Ａ　IIIブロック創造理工学部2020春学期
理工学基礎実験１Ａ　IIIブロック先進理工学部2020春学期
理工学基礎実験１Ｂ　IIIブロック基幹理工学部2020秋学期
理工学基礎実験１Ｂ　IIIブロック創造理工学部2020秋学期
理工学基礎実験１Ｂ　IIIブロック先進理工学部2020秋学期
電子物理システム概論基幹理工学部2020集中講義（春学期）
電子物理システム概論　【前年度成績S評価者用】基幹理工学部2020集中講義（春学期）
電子物理システム実験A基幹理工学部2020秋学期
電子物理システム実験A　【前年度成績S評価者用】基幹理工学部2020秋学期
電子回路Ａ基幹理工学部2020春学期
電子回路Ａ　　【前年度成績S評価者用】基幹理工学部2020春学期
電子物理システム実験B基幹理工学部2020春学期
電子物理システム実験B　【前年度成績S評価者用】基幹理工学部2020春学期
電子物理システム実験C基幹理工学部2020秋学期
電子物理システム実験C　【前年度成績S評価者用】基幹理工学部2020秋学期
電子物理システム特別演習基幹理工学部2020秋学期
電子物理システム演習Ｃ基幹理工学部2020春学期
電子物理システム演習Ｃ　【前年度成績S評価者用】基幹理工学部2020春学期
電子回路Ｂ基幹理工学部2020秋学期
卒業論文Ａ基幹理工学部2020春学期
卒業論文Ａ基幹理工学部2020秋学期
卒業論文Ａ　　【前年度成績S評価者用】基幹理工学部2020春学期
卒業論文Ａ　　【前年度成績S評価者用】基幹理工学部2020秋学期
卒業論文Ｂ基幹理工学部2020秋学期
卒業論文Ｂ基幹理工学部2020春学期
卒業論文Ｂ　　【前年度成績S評価者用】基幹理工学部2020秋学期
MEMS基幹理工学部2020春学期
Research Project B基幹理工学部2020春学期
Research Project B　【前年度成績S評価者用】基幹理工学部2020春学期
Research Project C基幹理工学部2020秋学期
Research Project C　【前年度成績S評価者用】基幹理工学部2020秋学期
Research Project A基幹理工学部2020秋学期
Research Project D基幹理工学部2020春学期
Introduction to Electronics基幹理工学部2020冬クォーター
Physical Electronics Seminar A基幹理工学部2020冬クォーター
Physical Electronics Laboratory A基幹理工学部2020冬クォーター
修士論文（電子）大学院基幹理工学研究科2020通年
MEMS大学院基幹理工学研究科2020春学期
MEMS大学院先進理工学研究科2020春学期
Master's Thesis (Department of Electronic and Physical Systems)大学院基幹理工学研究科2020通年
総合ナノ理工学特論大学院基幹理工学研究科2020春学期
総合ナノ理工学特論大学院創造理工学研究科2020春学期
総合ナノ理工学特論大学院先進理工学研究科2020春学期
総合ナノ理工学特論大学院先進理工学研究科2020春学期
修士論文（ナノ理工）大学院先進理工学研究科2020通年
Research on Nano and Microsystem大学院基幹理工学研究科2020通年
マイクロシステム研究大学院基幹理工学研究科2020通年
Research on Microsystems大学院先進理工学研究科2020通年
マイクロシステム研究大学院先進理工学研究科2020通年
Nanobiotechnology Fusion Systems大学院基幹理工学研究科2020秋学期
ナノバイオフージョンシステム大学院基幹理工学研究科2020秋学期
Nanobiotechnology Fusion Systems大学院先進理工学研究科2020秋学期
ナノバイオフージョンシステム大学院先進理工学研究科2020秋学期
Experiments in Nanoscience and Nanoengineering大学院先進理工学研究科2020通年
ナノ理工学専攻特別実験大学院先進理工学研究科2020通年
Seminar on Microsystem Engineering A大学院基幹理工学研究科2020春学期
マイクロシステム演習Ａ大学院基幹理工学研究科2020春学期
Seminar on Microsystem Engineering A大学院先進理工学研究科2020春学期
マイクロシステム演習Ａ大学院先進理工学研究科2020春学期
Seminar on Microsystem Engineering B大学院基幹理工学研究科2020秋学期
マイクロシステム演習Ｂ大学院基幹理工学研究科2020秋学期
Seminar on Microsystem Engineering B大学院先進理工学研究科2020秋学期
マイクロシステム演習Ｂ大学院先進理工学研究科2020秋学期
Seminar on Microsystem Engineering C大学院基幹理工学研究科2020春学期
マイクロシステム演習Ｃ大学院基幹理工学研究科2020春学期
Seminar on Microsystem Engineering C大学院先進理工学研究科2020春学期
マイクロシステム演習Ｃ大学院先進理工学研究科2020春学期
Seminar on Microsystem Engineering D大学院基幹理工学研究科2020秋学期
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Master's Thesis (Department of Nanoscience and Nanoengineering)大学院先進理工学研究科2020通年
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