氏名

ヤマグチ カツノリ

山口 勉功

職名

教授

所属

(創造理工学部)

本属以外の学内所属

学内研究所等

各務記念材料技術研究所

兼任研究員 2017年-2018年

理工学術院総合研究所(理工学研究所)

兼任研究員 2018年-

論文

Novel pathways for elimination of chlorine atoms from growing Si(100) surfaces in CVD reactors

Kunioshi, Nílson; Hagino, Sho; Fuwa, Akio; Yamaguchi, Katsunori

Applied Surface Science441p.773 - 7792018年05月-2018年05月 

DOIScopus

詳細

ISSN:01694332

概要:© 2018 Elsevier B.V. Reactions leading to elimination of chlorine atoms from growing Si(100) surfaces were simulated using clusters of silicon atoms of different sizes and shapes, and at the UB3LYP/6–31 g(d,p) level of theory. The reactions of type SiCl 2 (s) + 2 H 2 (g), where (s) indicates an adsorbed species at the surface and (g) a gas-phase species, were found to proceed in two steps: SiCl 2 (s) + H 2 (g) → SiHCl(s) + HCl(g) and SiHCl(s) + H 2 (g) → SiH 2 (s) + HCl(g), each having activation energies around 55 kcal/mol, a value which is comparable to experimental values published in the literature. In addition, the results suggested that H-passivation of Si(100) surfaces support reactions leading to canonical epitaxial growth, providing a plausible explanation for the convenience of passivating the surfaces prior to silicon deposition. The reactions analyzed here can therefore be seen as important steps in the mechanism of epitaxial growth of Si(100) surfaces.

外部研究資金

科学研究費採択状況

研究種別:

金属溶媒を用いた高放射性ジルコニウム廃棄物の減容化処理法の開発

2015年-0月-2018年-0月

配分額:¥5070000

研究種別:

シリコンカーバイド製ディーゼルパティキュラフィルターからの白金族金属の回収

2011年-0月-2014年-0月

配分額:¥5460000

研究種別:

鉄鋼添加元素リサイクルシステムの基盤研究

配分額:¥18590000

研究種別:

水素化リチウムを用いた革新的水素貯蔵・輸送システムの構築に関する基礎的研究

配分額:¥48880000

研究種別:

銅溶錬プロセスにおける貴金属のスラグ損失に関する基礎研究

配分額:¥4940000

研究種別:

コバルトリッチクラストを原料とした新コバルト製錬に関する基礎研究

配分額:¥3840000

研究種別:

廃棄物中の鉛、亜鉛のリサイクルフローとその処理法に関する企画調査

配分額:¥2100000

研究種別:

2液相分離による含銅鉄スクラップからの銅と鉄の分離

配分額:¥3800000

研究種別:

難分解性有機ハロゲン化合物の高度無害化処理

配分額:¥45370000

研究種別:

Zn-Te系化合物半導体材料の蒸気圧-温度-組成相関図

配分額:¥2400000

研究種別:

オキシサルファイドを利用したセラミック表面への金属膜の形成

配分額:¥3900000

研究種別:

GaAs化合物半導体スクラップの精製に関する基礎研究

配分額:¥2100000

研究種別:

投下型高温熱量計の開発

配分額:¥8800000

研究種別:

CdS/CdTe系太陽電池の電着プロセスに関する研究

配分額:¥1000000

研究種別:

Cd-Te系合金液体の会合体に関する熱力学的研究

配分額:¥800000

研究種別:

製鋼煙灰に含まれる金属元素の分離回収技術の開発

配分額:¥1600000

研究種別:

InPAs混晶半導体材料の化学熱力学的研究

配分額:¥900000

研究種別:

Cd-Te系半導体材料の平衡状態図と熱力学に関する研究

配分額:¥900000

研究種別:

GaInAs混晶半導体材料の化学熱力学的研究

配分額:¥900000

研究種別:

III-V族化合物半導体材料の化学熱力学的研究

配分額:¥800000

研究種別:

忌避物質のマテリアルフロー分析と資源循環高効率化の余地の定量化

2019年-0月-2022年-0月

配分額:¥17030000

現在担当している科目

科目名開講学部・研究科開講年度学期
鉄鋼材料学基幹理工学部2020春学期
環境資源工学の展望創造理工学部2020春学期
環境資源工学の展望 14前再創造理工学部2020春学期
環境資源工学の展望 【前年度成績S評価者用】創造理工学部2020春学期
環境資源工学の展望 14前再 【前年度成績S評価者用】創造理工学部2020春学期
素材プロセス工学概論創造理工学部2020秋学期
素材プロセス工学概論  【前年度成績S評価者用】創造理工学部2020秋学期
応用物理化学及び演習A創造理工学部2020春学期
応用物理化学及び演習A  【前年度成績S評価者用】創造理工学部2020春学期
Laboratory Work on Resources and Environmental Engineering A創造理工学部2020春学期
環境資源工学実験A創造理工学部2020春学期
環境資源工学実験A  【前年度成績S評価者用】創造理工学部2020春学期
Laboratory Work on Resources and Environmental Engineering B創造理工学部2020秋学期
環境資源工学実験B創造理工学部2020秋学期
環境資源工学実験B  【前年度成績S評価者用】創造理工学部2020秋学期
卒業論文創造理工学部2020通年
卒業論文  【前年度成績S評価者用】創造理工学部2020通年
金属生産工学創造理工学部2020春学期
素材物理化学A創造理工学部2020秋学期
素材物理化学B創造理工学部2020春学期
Introduction to Resources Recycling Engineering創造理工学部2020秋学期
Resources Separation and Refining創造理工学部2020春学期
修士論文(地球資源)大学院創造理工学研究科2020通年
鉄鋼材料学特論大学院基幹理工学研究科2020春学期
鉄鋼材料学特論大学院基幹理工学研究科2020春学期
鉄鋼材料学特論大学院創造理工学研究科2020春学期
Research on Extractive Metallurgy and Materials Process Engineering大学院創造理工学研究科2020通年
素材プロセス工学研究大学院創造理工学研究科2020通年
素材工学特論大学院創造理工学研究科2020春学期
金属生産工学大学院創造理工学研究科2020春学期
Seminar on Extractive Metallurgy and Materials Processing Engineering A大学院創造理工学研究科2020春学期
素材プロセス工学演習A大学院創造理工学研究科2020春学期
Seminar on Extractive Metallurgy and Materials Processing Engineering B大学院創造理工学研究科2020秋学期
素材プロセス工学演習B大学院創造理工学研究科2020秋学期
Seminar on Extractive Metallurgy and Materials Processing Engineering C大学院創造理工学研究科2020春学期
素材プロセス工学演習C大学院創造理工学研究科2020春学期
Seminar on Extractive Metallurgy and Materials Processing Engineering D大学院創造理工学研究科2020秋学期
素材プロセス工学演習D大学院創造理工学研究科2020秋学期
Master's Thesis (Department of Earth Sciences,Resources and Environmental Engineering)大学院創造理工学研究科2020通年
Physical Chemistry of Separation Technology大学院創造理工学研究科2020秋学期
素材プロセス工学研究大学院創造理工学研究科2020通年
素材プロセス工学特別演習大学院創造理工学研究科2020通年