氏名

ヤナギタニ タカヒコ

柳谷 隆彦

職名

准教授

所属

(先進理工学部)

連絡先

メールアドレス

メールアドレス
yanagitani@waseda.jp

URL等

WebページURL

http://www.eb.waseda.ac.jp/yanagitani/

研究者番号
10450652

本属以外の学内所属

兼担

理工学術院(大学院先進理工学研究科)

学内研究所等

構造生物・創薬研究所

研究所員 2015年-

アンビエントロニクス研究所

研究所員 2018年-

理工学術院総合研究所(理工学研究所)

兼任研究員 2018年-

学歴・学位

学歴

-2001年 同志社大学 工学部 電子工学科
-2003年 同志社大学 工学研究科 電気工学専攻
-2006年 同志社大学 工学研究科 電気工学専攻

学位

博士(工学) 課程 同志社大学 電子デバイス・電子機器

経歴

2012年-2015年名古屋工業大学 機械工学科 計測分野共通教育コアメンバー(旧教養部物理学教室)助教(任期なし)
2008年-2012年名古屋工業大学 機械工学科 計測分野共通教育コアメンバー(旧教養部物理学教室)助教(任期あり)

委員歴・役員歴(学外)

・Scientificreport誌(Naturepublishinggroup)編集委員
・IEEE(米国電気学会)UltrasonicSymposiumTechnicalprogramcommittee
(Group: Physical Acoustics)
・電気情報通信学会超音波研究会専門員
・超音波シンポジウム(USE)運営委員
・日本音響学会査読委員

受賞

褒賞  (国立大学法人名古屋工業大学)

2013年11月

「教員評価に基づく表彰」特別優秀賞 (国立大学法人名古屋工業大学)

2012年11月

「教員評価に基づく表彰」優秀賞 (国立大学法人名古屋工業大学)

2013年11月授与機関:国立大学法人 名古屋工業大学

粟屋潔学術奨励賞

2010年10月授与機関:日本音響学会

応用物理学会講演奨励賞(指導学生)

2015年09月

タイトル:Al極性(0001)ScAlN/O極性(000-1)ZnO極性反転構造の薄膜音響共振子

応用物理学会講演奨励賞(指導学生)

2013年09月

タイトル:イオンビームアシスト成膜によるc軸平行極性反転AlN多層構造の形成

超音波シンポジウム奨励賞

2007年11月

研究分野

キーワード

超音波エレクトロニクス、RF-MEMS、医工学デバイス、医工学計測、弾性波デバイス、圧電薄膜

科研費分類

工学 / 電気電子工学 / 電子デバイス・電子機器

総合理工 / 応用物理学 / 薄膜・表面界面物性

総合理工 / 応用物理学 / 応用物理学一般

総合理工 / ナノ・マイクロ科学 / ナノマイクロシステム

総合理工 / ナノ・マイクロ科学 / ナノバイオサイエンス

研究テーマ履歴

超音波エレクトロニクス、RF-MEMS、医工学デバイス、医工学計測、弾性波デバイス、圧電薄膜

個人研究

論文

Method for measuring polarity-inverted layered structure in dielectric thin films using scanning nonlinear dielectric microscopy

H. Odagawa, K. Terada, H. Nishikawa, T. Yanagitani and Y. Cho

Ferroelectrics査読有り498p.47 - 512016年05月-

詳細

掲載種別:研究論文(学術雑誌)

Acoustic wave velocities and refractive indices in an m-plane GaN single crystal plate and c-axis oriented ScAlN films measured by Brillouin scattering techniques

H. Ichihashi T. Yanagitani, M. Suzuki, S. Takayanagi, M. Kawabe, S. Tomita and M. Matsukawa

IEEE Trans. Ultrason., Ferroelectr., Freq. Contr.査読有り63(5)p.717 - 7252016年05月-

詳細

掲載種別:研究論文(学術雑誌)

High-Tc/high-coupling relaxed PZT-based single crystal thin films

K. Wasa, T. Matsushima, H. Adachi, T. Matsunaga, T. Yanagitani and T. Yamamoto

J. Appl. Phys.査読有り117p.1241062015年03月-

詳細

掲載種別:研究論文(学術雑誌)

Effects of microstructure and water on the electrical potentials in bone induced by ultrasound irradiation

H Tsuneda, S Matsukawa, S Takayanagi, K Mizuno, T Yanagitani, M Matsukawa

Appl. Phys. Lett.査読有り106(7)p.0737042015年02月-

詳細

掲載種別:研究論文(学術雑誌)

Gigahertz acoustic wave velocity measurement in GaN single crystals considering acousto-electric effect

H Ichihashi, T Yanagitani, S Takayanagi, M Kawabe, M Matsukawa

IEEE Trans. Ultrason., Ferroelectr., Freq. Contr.査読有り61p.1307 - 13132014年08月-

詳細

掲載種別:研究論文(学術雑誌)

Electromechanical coupling and gigahertz elastic properties of ScAlN films near phase boundary

T Yanagitani, M Suzuki

Appl. Phys. Lett.査読有り105(12)p.1229072014年09月-

詳細

掲載種別:研究論文(学術雑誌)

Polarity-inverted ScAlN film growth by ion beam irradiation and application to overtone acoustic wave (000-1)/(0001) film resonators

M. Suzuki, T. Yanagitani, and H. Odagawa

Appl. Phys. Lett.査読有り104(23)p.1729052014年05月-

詳細

掲載種別:研究論文(学術雑誌)

Enhanced piezoelectricity in YbGaN films near phase boundary

T. Yanagitani, and M. Suzuki

Appl. Phys. Lett.査読有り104(23)p.0829112014年02月-

詳細

掲載種別:研究論文(学術雑誌)

非破壊検査用の高分解能超音波プローブ

柳谷隆彦、鈴木雅視、高柳 真司

日本音響学会誌(解説記事)査読有り招待有りvol. 71(no. 5)p.230 - 2382015年05月-

詳細

掲載種別:研究論文(学術雑誌)

M. Okino et al., "Electrical potentials in bone induced by ultrasound irradiation in the MHz range"

M. Okino, S. Coutelou, K. Mizuno, T. Yanagitani, M. Matsukawa

Appl. Phys. Lett.査読有り103p.1037012013年09月-

詳細

掲載種別:研究論文(学術雑誌)

T. Yanagitani and M. Suzuki, "Significant shear mode softening in a c-axis tilt nanostructured hexagonal thin film induced by self-shadowing effect"

T. Yanagitani and M. Suzuki

Scripta mater.査読有り69p.724 - 7272013年08月-

詳細

掲載種別:研究論文(学術雑誌)

S. Takayanagi, T. Yanagitani and M. Matsukawa, A method for predicting thickness of unoriented layer in ZnO film using piezoelectricity distribution in depth direction

S. Takayanagi, T. Yanagitani and M. Matsukawa

J. Phys. D: Appl. Phys査読有り46(315305)p.1 - 52013年07月-

詳細

掲載種別:研究論文(学術雑誌)

H. Sano et. al., "High-performance Brillouin spectroscopy of phonons induced by a piezoelectric thin film with a coaxial microwave resonator

H. Sano, T. Yanagitani, S. Takayanagi, T. Sugimoto, M. Matsukawa

IEEE Trans. Ultrason., Ferroelect., Freq. Contr., 査読有り60(5)p.873 - 8762013年05月-

詳細

掲載種別:研究論文(学術雑誌)

S. Takayanagi et. al., Effect of metal mode and oxide mode on unusual c-axis parallel oriented ZnO film growth on Al/glass substrate in a reactive magnetron sputteringo f Zn target

S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa

J. Cryst. Growth査読有り363p.22 - 242013年01月-

詳細

掲載種別:研究論文(学術雑誌)

S. Takayanagi, et. al., Unusual growth of polycrystalline oxide film induced by negative ion bombardment in the capacitively coupled plasma deposition

S. Takayanagi, T. Yanagitani, and M. Matsukawa

Appl. Phys. Lett.査読有り101(232902)p.1 - 32012年12月-

詳細

掲載種別:研究論文(学術雑誌)

S. Takayanagi et. al., Wideband multimode transducer consisting of c-axis tilted ZnO / caxis normal ZnO multilayer

S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa

Jpn. J. Appl. Phys.査読有り51(07GC08)2012年07月-

詳細

掲載種別:研究論文(学術雑誌)

K. Yamamoto et al., Relationships between the anisotropy of longitudinal wave velocity and hydroxyapatite crystallite orientation in bovine cortical bone

Kazufumi Yamamoto, M.D.; Tomohiro Nakatsuji; Yuichiro Yaoi; Yu Yamato; Takahiko Yanagitani; Kaoru Yamazaki; Mami Matsukawa; Yukihiro Matsuyama

Ultrasonics査読有り52(3)p.377 - 3862011年09月-

詳細

掲載種別:研究論文(学術雑誌)

T. Nakatsuji, et al., "Three-Dimensional Anisotropy of Ultrasonic Wave Velocity in Bovine Cortical Bone:Effects of Hydroxyapatite Crystallites Orientation and Microstructure"

Tomohiro Nakatsuji, Kazufumi Yamamoto, Daisuke Suga, Takahiko Yanagitani, Mami Matsukawa, Kaoru Yamazaki, and Yukihiro Matsuyama

Jpn. J. Appl. Phys.査読有り50(07HF18)p.1 - 62011年07月-

詳細

掲載種別:研究論文(学術雑誌)

T. Yoshida et al., "Observation of induced longitudinal and shear acoustic phonons by Brillouin scattering"

T. Yoshida, T. Yanagitani, and M. Matsukawa,

IEEE Trans. Ultrason., Ferroelectr., Freq. Contr., 査読有り58(6)p.1255 - 12602011年06月-

詳細

掲載種別:研究論文(学術雑誌)

T. Yanagitani et al., "c-axis zig-zag ZnO film ultrasonic transducers for designing longitudinal and shear wave resonant frequencies and modes'

T. Yanagitani, N Morisato, S. Takayanagi, M. Matsukawa, and Y. Watanabe,

IEEE Trans. Ultrason., Ferroelectr., Freq. Contr.査読有り58(5)p.1062 - 10682011年05月-

詳細

掲載種別:研究論文(学術雑誌)

T. Yanagitani and M. Kiuchi, "Texture modification of wurtzite piezoelectric films by ion beam irradiation"

T. Yanagitani and M. Kiuchi

Surf. Coat. Technol.,査読有り206p.816 - 8192011年04月-

詳細

掲載種別:研究論文(学術雑誌)

T. Yanagitani, et. al., "A method for measuring in-plane unidirectional electrical properties in a wide band-gap semiconductor using a Brillouin scattering method"

T. Yanagitani, H. Sano, and M. Matsukawa

J. Appl. Phys.査読有り108(024910)p.1 - 42010年07月-

詳細

掲載種別:研究論文(学術雑誌)

T. Kawamoto, et. al., "Large-area growth of in-plane oriented (11-20) ZnO films by linear cathode magnetron sputtering"

T. Kawamoto, T. Yanagitani, M. Matsukawa, Y. Watanabe, Y. Mori, S. Sasaki, and M. Oba

Jpn. J. Appl. Phys.査読有り49(07HD16)p.1 - 42010年07月-

詳細

掲載種別:研究論文(学術雑誌)

A. Tanaka, et. al., "Propagation characteristics of shear horizontal surface acoustic waves in (11-20) ZnO film/silica glass substrate structures"

A. Tanaka, T. Yanagitani, M. Matsukawa, and Y. Watanabe

IEEE Trans. Ultrason., Ferroelectr., Freq. Contr. 査読有り55p.2709 - 2713 2008年12月-

詳細

掲載種別:研究論文(学術雑誌)

Y. Yamato., et. al., "Distribution of hydroxyapatite crystallites orientation and longitudinal wave velocity in ring-shaped cortical bone of bovine femur"

Y. Yamato, M. Matsukawa, H. Mizukawa, T. Yanagitani, K. Yamazaki, and A. Nagano

IEEE Trans. Ultrason., Ferroelectr., Freq. Contr.査読有り55(6)p.1298 - 13032008年06月-

詳細

掲載種別:研究論文(学術雑誌)

T. Yanagitani, et. al.,"Characteristics of pure-shear mode BAW resonators consisting of (11-20) textured ZnO films"

T. Yanagitani, M. Kiuchi, M. Matsukawa, and Y. Watanabe

IEEE Trans. Ultrason., Ferroelectr., Freq. Contr.査読有り54(8)p.1680 - 16862007年08月-

詳細

掲載種別:研究論文(学術雑誌)

T. Yanagitani, and M. Kiuchi, "Control of in-plane and out-of-plane texture in shear mode piezoelectric ZnO films by ion-beam irradiation"

T. Yanagitani and M. Kiuchi

J. Appl. Phys.査読有り102(4)p.044115-1 - 044115-72007年08月-

詳細

掲載種別:研究論文(学術雑誌)

T. Yanagitani, et. al., "Shear-mode electromechanical coupling coefficient k15 and crystallites alignment of (11-20) textured ZnO films"

T. Yanagitani, M. Kiuchi, M. Matsukawa, and Y. Watanabe

J. Appl. Phys.査読有り102(2)p.024110-1 - 024110-72007年07月-

詳細

掲載種別:研究論文(学術雑誌)

Electromechanical coupling coefficient k15 of polycrystalline ZnO films with the c-axes lie in the substrate plane

T. Yanagitani, N. Mishima, M. Matsukawa, and Y. Watanabe

IEEE Trans. Ultrason., Ferroelectr., Freq. Contr.査読有り54(4)p.701 - 7042007年04月-

詳細

掲載種別:研究論文(学術雑誌)

Conversion characteristics of the shear wave transducer made of unidirectionally aligned ZnO film in plane

T. Nohara, T. Yanagitani, M. Matsukawa, and Y. Watanabe

Jpn. J. Appl. Phys.査読有り45(5A)p.4201 - 42032006年05月-

詳細

掲載種別:研究論文(学術雑誌)

Effect of sputtering geometry on the (11-20) textured ZnO piezofilm

Y. Miyamoto, T. Yanagitan, M. Matsukawa, and Y. Watanabe

Acoust. Sci. & Tech.査読有り27(1)p.53 - 552006年01月-

詳細

掲載種別:研究論文(学術雑誌)

Characteristics of (10-10) and (11-20) textured ZnO piezofilms for a shear mode resonator in the VHF-UHF frequency ranges

T. Yanagitani, T. Nohara, M. Matsukawa, Y. Watanabe, and T. Otani

IEEE Trans. Ultrason., Ferroelectr., Freq. Contr.査読有り52(11)p.2140 - 21452005年11月-

詳細

掲載種別:研究論文(学術雑誌)

Formation of uniaxially (11-20) textured ZnO film on glass substrates

T. Yanagitani, M. Matsukawa, Y. Watanabe, and T. Otani

J. Cryst. Growth査読有り276p.424 - 4302005年04月-

詳細

掲載種別:研究論文(学術雑誌)

Characterizations of (11-20) textured ZnO films fabricated by RF magnetron sputtering

T. Yanagitani, S. Tomohiro, T. Nohara, M. Matsukawa, Y. Watanabe, and T. Otani

Jpn. J. Appl. Phys.査読有り43(5B)p.3004 - 30072004年03月-

詳細

掲載種別:研究論文(学術雑誌)

Y. Yaoi, et. al., "Anisotropy of longitudinal wave velocity and hydroxyapatite orientation in bovine cortical bone"

Y. Yaoi, K. Yamamoto, T. Nakatsuji, T. Yanagitani, M. Matsukawa, K. Yamazaki, and A. Nagano

Jpn. J. Appl. Phys.査読有り48p.07GK06-1 - 07GK06-42009年07月-

詳細

掲載種別:研究論文(学術雑誌)

Distribution of longitudinal wave velocity and hydroxyapatite crystallite orientation in bovine cortical bone

Y. Yaoi, K. Yamamoto, Y. Yamato, T. Yanagitani, M. Matsukawa, K. Yamazaki, and A. Nagano,

Acoust. Sci. & Tech.査読有り30p.306 - 3092009年04月-

詳細

掲載種別:研究論文(学術雑誌)

Ultrasonic wave properties in the bone axis direction of bovine cortical bone

K. Yamamoto, Y. Yaoi, Y. Yamato, H. Mizukawa, T. Yanagitani, M. Matsukawa, K. Yamazaki, and A. Nagano

Jpn. J. Appl. Phys.査読有り47p.4096 - 41002008年05月-

詳細

掲載種別:研究論文(学術雑誌)

Y. Yamato., et. al., "Correlation between hydroxyapatite crystallite orientation and ultrasonic wave velocities in bovine cortical bone"

Y. Yamato, M. Matsukawa, T. Yanagitani, K. Yamazaki, H. Mizukawa, and A. Nagano

Calcif Tissue Int.査読有り82(2)p.162 - 1692008年02月-

詳細

掲載種別:研究論文(学術雑誌)

T. Yanagitani and M. Kiuchi, "Highly oriented ZnO thin films deposited by grazing ion-beam sputtering: application to acoustic shear wave excitation in the GHz range"

T. Yanagitani and M. Kiuchi

Jpn. J. Appl. Phys.査読有り46(47)p.L1167 - L11692007年11月-

詳細

掲載種別:研究論文(学術雑誌)

Effects of sputtering gas conditions on formation of (11-20) textured ZnO films

T. Kawamoto, T. Yanagitani, M. Matsukawa, and Y. Watanabe

Jpn. J. Appl. Phys.査読有り46(7B)p.4660 - 46642007年07月-

詳細

掲載種別:研究論文(学術雑誌)

Observation of induced shear acoustic phonons by Brillouin scattering

S. Murata, T. Kawamoto, M. Matsukawa, T. Yanagitani, and N. Ohtori

Jpn. J. Appl. Phys.査読有り46(7B)p.4626 - 46282007年07月-

詳細

掲載種別:研究論文(学術雑誌)

Multiple shear wave roundtrips liquid sensor by c-axis parallel oriented ZnO film/silica glass pipe structure

S. Hiyama, T. Yanagitani, S. Takayanagi, Y. Kato, M. Matsukawa

Proc. IEEE Ultrason. Symp.p.765 - 7682015年03月-

詳細

掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)

Effect of Sc concentration on shear wave velocities in ScAlN films measured by micro-Brillouin scattering technique

H. Ichihashi, T. Yanagitani, S. Takayanagi1, M. Matsukawa

Proc. IEEE Ultrason. Symp.p.2521 - 25242015年03月-

詳細

掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)

High electromechanical coupling in PZT epitaxial thick film resonators at 550 degC

T. Yanagitani, K. Katada, M. Suzuki, K. Wasa

Proc. IEEE Freq. Contr. Symp.p.121 - 1232014年05月-

詳細

掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)

Second harmonic mode polarization inverted resonator consisting of PbTiO3 thin film

K. Katada, T. Yanagitani, M. Suzuki, K. Wasa

Proc. IEEE Freq. Contr. Symp.p.119 - 1202014年05月-

詳細

掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)

High Tc /High Coupling Perovskite Thin Films

K. Wasa, T. Matsushima, H. Adachi, T. Matsunaga, T. Yanagitani, T. Yamamoto

Proc. IEEE ISAF/IWATMD/PFMp.1 - 42014年05月-

詳細

掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)

Fast hypersonic velocity measurement by Brillouin scattering from induced phonons

Takeshi Sugimoto, Takahiko Yanagitani, Shinji Takayanagi and Mami Matsukawa

Proc. IEEE Ultrason. Symp.1p.2187 - 21902013年04月-

詳細

掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)

M. Suzuki, and T. Yanagitani, c-axis parallel oriented AlN film resonator fabricated by ion-beam assisted RF magnetron sputtering,”

M. Suzuki, and T. Yanagitani

Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1p.1230 - 12332012年05月-

詳細

掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)

Quantitative analysis of the effect of energetic particle bombardment during deposition on (11-20) ZnO piezoelectric films

S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa, Y. Watanabe,

Proc. IEEE Ultrason. Symp.1p.2317 - 23202012年05月-

詳細

掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)

Brillouin scattering from induced phonons excited by the ZnO piezoelectric thin film with a coaxial resonator,

T. Sugimoto, H. Sano, T. Yanagitani, S. Takayanagi, M. Matsukawa,

Proc. IEEE Ultrason. Symp.1p.1099 - 11022012年05月-

詳細

掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)

c-axis parallel oriented ZnO film SH-SAW sensor for electrical conductivity measurement in liquid

Y. Nakahigashi, T. Yanagitani,M. Matsukawa,Y. Watanabe

Proc. IEEE Ultrason. Symp.1p.810 - 8132012年05月-

詳細

掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)

M. Suzuki, and T. Yanagitani, Polarizaion-inverted multilayered pure shear mode AlN film resonator

M. Suzuki, and T. Yanagitani

Proc. IEEE Ultrason. Symp.1p.312 - 3152012年05月-

詳細

掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)

Highest wave velocity direction in the bovine cortical bone: observation of a small tilt relative to the bone axis

T. Nakatsuji, K. Yamamoto, T. Yanagitani, M. Matsukawa, K. Yamazaki

Proc. IEEE Ultrason. Symp.2011年04月-

詳細

掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)

A simple technique for obtaining (11-20) or (10-10) textured ZnO films by RF bias sputtering

S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa, Y. Watanabe

Proc. IEEE Ultrason. Symp.p.1060 - 10632011年04月-

詳細

掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)

Deposition techniques of c-axis-tilted ScAlN films by conventional RF magnetron sputtering

K. Arakawa, T. Yanagitani, K. Kano, A. Teshigahara, M. Akiyama

Proc. IEEE Ultrason. Symp.p.1050 - 10532011年04月-

詳細

掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)

Influence of shadowing effect on shear mode acoustic properties in the c-axis tilted AlN films

M Suzuki, and T. Yanagitani

Proc. IEEE Ultrason. Symp.p.1478 - 14812011年04月-

詳細

掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)

Giant shear mode electromechanical coupling coefficient k15 in c-axis tilted ScAlN films

T. Yanagitani, K. Arakawa, M. Suzuki, K. Kano, T. Akihiko, A. Morito,

Proc. IEEE Ultrason. Symp.p.2095 - 20982011年04月-

詳細

掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)

Effects of HAp alignment and microstructure on the anisotropy of longitudinal wave velocity in bovine cortical bone

K. Yamamoto, T. Nakatsuji, Y. Yamato, T. Yanagitani, K. Yamazaki, M. Matsukawa, Y. Matsuyama

Proc. IEEE Ultrason. Symp.2011年04月-

詳細

掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)

Multilayered shear wave resonator consisting of c-axis tilted ZnO films

N. Morisato, S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa and Y. Watanabe

Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2009p.2162 - 21652010年03月-

詳細

掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)

Measurement of electric properties in a ZnO single crystal via electromechanical coupling using Brillouin scattering method

T. Yanagitani, H. Sano, and M. Matsukawa

Proc. IEEE Ultrason. Symp. p.1074 - 10772010年03月-

詳細

掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)

Anisotropy of longitudinal wave velocity in spherically shaped bovine cortical bone

K. Yamamoto, T. Nakatsuji, M. Indo, T. Yanagitani, M. Matsukawa, K. Yamazaki

IFMBE Proceedings27p.102 - 1052010年01月-

詳細

掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)

超音波による骨質の評価

山崎薫, 大和雄, 山本和史, 長野昭, 松川真美, 矢追佑一郎, 柳谷隆彦

オポローシス・ジャパン16p.388 - 3922008年04月-

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掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)

Pure-shear mode BAW resonator consisting of (10-10) and (11-20) textured AlN films

T. Yanagitani and Masato Kiuchi

Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2008p.90 - 932008年04月-

詳細

掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)

Electromechanical coupling coefficient of semiconducting hexagonal crystal measured by Brillouin scattering

T. Yanagitani , Y. Yoshida,and M. Matsukawa

Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2008p.1487 - 14902008年04月-

詳細

掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)

Pure-shear mode BAW resonators consisting of (11-20) textured ZnO films

T. Yanagitani, M. Kiuch, M. Matsukawa and Y. Watanabe

Acoustics 08 Parisp.4987 - 49922008年04月-

詳細

掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)

Observation of induced shear acoustic phonons by Brillouin scattering

T. Yoshida, S. Murata, T. Yanagitani and M. Matsukawa

Acoustics 08 Parisp.4605 - 46092008年04月-

詳細

掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)

Propagation characteristics of SH-SAW in (11 0) ZnO layer/silica glass substrate structures

A. Tanaka, T. Yanagitani, M. Matsukawa, Y. Watanabe

Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2007p.280 - 2832007年04月-

詳細

掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)

Thin film stack transducer for simultaneous generation of longitudinal and shear waves at same frequency

T. Yanagitani, T. Matsuo, M. Matsukawa, Y. Watanabe

Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2007p.1874 - 18772007年04月-

詳細

掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)

Ion beam sputter-deposited ZnO thin film for broadband shear wave excitation in the GHz range

T. Yanagitani, M. Kiuchi

Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2007p.1413 - 14162007年04月-

詳細

掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)

Highly oriented c-axis 23° tilted ZnO films with high quasi-shear mode electromechanical coupling coefficients

T. Matsuo, T. Yanagitani, M. Matsukawa, Y. Watanabe

Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2007p.1229 - 12322007年04月-

詳細

掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)

Study on formation mechanism of (11-20) textured ZnO films

K. Kawamoto, M. Matsukawa, Y. Watanabe, and T. Yanagitani

Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2006p.1529 - 15322006年04月-

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掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)

Electromechanical coupling coefficient k15 and crystallites alignment of (11-20) textured ZnO film

T. Yanagitani, M. Kiuchi, M. Matsukawa, and Y. Watanabe

Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2006p.1463 - 14662006年04月-

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掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)

Temperature characteristics of pure shear mode FBARs consisting of (11-20) textured ZnO films

T. Yanagitani, M. Kiuchi, M. Matsukawa, and Y. Watanabe

Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2006p.1459 - 14622006年04月-

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掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)

Elastic anisotropy and crystallites orientation in bovine cortical bone

Y. Yamato, H. Mizukawa, T. Yanagitani, M. Matsukawa, K. Yamazaki, and A. Nagano

Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2006p.2120 - 21232006年04月-

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掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)

Electromechanical coupling coefficient k15 of (11-20) textured ZnO films

T. Yanagitani, N. Mishima, M. Matsukawa, and Y. Watanabe

Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2005p.1824 - 18272005年04月-

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掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)

Higher-order shear mode FBAR using polarization-inverted layers of (11-20) textured ZnO films

Y. Miyamoto, T. Yanagitani, M. Matsukawa, and Y. Watanabe

Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2005p.1828 - 18312005年04月-

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掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)

Shear wave transducer using (11-20) textured ZnO film

T. Yanagitani, T. Nohara, M. Matsukawa, Y. Watanabe, and T. Otani

Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2004.,p.906 - 9092004年04月-

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掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)

Nondestructive evaluation of thin ZnO shear transducer by Brillouin scattering

K. Shintani, T. Yanagitani, M. Matsukawa, and T. Otani

Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2004p.1864 - 18672004年04月-

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掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)

c軸平行配向AlN薄膜を用いた極性反転すべり共振子

鈴木雅視、柳谷隆彦

超音波テクノ(日本工業出版)24p.78 - 822012年-

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掲載種別:研究論文(学術雑誌)

超高周波、高Q値、高圧電性、高キュリー温度の両立に向けて

柳谷隆彦

超音波テクノ(日本工業出版)23p.40 - 442011年-

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掲載種別:研究論文(学術雑誌)

RFバイアススパッタ法による簡便なc軸平行配向ZnO膜の形成--RFバイアスを用いたイオン照射による結晶配向制御

高柳 真司、松川真美、渡辺好章、柳谷隆彦

超音波テクノ(日本工業出版)23p.59 - 622011年-

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掲載種別:研究論文(学術雑誌)

c軸傾斜反転配向ZnO多層膜の作製

守里直希、高柳真司、柳谷隆彦、松川真美、渡辺好章

超音波テクノ(日本工業出版)22p.60 - 652010年-

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掲載種別:研究論文(学術雑誌)

(11-20)配向AlN薄膜を用いた純横波モード共振子

柳谷隆彦、木内正人、松川真美

超音波テクノ(日本工業出版)22p.46 - 492010年01月-

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掲載種別:研究論文(学術雑誌)

Brillouin散乱法による圧電半導体の面内方向抵抗率評価に関する検討

柳谷隆彦、吉田泰祐、佐野 広幸、松川真美

超音波テクノ(日本工業出版)21p.35 - 382009年09月-

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掲載種別:研究論文(学術雑誌)

イオン照射によるZnO圧電膜の配向制御に関する検討

柳谷隆彦,木内正人

超音波テクノ(日本工業出版)20p.67 - 702008年01月-

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掲載種別:研究論文(学術雑誌)

c軸傾斜配向ZnO膜の開発~高い横波変換効率の実現~

松尾卓也,柳谷隆彦,松川真美,渡辺好章

超音波テクノ(日本工業出版)20p.75 - 782008年01月-

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掲載種別:研究論文(学術雑誌)

面内配向ZnO膜のSH型SAW伝搬特性

田中厚志,柳谷隆彦,松川真美,渡辺好章

超音波テクノ(日本工業出版)192007年11月-

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掲載種別:研究論文(学術雑誌)

ScAlN/ZnO極性反転圧電薄膜を用いた2次モード励振超音波トランスデューサ

森剛志、鈴木雅視、柳谷隆彦

電子情報通信学会技術研究報告1162016年04月-

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掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)

GHz帯で純横波超音波を高効率励振するc軸平行ZnO薄膜トランスデューサ

森剛志、鈴木雅視、柳谷隆彦

電子情報通信学会技術研究報告1162016年04月-

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掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)

走査型非線形誘電率顕微法による極性反転層状構造圧電膜の層厚の定量測定

寺田浩士朗、西川宏明、田中陽平、小田川裕之、柳谷隆彦、長康雄

電子情報通信学会技術研究報告1152015年-

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掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)

ScAlN圧電薄膜から励起されたコヒーレントフォノンのBrillouin散乱

趙恩慧、川部昌彦、高柳真司、鈴木雅視、柳谷隆彦、松川真美

電子情報通信学会技術研究報告1152015年-

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掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)

共振法およびBrillouin散乱法で測定したScAlN薄膜の弾性定数テンソルのSc濃度依存性

柳谷隆彦、市橋隼人、鈴木雅視、高柳真司、松川真美

電子情報通信学会技術研究報告1152015年-

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掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)

イオンビームアシストRFマグネトロンスパッタ法を用いて作製したc軸平行配向ScAlN薄膜の電気機械結合係数

岡峰生、高柳真司、柳谷隆彦、松川真美

電子情報通信学会技術研究報告1152015年10月-

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掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)

c軸平行配向ZnO膜/円管石英構造におけるSH波の多重周回伝搬特性と導電率測定への応用

日山彰子、柳谷隆彦、高柳真司、松川真美

電子情報通信学会技術研究報告1152015年10月-

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掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)

低圧RFマグネトロンスパッタ法によるc軸平行配向ZnO膜の形成とSAW、Lamb波デバイスへの応用

高柳真司、柳谷隆彦、Jean-Claude Gerbedoen,Abdelkrim Talbi,松川真美,Philippe Pernod

電子情報通信学会技術研究報告1152015年10月-

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掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)

Brillouin光散乱を用いたc軸配向薄膜の音速および常屈折率の同時測定

富田昇太、柳谷隆彦、鈴木雅視、高柳真司、松川真美

電子情報通信学会技術研究報告1152015年10月-

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掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)

PbTiO3エピタキシャル薄膜を用いた二次モード分極反転共振子

片田克吉、柳谷隆彦、鈴木雅視、和佐清孝

電子情報通信学会技術研究報告1142015年-

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掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)

超音波により励起される骨中電位の極性について

常田裕子、松川沙弥果、眞野功、水野勝紀、柳谷隆彦、高柳真司、松川真美

電子情報通信学会技術研究報告1142014年-

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掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)

RFマグネトロンスパッタ法における基板へのイオン照射を用いた極性反転ZnO薄膜の作製

生駒遼、柳谷隆彦、高柳真司、鈴木雅視、小田川裕之、松川真美

電子情報通信学会技術研究報告1122014年-

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掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)

c軸平行配向ZnO膜/非晶質基板上を伝搬するSH-SAWの電気機械結合係数

中東佑太、柳谷隆彦,松川真美,渡辺好章

電子情報通信学会技術研究報告1112012年-

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掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)

IBAD法を用いたc軸平行配向AlN薄膜の作製および極性反転すべり共振子への応用

鈴木雅視,菅沼信広,柳谷隆彦

電子情報通信学会技術研究報告1112011年-

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掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)

ZnO圧電薄膜によるGHz域の励起フォノンを利用した高速Brillouin散乱測定

杉本剛士、佐野広幸、柳谷隆彦、高柳真司

電子情報通信学会技術研究報告1112011年-

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掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)

RFバイアススパッタ法によるc軸平行配向ZnO薄膜の形成 ~ バイアス周波数が配向性に及ぼす影響~

高柳真司、柳谷隆彦、松川真美、渡辺好章

電子情報通信学会技術研究報告1102011年-

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掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)

Brillouin散乱法による同軸共振器と圧電薄膜を用いた励起フォノンの観測

佐野広幸、柳谷隆彦、高柳真司、松川真美

電子情報通信学会技術研究報告1102010年-

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掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)

ウシ左右大腿骨皮質骨中の特徴的な3次元音速異方性 ~ 最大音速方向の骨軸からのずれについて ~

中辻知宏、山本和史、高柳真司、柳谷隆彦、松川真美、山崎薫

電子情報通信学会技術研究報告1102010年-

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掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)

c軸傾斜配向ScAlN膜の擬似すべりモードにおける巨大圧電性

柳谷隆彦、荒川和樹、鈴木雅視、加納一彦、勅使河原明彦、秋山守人

電子情報通信学会技術研究報告1102010年-

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掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)

直線状エロージョンマグネトロンスパッタリングによる(11-20)配向ZnO圧電膜の大面積成膜

川本貴之,柳谷隆彦,松川真美,渡辺好章,森嘉一,佐々木昌,大場正利

電子情報通信学会技術研究報告1092010年-

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掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)

Brillouin散乱法による圧電半導体の面内方向電気特性評価に関する検討

柳谷隆彦,佐野広幸,松川真美

電子情報通信学会技術研究報告1092009年-

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掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)

c軸傾斜反転配向ZnO多層膜の作製と横波共振子への応用

守里直希,高柳真司,柳谷隆彦,松川真美,渡辺好章

電子情報通信学会技術研究報告1092009年-

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掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)

ウシ大腿骨皮質骨中の超音波縦波音速 ~ ハイドロキシアパタイト結晶配向と微細構造の影響 ~

中辻知宏,矢追佑一郎,松川真美,山本和史,山崎薫,柳谷隆彦

電子情報通信学会技術研究報告1092009年-

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掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)

(11-20)ZnO膜/石英基板構造のSH型SAW伝搬特性

田中厚志,柳谷隆彦,松川真美,渡辺好章

電子情報通信学会技術研究報告1072009年-

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掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)

牛皮質骨の微細構造とHAp結晶配向が長軸方向縦波音速に与える影響

矢追佑一郎,水川裕文,松川真美,柳谷隆彦,山本和史,大和雄,山崎薫,長野昭

電子情報通信学会技術研究報告1072007年-

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掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)

ブリユアン散乱法によるGHz域の増幅横波フォノンの観測

村田茂雄,川本貴之,松川真美,柳谷隆彦

電子情報通信学会技術研究報告1062007年-

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掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)

c軸傾斜配向ZnO膜の作製および厚みすべりモード電気機械結合係数

松尾卓也,田中厚志,松川真美,渡辺好章,柳谷隆彦

電子情報通信学会技術研究報告1062006年-

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掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)

牛皮質骨の構造と縦波伝搬速度の異方性について

松川真美,水川裕文,柳谷隆彦,大和雄,山崎薫,長野昭

電子情報通信学会技術研究報告1052006年-

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掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)

面内配向ZnO膜の圧電性評価と共振器への応用

三島夏樹,柳谷隆彦,松川真美,渡辺好章

電子情報通信学会技術研究報告1052005年-

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掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)

RFマグネトロンスパッタ法により作成した面内配向ZnO圧電薄膜の特性

野原拓也,柳谷隆彦,松川真美,渡辺好章,大谷隆彦

電子情報通信学会技術研究報告1042004年-

詳細

掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)

横波励振を目的とした面内配向ZnO薄膜の開発

柳谷隆彦,野原拓也,松川真美,渡辺好章,大谷隆彦

電子情報通信学会技術研究報告1032003年-

1P5-4 皮質骨中における超音波誘発電位に関する検討

松川 沙弥果;森 駿貴;フォタネル エロディー;眞野 功;水野 勝紀;柳谷 隆彦;高柳 真司;松川 真美

超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集36p."1P5 - 4-1"-"1P5-4-2"2015年11月-2015年11月 

CiNii

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ISSN:13488236

2P1-7 H_2O導入スパッタ法を用いて作製したc軸平行配向ZnO膜のすべりモード電気機械結合係数

高田 千裕;高柳 真司;柳谷 隆彦;松川 真美

超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集36p."2P1 - 7-1"-"2P1-7-2"2015年11月-2015年11月 

CiNii

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ISSN:13488236

3J2-2 Al極性ScAlN/O極性ZnO極性反転多層構造を用いたGHz帯高効率トランスデューサ

森 剛志;鈴木 雅視;柳谷 隆彦

超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集36p."3J2 - 2-1"-"3J2-2-2"2015年11月-2015年11月 

CiNii

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ISSN:13488236

3J3-2 IBAD法によるc軸平行配向ScAlN薄膜の形成とすべりモード共振子への応用

岡 峰生;高柳 真司;柳谷 隆彦;松川 真美

超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集36p."3J3 - 2-1"-"3J3-2-2"2015年11月-2015年11月 

CiNii

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ISSN:13488236

3P3-2 c軸傾斜Sc_xAl_<1-x>N薄膜(0

鈴木 雅視;柳谷 隆彦

超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集36p."3P3 - 2-1"-"3P3-2-2"2015年11月-2015年11月 

CiNii

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ISSN:13488236

Fast wave velocity measurement by Brillouin scattering using coherent induced phonon from ScAlN piezoelectric thin film

Kawabe, Masahiko; Ichihashi, Hayato; Takayanagi, Shinji; Matsukawa, Mami; Yanagitani, Takahiko; Suzuki, Masashi

2015 IEEE International Ultrasonics Symposium, IUS 20152015年11月-2015年11月 

DOIScopus

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概要:© 2015 IEEE.Brillouin scattering is a nondestructive and noncontact technique to measure local longitudinal and shear acoustic velocities in the GHz range. However, the measurements of weak scattering from thermal phonons result in the lower measurement accuracy and longer measurement time. To overcome this problem, a technique with artificially induced acoustic phonons was developed using a ScAlN film. We observed Brillouin scattering by induced longitudinal coherent phonons from ScAlN film deposited on the side surface of a silica bulk specimen. The intensity of induced acoustic phonons was experimentally studied.

Shear mode properties of c-axis parallel oriented ScxAl1-xN films grown by RF bias sputtering

Takayanagi, Shinji; Matsukawa, Mami; Yanagitani, Takahiko

2015 IEEE International Ultrasonics Symposium, IUS 20152015年11月-2015年11月 

DOIScopus

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概要:© 2015 IEEE.Because the increase of piezoelectricity was found in Sc heavily doped AlN films, they have been well studied. Many researchers investigate the properties of the longitudinal mode bulk acoustic wave with c-axis normally oriented ScAlN films. However, there are few reports on the shear mode properties because of difficulties in growth of c-axis parallel oriented ScAlN films which can excite shear mode bulk acoustic wave. In this study, we demonstrated the film growth of c-axis parallel oriented ScAlN using RF substrate bias RF magnetron sputtering method. As a result of X-ray diffraction analyses, we obtained c-axis parallel oriented AlN, Sc0.05Al0.95N and Sc0.13Al0.87N films. Then, High overtone bulk acoustic wave resonators were fabricated with these films. They excited shear mode bulk acoustic wave, but shear mode conversion losses were large (more than 20 dB). It is necessary to obtain highly-crystallized ScAlN films.

Acoustic-Wave Velocities and Refractive Indices in an m-Plane GaN Single-Crystal Plate and c-Axis-Oriented ScAlN Films Measured by Brillouin Scattering Techniques

Ichihashi, Hayato; Yanagitani, Takahiko; Suzuki, Masashi; Takayanagi, Shinji; Kawabe, Masahiko; Tomita, Shota; Matsukawa, Mami

IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control63(5)p.117 - 1252016年05月-2016年05月 

DOIScopus

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ISSN:08853010

概要:© 2016 IEEE.We have experimentally investigated wave velocities and refractive indices in bulk and film samples [a GaN single-crystal plate and c-axis-oriented ScxAl(1-x)N (x= 0.00-0.63) films] by Brillouin scattering (BRS). All of the piezoelectrically unstiffened elastic constants and the ordinary refractive index of the GaN single-crystal plate were determined from the reflection-induced θA(RIθA) scattering geometry and the combination of 90R and 180° scattering geometries. The uncertainties of the measured wave velocities were approximately 0.17% (RIθA) and 2.5% (combination technique). In addition, the longitudinal-wave velocities of ScxAl(1-x)N films propagating in the normal direction were obtained by the combination technique. The maximum uncertainty was approximately 3.3%. The shear-wave velocities and refractive indices of ScxAl(1-x)N films were also investigated by the 90R scattering geometry using velocities measured by high-overtone bulk acoustic resonators. The softening trends of the elasticity were obtained from the measured longitudinal- and shear-wave velocities, although there were large uncertainties in the Brillouin measurement system owing to thermal instability.

Method for measuring polarity-inverted layered structure in dielectric thin films using scanning nonlinear dielectric microscopy

Odagawa, Hiroyuki; Terada, Koshiro; Nishikawa, Hiroaki; Yanagitani, Takahiko; Cho, Yasuo

Ferroelectrics498(1)p.47 - 512016年08月-2016年08月 

DOIScopus

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ISSN:00150193

概要:© 2016, © Taylor & Francis Group, LLC.A method for obtaining a depth profile of polarity inverted structure in a layered ferroelectric and/or piezoelectric thin film is proposed. It is performed by surface measurement non-destructively using scanning nonlinear dielectric microscopy. We describe estimation principle for the depth profile with some calculation results of measurement signal, which is related to tip radius of the measurement probe and depth of the inverted layer. Also, experimental results in zinc oxide films which have layered polarity-inverted structure fabricated by radio frequency magnetron sputtering and the estimation of the polarity state on the films are shown.

Effects of energetic negative ions generated from sputtering targets on ScAlN film growth

Takayanagi, Shinji; Matsukawa, Mami; Yanagitani, Takahiko

IEEE International Ultrasonics Symposium, IUS2016-November2016年11月-2016年11月 

DOIScopus

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ISSN:19485719

概要:© 2016 IEEE.ScAlN films is attractive for high-frequency piezoelectric devices. In previous study, we demonstrated Sc ingot sputtering in which Sc ingots were set on an Al metal target. Oxidization of Sc ingots was seriously problem because the c-axis orientation of ScAlN films was degraded. In this study, we investigated the energy distributions of O- negative ion which enter the substrate during the deposition. The amount of the O- ion flux decreased with duration, but it remained large. Therefore, the crystalline orientation and the longitudinal mode conversion loss of ScAlN film were inferior to those using a ScAl alloy target. The suppression of the O- generation is required.

Rapid and simultaneous measurement of longitudinal and shear wave velocities by Brillouin scattering from artificially induced phonons

Kawabe, Masahiko; Shibagaki, Yoshiaki; Matsukawa, Mami; Yanagitani, Takahiko; Suzuki, Masashi; Takayanagi, Shinji

IEEE International Ultrasonics Symposium, IUS2016-November2016年11月-2016年11月 

DOIScopus

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ISSN:19485719

概要:© 2016 IEEE.For more accurate and rapid measurements of Brillouin light scattering, a technique with artificially induced acoustic phonons was proposed using a ScAlN film. The ScAlN film has a giant electromechanical coupling coefficient and can radiate coherent phonons in the sub GHz and GHz range. Making use of the induced phonons, we observed Brillouin scattering in the silica bulk sample. For efficient radiation of phonons, the ScAlN film was deposited on the side surface of the sample and reflection induced Θ angle geometry was used for Brillouin scattering measurements. The high intensity of Brillouin scattering from the induced acoustic phonons was experimentally studied.

Effect of anisotropy on stress-induced electrical potentials in bovine bone using ultrasound irradiation

Matsukawa, S.; Makino, T.; Mori, S.; Koyama, D.; Takayanagi, S.; Mizuno, K.; Yanagitani, T.; Matsukawa, M.

Applied Physics Letters110(14)2017年04月-2017年04月 

DOIScopus

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ISSN:00036951

概要:© 2017 Author(s). The bone fracture healing mechanism of the low-intensity pulsed ultrasound technique is not yet clearly understood. In our previous study, the electrical potentials induced in bone were successfully measured by focusing on piezoelectricity in the MHz range. Bone is composed of collagen and hydroxyapatite and has strong anisotropy. The purpose of this study is to investigate the effects of bone anisotropy on the electrical potentials induced by ultrasound irradiation. For this study, ultrasound bone transducers were fabricated using cortical bovine bone plates as piezoelectric devices. An ultrasound of 7.4 kPa peak-peak (i.e., the peak-to-peak pressure value) was used to irradiate the side surface of each bone plate. Electrical potentials induced in the bone plate were then measured by varying the wave propagation direction in the plate. The peak-to-peak values of these ultrasonically induced electrical potentials were found to vary with changes in the ultrasound propagation direction in the bone sample. The potential was maximized at an inclination of approximately 45° to the bone axis but was minimized around the three orthogonal directions. These maxima and minima ranged from 28 to 33 μV peak-peak and from 5 to 12 μV peak-peak , respectively. Additionally, our ultrasound results indicated a change in polarity due to bone anisotropy in the MHz range.

Evaluation of the acoustoelectric effect in the thickness direction of c -plane ZnO single crystals by Brillouin scattering

Tomita, Shota; Yanagitani, Takahiko; Takayanagi, Shinji; Ichihashi, Hayato; Shibagaki, Yoshiaki; Hayashi, Hiromichi; Matsukawa, Mami

Journal of Applied Physics121(23)2017年06月-2017年06月 

DOIScopus

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ISSN:00218979

概要:© 2017 Author(s). Longitudinal wave velocity dispersion in ZnO single crystals, owing to the acoustoelectric effect, has been investigated by Brillouin scattering. The resistivity dependence of the longitudinal wave velocity in a c-plane ZnO single crystal was theoretically estimated and experimentally investigated. Velocity dispersion owing to the acoustoelectric effect was observed in the range 0.007-10 Ωm. The observed velocity dispersion shows a similar tendency to the theoretical estimation and gives the piezoelectric stiffened and unstiffened wave velocities. However, the measured dispersion curve shows a characteristic shift from the theoretical curve. One possible reason is the carrier mobility in the sample, which could be lower than the reported value. The measurement data gave the piezoelectric stiffened and unstiffened longitudinal wave velocities, from which the electromechanical coupling coefficient k 33 was determined. The value of k 33 is in good agreement with reported values. This method is promising for noncontact evaluation of electromechanical coupling. In particular, it could be for evaluation of the unknown piezoelectricity in the thickness direction of semiconductive materials and film resonators.

Thick ScAlN film for high efficient ultrasonic transducer in low frequency of 81 MHz

Sano, Ko Hei; Karasawa, Rei; Yanagitani, Takahiko; Yanagitani, Takahiko

TRANSDUCERS 2017 - 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystemsp.862 - 8652017年07月-2017年07月 

DOIScopus

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概要:© 2017 IEEE. Large piezoelectricity in 43% Sc doped ScAlN thin film has been recently reported. The thickness extensional mode resonant frequency, where ultrasonic generation efficiency become large, is inversely proportional to the thickness of films. Bulk ScAlN thick plates are attractive for the low frequency and high power ultrasonic applications such as actuators and medical ultrasonics because ScAlN possess lower mechanical and dielectric losses compared with well-used PZT. The thick ScAlN films, however, has not been reported. The electromechanical coupling coefficient k t 2 was determined to be 19% using the thickness extensional mode at 81 MHz. This frequency is extremely low compared to well-reported ScAlN thin films in the GHz ranges.

Broadband frequency viscositymeasurement using low TCF shear mode resonators consisting of C-axis tilted scaln thin film on thick at-cut quartz plate

Yamakawa, Y.; Sano, K.; Karasawa, R.; Yanagitani, T.; Yanagitani, T.

TRANSDUCERS 2017 - 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystemsp.2135 - 21382017年07月-2017年07月 

DOIScopus

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概要:© 2017 IEEE. In order to study relaxation characteristics of acoustic velocity and viscoelasticity of the liquid, a wide frequency sweep in the range of MHz to GHz is desired. Thickness shear acoustic mode (TSM) viscosity sensors such as QCM or FBAR can only operate at the MHz range or the GHz range, respectively. In this study, therefore, we report a new type HBAR (High-overtone Bulk Acoustic Resonator) sensor which makes it possible to operate in a wide frequency range. The HBAR consists of the c-axis tilted ScAlN film grown on a zero TCF AT-cut quartz crystal plate. Frequency shifts were measured for various concentration of glycerine solutions. As a result, the tendency of resonant frequency decreasing caused by liquid viscosity increasing is observed in both theoretical and experimental data.

Quantitative thickness measurement of polarity-inverted piezoelectric thin-film layer by scanning nonlinear dielectric microscopy

Odagawa, Hiroyuki; Terada, Koshiro; Tanaka, Yohei; Nishikawa, Hiroaki; Yanagitani, Takahiko; Cho, Yasuo

Japanese Journal of Applied Physics56(10)2017年10月-2017年10月 

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ISSN:00214922

概要:© 2017 The Japan Society of Applied Physics. A quantitative measurement method for a polarity-inverted layer in ferroelectric or piezoelectric thin film is proposed. It is performed nondestructively by scanning nonlinear dielectric microscopy (SNDM). In SNDM, linear and nonlinear dielectric constants are measured using a probe that converts the variation of capacitance related to these constants into the variation of electrical oscillation frequency. In this paper, we describe a principle for determining the layer thickness and some calculation results of the output signal, which are related to the radius of the probe tip and the thickness of the inverted layer. Moreover, we derive an equation that represents the relationship between the output signal and the oscillation frequency of the probe and explain how to determine the thickness from the measured frequency. Experimental results in Sc-doped AlN piezoelectric thin films that have a polarity-inverted layer with a thickness of 1.5 μm fabricated by radio frequency magnetron sputtering showed a fairly good value of 1.38 μm for the thickness of the polarity-inverted layer.

A new type wide-frequency-range shear viscosity sensor using c-axis tilted ScAlN thin film on temperature stable AT-cut quartz thick plate

Yamakawa, Yui; Sano, Kohei; Karasawa, Rei; Yanagitani, Takahiko; Yanagitani, Takahiko

IEEE International Ultrasonics Symposium, IUS2017年10月-2017年10月 

DOIScopus

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ISSN:19485719

概要:© 2017 IEEE. In order to study relaxation characteristics of viscoelasticity of the liquid, a wide frequency sweep in the range of MHz to GHz is desired. We, therefore, report a new type HBAR (High-overtone Bulk Acoustic Resonator: shear mode ScAlN film on AT-cut quartz plate) sensor which makes it possible to operate in a wide frequency range as shown in Fig. 1. When a thickness shear acoustic mode (TSM) resonator is in contact with a liquid sample, the shear wave penetrates into the liquid by the depth of δ (called penetration depth [1] ). Thus, the liquid viscosity can be determined from the amount of the resonant frequency shift due to a δ thick mass loading layer mounted on the resonator. We choose AT-cut quartz as the substrate whose TCF is zero at room temperature to suppress frequency shifts due to the temperature change. TCF of the whole resonator stack greatly decreases considering the mass ratio between the thin piezoelectric film and the much thicker substrate. In this study, frequency shifts were measured for various concentration of glycerine solutions in order to demonstrate usefulness of the HBAR. [1] T. Nakamoto and T. Moriizumi, Jpn. J. Appl. Phys., 29 963 (1990).

The frequency switchable multi-layered BST/BaTiO3epitaxial film resonator

Shimidzu, Takahiro; Yanagitani, Takahiko; Yanagitani, Takahiko; Wasa, Kiyotaka

IEEE International Ultrasonics Symposium, IUS2017年10月-2017年10月 

DOIScopus

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ISSN:19485719

概要:© 2017 IEEE. The frequency switchable filters are suitable for selecting the vacant frequency bands. Usual polarity unidirectional single-layered resonators excite 1 st mode whereas polarity inverted two-layered resonators excite 2 nd mode. We previous reported the frequency switchable two-layered PZT/PbTiO 3 epitaxial film resonators[1]. However, PbTiO 3 films grown on PZT/PbTiO 3 films are difficult to obtain since Curie temperature and deposition temperature in PbTiO 3 are higher than those of PZT. (Ba x , Sr 1-x )TiO 3 (BST) films exhibit electrostrictive effect in paraelectric phase. In ferroelectric BaTiO 3 , on the other hand, polarity inversion is impossible to be obtained without the application of higher than coercive electric field to films. Therefore, in this study, we considered that polarity inverted structure is easily obtained by application of less than coercive electric field of BaTiO 3 to two-layered BaTiO 3 /BST epitaxial films. [1] T. Mori, et al., Proc. IUS 2016.

High electromechanical coefficient kt2=19% thick ScAlN piezoelectric films for ultrasonic transducer in low frequency of 80 MHz

Sano, Ko Hei; Karasawa, Rei; Yanagitani, Takahiko; Yanagitani, Takahiko; Yanagitani, Takahiko

IEEE International Ultrasonics Symposium, IUS2017年10月-2017年10月 

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ISSN:19485719

概要:© 2017 IEEE. Ultrasonic transducers in the frequency ranges of 20-100 MHz is not well-developed because of less applications or less suitable piezoelectric materials. PVDF are usually used for ultrasonic transducers in the 10-50 MHz ranges. However, their electromechanical coupling coefficient k t 2 of 4% is not enough for the practical uses. In order to excite ultrasonic in the 20-100 MHz, 125 μm-25 μm thick piezoelectric film is required. It is difficult to grow such a thick piezoelectric film without a crack caused by the internal stress during the PVD deposition technique. We achieved stress free film growth by employing the unique hot cathode sputtering technique without heating substrate. We demonstrated high efficient 81 MHz (k t 2 =18.5%) and 43 MHz (k t 2 =11.9%) ultrasonic generation by using the 43 μm and 90 μm extremely thick ScAlN(Sc:39%) films, respectively.

Effects of negative oxygen ions generated during Sc ingot sputtering on electromechanical coupling of ScAlN film

Takayanagi, Sliinji; Yanagitani, Takahiko

IEEE International Ultrasonics Symposium, IUS2017年10月-2017年10月 

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ISSN:19485719

概要:© 2017 IEEE. ScAlN films are well-researched for GHz acoustic wave devices. Large-area growth techniques of ScAlN films are necessary for the practical application. A single sputtering source with a ScAl alloy metal target is suitable for the film growth from the point of view of the composition stability. However, it is difficult to alloy Al with Sc in the large-size target. Therefore, a mosaic target of Sc and Al metals is reasonable for the large-area growth. In previous study, we demonstrated Sc ingot sputtering deposition [1] in which Sc ingots were set on an Al metal target as similar conditions with the mosaic target. Oxidization of Sc ingots was seriously problem in this method because the c-axis orientation of ScAlN films was degraded by bombardment with O-negative ions generated from the target. In this study, we investigated the effects of the negative ion bombardment on the crystalline orientations and piezoelectric properties.

Film growth of c-axis parallel oriented ZnO on entire surface of silica glass pipe for SH-SAW pipe sensor

Takamura, Yuta; Takayanagi, Shinji; Matsukawa, Mami; Ishida, Chizu; Yanagitani, Takahiko

IEEE International Ultrasonics Symposium, IUS2017年10月-2017年10月 

DOIScopus

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ISSN:19485719

概要:© 2017 IEEE. SH-SAW is suitable for liquid sensors to measure conductivity and viscosity because it can propagate without the energy leakage into liquid. We have fabricated a SH-SAW sensor consisting of a c-axis parallel (11-20) oriented ZnO film on a silica glass plate [1]. On the other hand, the long-distance propagation is necessary in order to detect the small changes of the velocity and amplitude. One way to increase propagation distance is wave multiple roundtrips around the sensor. In previous study, the c-axis parallel oriented ZnO film was grown on a part of the glass pipe surface and the SH-BAW roundtrips were demonstrated [2] . However, the SH-SAW roundtrips were not observed because the ZnO film was not grown on the entire surface of the pipe. In this study, we demonstrated the entirepipe-surface deposition of c-axis parallel oriented ZnO film to obtain SH-SAW pipe sensor.

The frequency switchable multi-layered BST/BaTiO3epitaxial film resonator

Shimidzu, Takahiro; Yanagitani, Takahiko; Wasa, Kiyotaka

IEEE International Ultrasonics Symposium, IUS2017年10月-2017年10月 

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ISSN:19485719

概要:© 2017 IEEE. Film bulk acoustic wave resonator (FBAR) filters are promising for the mobile communication devices. Frequency switchable filters are suitable for selecting the vacant frequency bands. Usual polarity unidirectional single layer resonator excites fundamental mode whereas polarity inverted double layer resonator excites second mode. In this study, we considered that polarity inverted structure is easily obtained by applying DC field, which is less than coercive field of BaTiO 3 , to two-layered BST/BaTiO 3 epitaxial films. During the application of -36 V, the two-layered resonator excites fundamental mode. On the other hand, during the application of +36 V, the resonator excites second mode. These results show frequency band switching by DC field.

Film growth of c-axis tilted ScAlN on the sapphire substrate for SAW devices

Tokuda, Shohei; Takayanagi, Shinji; Matsukawa, Mami; Yanagitani, Takahiko

IEEE International Ultrasonics Symposium, IUS2017年10月-2017年10月 

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ISSN:19485719

概要:© 2017 IEEE. Recently, it was shown that heavily doped AlN film possess the high piezoelectricity by Akiyama et al [1]. On the other hand, SAW devices were widely used as filters and sensors. Among them, SAW in ScAlN film is attracting a lot of attention because this SAW devices have high electromechanical coupling coefficient K2. We analyzed the K2 value in Sc 0.4 Al 0.6 N was increased by c-axis tilted angle θ becoming bigger [2]. In this study, changing the angle of c-axis tilted ScAlN films, we have tried to improve the K2 value of SAWs in c-axis tilted ScAlN/R-sapphire.

C-Axis zig-zag polarization inverted ScAlN multilayer for FBAR transformer rectifying antenna

Karasawa, Rei; Yanagitani, Takahiko; Yanagitani, Takahiko; Yanagitani, Takahiko

IEEE International Ultrasonics Symposium, IUS2017年10月-2017年10月 

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ISSN:19485719

概要:© 2017 IEEE. Enegy harvesting from surrounding electromagnetic wave have attracted much attention in recent years. Low RF-DC conversion efficiency in the rectenna due to a weak power of electromagnetic wave is a problem. We here report the new type of polarization inverted FBAR transformer for RF amplification in the rectenna. c-Axis zig-zag polarization inverted 12 layer ScAlN was fabricated by glancing sputtering deposition. The 12 layer ScAlN HBAR clearly excites 12th-order shear mode of 1.4 dB at 612 MHz. c-Axis tilt angle of the layers was determined to be 40-45 degrees by an XRD pole figure. This new type of device is promising for high efficiency RF-DC conversion in the rectenna.

C-Axiszig-zag polarization inverted ScAlN multilayer for FBAR transformer rectifying antenna

Karasawa, Rei; Yanagitani, Takahiko; Yanagitani, Takahiko

IEEE International Ultrasonics Symposium, IUS2017年10月-2017年10月 

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ISSN:19485719

概要:© 2017 IEEE. Energy harvesting from surrounding electromagnetic wave can satisfy the increasing demand of trillions of wireless sensors for IoT. RF energy harvesting is generally achieved by RF-DC conversion using a rectifying antenna (called rectenna). For weak RF signal, however, RF-DC conversion efficiency significantly decreases because weak RF signal cannot activate the diode in the rectenna. Therefore, in order to obtain high conversion efficiency for a weak signal, a Dickson charge pump[1] is generally used to increase the RF voltage. However, their low efficiency, poor impedance matching, and large size are the problem. In this study, to overcome this problem, we introduce the RF energy harvester consisting of a new type of polarization inverted FBAR transformer and rectenna. As shown in Fig.1 (a), RF input signal can be increased 7 times when 8 polarization inversion layered FBAR transformer is used. We previously reported various polarization inverted structure such as (0001)/(000-1) ScAlN films [2] and (-1-120)/(11-20) AlN films [3]. We here reports the eight layer of c-axis zig-zag polarization inverted ScAlN stack transformer resonator. [1] A. Parks, et al. Proc. IEEE WiSNET, (2013). [2] M. Suzuki, T. Yanagitani, and H. Odagawa, Appl. Phys. Lett. (2014) [3] M. Suzuki, T. Yanagitani, IUS 2011, 4C-2 (2011).

High electromechanical coefficient kt2=19% thick ScAlN piezoelectric films for ultrasonic transducer in low frequency of 80 MHz

Sano, Ko Hei; Karasawa, Rei; Yanagitani, Takahiko; Yanagitani, Takahiko

IEEE International Ultrasonics Symposium, IUS2017年10月-2017年10月 

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ISSN:19485719

概要:© 2017 IEEE. Ultrasonic in the frequency ranges of 20-100 MHz is not well-developed because of less applications or less suitable piezoelectric materials as shown in Table I. In a photoacoustic imaging, PVDF are usually used for ultrasonic transducers in the 10-50 MHz band. However, their electromechanical coupling coefficient k t 2 of 4% is not enough for the practical uses. To excite ultrasonic in the 20-100 MHz, 125 μm-25 μm thick piezoelectric film is required. It is difficult to fabricate such a thick piezoelectric film without a crack caused by the internal stress during the deposition. A film deposition technique can realize the piezoelectric layer on a complicated surface such as curved or concave surface, which is difficult in the case of the single crystal plate. In this study, we demonstrated high efficient 81 MHz ultrasonic generation by using 43 μm extremely thick ScAlN films.

Film growth of c-axis tilted ScAlN on the sapphire substrate for SAW devices

Tokuda, Shohei; Takayanagi, Shinji; Matsukawa, Mami; Yanagitani, Takahiko

IEEE International Ultrasonics Symposium, IUS2017年10月-2017年10月 

DOIScopus

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ISSN:19485719

概要:© 2017 IEEE. ScAlN films are attractive for SAW devices with high electromechanical coupling coefficient K 2 . In previous study, we analyzed K 2 in c-axis-tilted Sc 0.4 Al 0.6 N film / diamond substrate. The K 2 of c-axis-tilted film was increased, compared with that of the c-axis-normally-oriented film. However, it is difficult to perform experiments because diamond substrate are very expensive. In this study, K 2 of SAWs in c-axis tilted ScAlN film / R-sapphire substrate were theoretically analyzed. The K 2 in Rayleigh mode SAW were found to be 3.9% at Ψ = 90° and 3.7% at Ψ = 54°. Next, c-axis tilted ScAlN films were grown on sapphire substrate. c-Axis-33°-tilted ScAlN film was obtained on the R-plane sapphire. Then, IDT/ c-axis-33°-tilted ScAlN / R-sapphire structure was fabricated. The insertion loss of the structure was 34.4 dB. High K 2 was expected to improve the crystalline orientation of the ScAlN films.

A new type wide-frequency-range shear viscosity sensor using c-axis tilted ScAlN thin film on temperature stable AT-cut quartz thick plate

Yamakawa, Yui; Sano, Ko Hei; Karasawa, Rei; Yanagitani, Takahiko

IEEE International Ultrasonics Symposium, IUS2017年10月-2017年10月 

DOIScopus

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ISSN:19485719

概要:© 2017 IEEE. In order to study relaxation characteristics of viscoelasticity of the liquid, a wide frequency sweep in the range of MHz to GHz is desired. We, therefore, report a new type HBAR (High overtone Bulk Acoustic Resonator) sensor which makes it possible to operate in a wide frequency range. We choose AT-cut quartz as the substrate whose TCF is zero at room temperature to suppress frequency shifts due to the temperature change. TCF of the HBAR in air is measured to be -3.2 ppm/°C, which demonstrates the great improvement of TCF compared with single ScAlN films (-62 ppm/°C) due to the zero TCF AT-cut quartz substrate. In this study, frequency shifts and frequency peak attenuations were measured for various concentration of glycerin solutions to demonstrate usefulness of the HBAR viscosity measurement.

書籍等出版物

Acoustic wave-From Microdevices to Helioseismology (Chapter: Shear mode piezoelectric thin film resonators )

Takahiko Yanagitani

Intech2011年-

次世代医療・ヘルスケア機器のデバイス技術と最新開発事例集「横波モード圧電薄膜共振子を用いた抗原抗体反応MEMSセンサの開発」

柳谷隆彦 分担執筆

技術情報協会2014年 05月-

講演・口頭発表等

Fast wave velocity measurement by Brillouin scattering using induced phonon from ScAlN piezoelectric thin film

Masahiko Kawabe, Takahiko Yanagitani, Hayato Ichihashi, Shinji Takayanagi, Masashi Suzuki, Mami Matsukawa

2015 IEEE International Ultrasonics Symposium2015年10月21日

High order mode polarity inverted Al-polar (0001) ScAlN/O-polar (000-1) ZnO film resonator

Takeshi Mori, Takahiko Yanagitani, Masashi Suzuki

2015 IEEE International Ultrasonics Symposium2015年10月21日

Conductivity measurement of liquid by SH-SAW sensor consisting of IDT/(11-20) oriented ZnO film/silica glass substrate

Shoko Hiyama, Takahiko Yanagitani, Shinji Takayanagi, Mami Matsukawa

2015 IEEE International Ultrasonics Symposium2015年10月21日

Fast wave velocity measurement by Brillouin scattering using induced phonon from ScAlN piezoelectric thin film

Masahiko Kawabe, Takahiko Yanagitani, Hayato Ichihashi, Shinji Takayanagi, Masashi Suzuki, Mami Matsukawa

2015 IEEE International Ultrasonics Symposium2015年10月21日

c-Axis parallel oriented ScAlN films grown by ion-beam assisted RF magnetron sputtering

Mineki Oka, Shinji Takayanagi, Takahiko Yanagitani, Mami Matsukawa

2015 IEEE International Ultrasonics Symposium2015年10月21日

High order mode polarity inverted Al-polar (0001) ScAlN/Opolar (000-1) ZnO film resonator

Takeshi Mori, Takahiko Yanagitani, Masashi Suzuki

2015 IEEE International Ultrasonics Symposium2015年10月21日

Elastic constant cij E tensors of (0001) ScxAl1-xN films (x=0-0.63)

Takahiko Yanagitani, Hayato Ichihashi, Masashi Suzuki, Shinji Takayanagi, Mami Matsukawa

2015 IEEE International Ultrasonics Symposium2015年10月21日

Quasi-shear mode electromechanical coupling k'15 and shear wave velocity in c-axis tilted ScxAl1-xN films

Masashi Suzuki, and Takahiko Yanagitani

2015 IEEE International Ultrasonics Symposium2015年10月21日

Ultrasound radiation from bone transducer in the MHz range

Sayaka Matsukawa, Hiroko Tsuneda, Isao Mano, Katsunori Mizuno, Takahiko Yanagitani, Shinji Takayanagi, Mami Matsukawa

2015 IEEE International Ultrasonics Symposium2015年10月21日

c-axis parallel polarity inverted multilayer ZnO film resonators fabricated by grazing ion beam assisted RF magnetron sputtering

Takeshi Mori, Takahiko Yanagitani, Masashi Suzuki

2015 IEEE International Ultrasonics Symposium2015年10月21日

Shear mode properties of c-axis parallel oriented ScxAl1-xN films grown by RF bias sputtering

Shinji Takayanagi, Takahiko Yanagitani, Mami Matsukawa

2015 IEEE International Ultrasonics Symposium2015年10月21日

Measurement of acoustic wave velocity and refractive index in thickness direction of c-axis oriented ScAlN films by Brillouin scattering

Shota Tomita, Takahiko Yanagitani, Masashi Suzuki, Hayato Ichihashi, Shinji Takayanagi, Mami Matsukawa

2015 IEEE International Ultrasonics Symposium2015年10月21日

ScAlN thin film transducers for ultrasonic microscopy in the VHF range

Yusuke Korai, Masashi Suzuki, Takahiko Yanagitani

2015 IEEE International Ultrasonics Symposium2015年10月21日

High Tc /High Coupling Perovskite Thin Films

K. Wasa, T. Matsushima, H. Adachi, T. Matsunaga, T. Yanagitani, and T. Yamamoto

IEEE ISAF/IWATMD/PFM2015年10月

Multiple SH wave roundtrip type liquid sensor of pipe structure with c-axis parallel oriented ZnO film

S. Hiyama, T. Yanagitani, S. Takayanagi and M. Matsukawa

2015 International Congress of Ultrasonics2015年10月

走査型非線形誘電率顕微法による極性反転層状構造圧電膜の層厚の定量測定

寺田浩士朗、西川宏明、田中陽平、小田川裕之、柳谷隆彦、長康雄

電子情報通信学会 超音波研究会2015年09月

ScAlN圧電薄膜から励起されたコヒーレントフォノンのBrillouin散乱

趙恩慧、川部昌彦、高柳真司、鈴木雅視、柳谷隆彦、松川真美

電子情報通信学会 超音波研究会2015年09月

共振法およびBrillouin散乱法で測定したScAlN薄膜の弾性定数テンソルのSc濃度依存性

柳谷隆彦、市橋隼人、鈴木雅視、高柳真司、松川真美

電子情報通信学会 超音波研究会2015年09月

イオンビームアシストRFマグネトロンスパッタ法を用いて作製したc軸平行配向ScAlN薄膜の電気機械結合係数

岡峰生、高柳真司、柳谷隆彦、松川真美

電子情報通信学会 超音波研究会2015年09月

c軸平行配向ZnO膜/円管石英構造におけるSH波の多重周回伝搬特性と導電率測定への応用

日山彰子、柳谷隆彦、高柳真司、松川真美

電子情報通信学会 超音波研究会2015年09月

低圧RFマグネトロンスパッタ法によるc軸平行配向ZnO膜の形成とSAW、Lamb波デバイスへの応用

高柳真司、柳谷隆彦、Jean-Claude Gerbedoen,Abdelkrim Talbi,松川真美,Philippe Pernod

電子情報通信学会 超音波研究会2015年09月

Brillouin光散乱を用いたc軸配向薄膜の音速および常屈折率の同時測定

富田昇太、柳谷隆彦、鈴木雅視、高柳真司、松川真美

電子情報通信学会 超音波研究会2015年06月

皮質骨中における超音波誘発電位に関する検討

松川 沙弥果、森 駿貴、フォタネル エロディー、眞野 功、水野 勝紀、柳谷 隆彦、高柳 真司、松川 真美

第 36 回 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム2015年11月

H2O 導入スパッタ法を用いて作製した c 軸平行配向 ZnO 膜のすべりモード電気機械結合係数

高田 千裕、高柳 真司、柳谷 隆彦、松川 真美

第 36 回 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム2015年11月

走査型非線形誘電率顕微法による層状極性反転圧電膜の層厚の定量測定

寺田 浩士朗 西川 宏明、田中 陽、小田川 裕之、柳谷 隆彦、長 康雄

第 36 回 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム2015年11月

Al 極性 ScAlN/O 極性 ZnO 極性反転多層構造を用いた GHz 帯高効率トランスデューサ

森 剛志、鈴木 雅視、柳谷 隆彦

第 36 回 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム2015年11月

IBAD 法による c 軸平行配向 ScAlN 薄膜の形成とすべりモード共振子への応用

岡 峰生、高柳 真司、柳谷 隆彦、松川 真美

第 36 回 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム2015年11月

スパッタターゲットから発生するイオン種がScAlN薄膜の結晶性に及ぼす影響

高柳真司,松川真美,柳谷隆彦

圧電材料・デバイスシンポジウム20162016年02月

通常のスパッタ法を用いたAl極性ScAlN/O極性ZnO極性反転構造トランスデューサ

森剛志,鈴木雅視,柳谷隆彦

圧電材料・デバイスシンポジウム20162016年02月

イオンビーム照射を用いたc軸平行極性反転構造ZnO薄膜共振子

森剛志,鈴木雅視,柳谷隆彦

圧電材料・デバイスシンポジウム20162016年02月

RFマグネトロンスパッタにおけるc軸平行配向ZnO膜の高品質化の検討

高田千裕,高柳真司,松川真美,柳谷隆彦

圧電材料・デバイスシンポジウム20162016年02月

c軸平行配向ScAlN膜/高音速基板構造を用いたセザワ波の高い電気機械結合係数

高柳真司,岡峰生,松川真美,柳谷隆彦

圧電材料・デバイスシンポジウム20162016年02月

Brillouin散乱法を用いたc面ZnO単結晶の音響電気効果による緩和測定

富田昇太,高柳真司,松川真美,柳谷隆彦

圧電材料・デバイスシンポジウム20162016年02月

c軸平行配向ZnO膜によるSH-SAWを用いた液体の粘度・導電率測定

日山彰子,高柳真司,松川真美,柳谷隆彦

圧電材料・デバイスシンポジウム20162016年02月

MHz 域における皮質骨の逆圧電効果

松川 沙弥果,森 駿貴,眞野 功、水野 勝紀, 柳谷 隆彦,高柳 真司,松川 真美

日本音響学会2016年春季研究発表会2016年03月

Al極性(0001)ScAlN/O極性(000-1)ZnO極性反転構造の薄膜音響共振子

森 剛志、鈴木 雅視、柳谷 隆彦

第76回応用物理学会秋季学術講演会2015年09月

斜めスパッタ蒸着法によるc軸傾斜ScAlN薄膜の形成

鈴木 雅視、柳谷 隆彦

第76回応用物理学会秋季学術講演会2015年09月

イオンビーム照射によるc軸平行極性反転構造ZnO薄膜の形成

森 剛志、鈴木 雅視、柳谷 隆彦

第76回応用物理学会秋季学術講演会2015年09月

Brillouin散乱法を用いた圧電性ScAlN薄膜による励起フォノンの測定

川部 昌彦、柳谷 隆彦、市橋 隼人、高柳 真司、鈴木 雅視、松川 真美

第76回応用物理学会秋季学術講演会2015年09月

スパッタ成膜の高速負イオン照射を用いたc 軸平行配向ZnO 膜の形成と圧電デバイス応用

高柳真司,柳谷隆彦,Jean-Claude Gerbedoen、Abdelkrim Talbi,松川真美,Philippe Pernod

第44回EMシンポジウム2015年05月

c 軸傾斜ScAlN 薄膜における擬似すべりモード電気機械結合係数のSc 濃度依存性

鈴木雅視,柳谷隆彦

第44回EMシンポジウム2015年05月

ScAlN/ZnO極性反転圧電薄膜を用いた2次モード励振超音波トランスデューサ

森剛志、鈴木雅視、柳谷隆彦

電子情報通信学会 超音波研究会2016年04月

GHz帯で純横波超音波を高効率励振するc軸平行ZnO薄膜トランスデューサ

森剛志、鈴木雅視、柳谷隆彦

電子情報通信学会 超音波研究会2016年04月

PZTと PT の抗電界差を利用した周波数スイッチナブル分極反転エピタキシャ薄膜共振子

森剛志、柳谷隆彦、和佐清孝

第45回EMシンポジウム2016年06月

High Performance Piezoelectric Thin Films Beyond PZT

K.Wasa, H.Hanzawa, S.Yoshida, T.Yanagitani, and S.Tanaka

2015 International Symposium on Acoustic Wave Devices for Future Mobile Communication Systems招待有り2015年11月

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口頭発表(招待・特別)

希土類-III-IV族系巨大圧電性薄膜やPZT単結晶薄膜の相境界の実験的研究

柳谷隆彦

関西・中部誘電体セミナー招待有り2012年12月22日

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口頭発表(招待・特別)

イオン照射による六方晶系薄膜の配向制御と横波モード圧電デバイス

柳谷隆彦、木内正人

日本セラミック協会第21 回秋季シンポジウム招待有り2008年09月17日

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口頭発表(招待・特別)

圧電薄膜の配向制御技術と液中横波励振、~抗原抗体反応センサ、導電率センサへの応用~

柳谷隆彦

スマート・アクチュエータ/センサ委員会招待有り

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口頭発表(招待・特別)

平行配向ZnO圧電薄膜を用いた液中横波励振デバイス

柳谷隆彦、松川真美、渡辺好章

マイクロEMデバイス・システムとICの融合化技術調査専門委員会招待有り2013年11月29日

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口頭発表(招待・特別)

講演奨励賞受賞記念講演「極性反転構造のZnO及びScAlN圧電薄膜の形成と弾性波デバイス応用」

森剛志、鈴木雅視, 柳谷隆彦

第63回応用物理学会春季学術講演会招待有り2015年09月

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口頭発表(招待・特別)

「講演奨励賞受賞記念講演」イオンビーム照射成膜によるAlN薄膜の極性・配向制御および極性反転多層構造の形成

鈴木雅視,柳谷隆彦

第74回応用物理学会秋季学術講演会2013年09月19日

Multiple shear wave roundtrips liquid sensor by c-axis parallel oriented ZnO film/silica glass pipe structure

S. Hiyama, T. Yanagitani, S. Takayanagi, Y. Kato, M. Matsukawa

IEEE International Ultrasonics Symposium2014年09月03日

Second overtone mode polarization inverted resonator consisting of (001)/(00-1) PbTiO3 thin film

T. Yanagitani, K. Katada, M. Suzuki, K. Wasa

IEEE International Ultrasonics Symposium2014年09月03日

RF bias induced polarity inversion of ScAlN film for overtone mode BAW resonator

M. Suzuki, and T. Yanagitani,

IEEE International Ultrasonics Symposium2014年09月03日

Effect of Sc concentration on shear wave velocities in ScAlN films measured by micro-Brillouin scattering technique

H. Ichihashi, T. Yanagitani, S. Takayanagi1, M. Matsukawa

IEEE International Ultrasonics Symposium2014年09月03日

Effect of sputtering target temperature on crystalline orientations of ZnO piezoelectric films in RF magnetron sputtering

C. Takata, S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa

IEEE International Ultrasonics Symposium2014年09月03日

Polarity of piezoelectric properties in bone induced by ultrasound irradiation

H. Tsuneda, I. Mano, E. Hernanz, K. Mizuno, T. Yanagitani, S. Takayanagi, M. Matsukawa

IEEE International Ultrasonics Symposium2014年09月03日

Sezawa mode SAW with high electromechanical coupling at the boundary of polarization-inverted (000-1)/(0001) ZnO, AlN and ScAlN films

S. Takayanagi, T.Yanagitani, M. Matsukawa

IEEE International Ultrasonics Symposium2014年09月03日

Measurement of Polarization Structure in Layered Piezoelectric Thin Films Using Scanning Nonlinear Dielectric Microscopy

H. Odagawa, T. Yanagitani, Y. Cho

European Conference on Application of Polar Dielectrics 20142014年07月07日

Second harmonic mode polarization inverted resonator consisting of PbTiO3 thin film

K. Katada, T. Yanagitani, M. Suzuki, K . Wasa

IEEE International Frequency Control Symposium2014年05月19日

High electromechanical coupling in PZT epitaxial thick film resonators at 550 degC

T. Yanagitani, K. Katada, M. Suzuki, K . Wasa

IEEE International Frequency Control Symposium2014年05月19日

High Tc / High Coupling Perovskite Thin Films

K. Wasa, T. Matsushima, H. Adachi, T. Matsunaga, T. Yanagitani, T. Yamamoto, S. Yoshina, and S. Tanaka

2014 Joint IEEE ISAF-IWATMD-PFM2014年05月12日

Detection of antigen-antibody reaction by thickness-shear mode resonators consisting of caxis parallel oriented ZnO films

K. Yoshida, T. Yanagitani, T. Kawamoto, S. Sasaki, M. Oba, Y. Kato, S. Takayanagi, Y. Watanabe

IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium2013年07月21日

Characterization of GHz electromechanical properties of PZT single crystalline thin Films without removing substrate

T. Yanagitani, M. Suzuki, K. Wasa

IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium 2013年07月21日

PZT-based high coupling with low permittivity thin films

K. Wasa, T. Matsushima, H. Adachi, T. Matsunaga, T. Yanagitani, T. Yamamoto, S. Trolier-McKinstry

IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium 2013年07月21日

Enhancement of electromechanical coupling kt in rare earth doped c-axis oriented GaN films

M. Suzuki, T. Yanagitani

IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium2013年07月21日

Electromechanical coupling kt and GHzl ongitudinal wave velocity in ScAlN films near phase boundary

M. Suzuki, T. Yanagitani

IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium2013年07月21日

Polarity control of c-axis oriented ZnO films and application to polarity-inverted ZnO multilayer resonators

R. Hashimoto, T. Yanagitani, Ryo Ikoma, S. Takayanagi1, M. Suzuki, H. Odagawa, M. Matsukawa

IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium2013年07月21日

Shear and longitudinal GHz elastic properties in GaN single crystals determined by Brillouin scattering method

H. Ichihashi, T. Sugimoto, T. Yanagitani, S. Takayanagi, M. Matsukawa

IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium 2013年07月21日

Orientation control of ZnO films by highly-energetic positive ion irradiation using RF substrate bias sputtering

S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa

IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium2013年07月21日

Multiple roundtrip SH-SAW liquid sensor using c-axis parallel oriented ZnO films on silica glass pipe

Y. Kato, T. Yanagitani, K. Imamura, S. Takayanagi, M. Matsukawa

IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium2013年07月21日

Electrical potentials in wet induced by ultrasound irradiation

H. Tsuneda, M. Okino, K. Mizuno, T. Yanagitani, S. Takayanagi, M. Matsukawa

European Symposium on Ultrasonic Characterization of Bone 2013 2013年05月00日

Polarization control of c-axis normal ScAlN film by ion beam irradiation

Masashi Suzuki, Yanagitani Takahiko, Hiroyuki Odagawa

International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications 2013年01月28日

Polarization control of the c-axis oriented ZnO films by ion bombardment during an RF magnetron sputtering

Ryo Ikoma, Takahiko Yanagitani, Shinji Takayanagi, Masashi Suzuki, Hiroyuki Odagawa,Mami Matsukawa

IEEE International Ultrason. Symp2012年10月07日

High electromechanical coupling of PMnN-PZT thin film resonator operating in the GHz range

Takahiko Yanagitani, Masashi Suzuki, Kiyotaka Wasa

IEEE International Ultrason. Symp2012年10月07日

Fast hypersonic velocity measurement by Brillouin scattering from induced phonons

Takeshi Sugimoto, Takahiko Yanagitani, Shinji Takayanagi, Mami Matsukawa

IEEE International Ultrason. Symp2012年10月07日

Metal grain ingot sputtering method for ScAlN film fabrication and for searching alternative element of Sc

Takahiko Yanagitani, Masashi Suzuki, Nobuhiro Suganuma

IEEE International Ultrason. Symp2012年10月07日

Polarization inverted (0001)/(000-1) ScAlN film resonators operating in second overtone mode

Masashi Suzuki, Takahiko Yanagitani,Hiroyuki Odagawa

IEEE International Ultrason. Symp2012年10月07日

Micro liquid viscometer by thickness-shear mode resonator with c-axis parallel oriented ZnO film

Yoshiya Kato, Takahiko Yanagitani,Mami Matsukawa, Mamoru Sawasaki,Takayuki Kawamoto, Yoshikazu Mori,Shinji Takayanagi, Syo Sasaki, Masatoshi Oba, Yoshiaki Watanabe

IEEE International Ultrason. Symp2012年10月07日

Bone ultrasound transducer in the MHz range

Masahiro Okino, Katsunori Mizuno, Shinji Takayanagi, Daisuke Suga, Takahiko Yanagitani, Mami Matsukawa

IEEE International Ultrason. Symp2012年10月07日

Fabrication of c-axis parallel oriented AlN and ScAlN films by RF bias sputtering

Shinji Takayanagi, Takahiko Yanagitani, Mami Matsukawa

IEEE International Ultrason. Symp2012年10月07日

Quantitative analysis of the effect of energetic particle bombardment during deposition on (11-20) ZnO piezoelectric films

S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa, Y. Watanabe

IEEE International Ultrason. Symp2011年10月18日

Polarizaion-inverted multilayered pure shear mode AlN film resonator

M. Suzuki, and T. Yanagitani

IEEE International Ultrason. Symp2011年10月18日

c-axis parallel oriented AlN film resonator fabricated by ion-beam assisted RF magnetron sputtering

M. Suzuki, and T. Yanagitani

IEEE International Ultrason. Symp2011年10月18日

Brillouin scattering from induced phonons excited by the ZnO piezoelectric thin film with a coaxial resonator

T. Sugimoto, H. Sano, T. Yanagitani, S. Takayanagi, M. Matsukawa

IEEE International Ultrason. Symp2011年10月18日

High temperature piezoelectricity in Mn doped ZnO film

K. Imamura, S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa, Y. Watanabe

IEEE International Ultrason. Symp2011年10月18日

c-axis parallel oriented ZnO film SH-SAW sensor for electrical conductivity measurement in liquid

Y. Nakahigashi, T. Yanagitani, M. Matsukawa, Y. Watanabe

IEEE International Ultrason. Symp2011年10月18日

Giant shear mode electromechanical coupling coefficient k15 in c-axis tilted ScAlN films

T. Yanagitani, K. Arakawa, M. Suzuki, K. Kano, T. Akihiko, A. Morito,

IEEE International Ultrasonics Symposium2010年10月11日

Highest wave velocity direction in the bovine cortical bone: observation of a small tilt relative to the bone axis

T. Nakatsuji, K. Yamamoto, T. Yanagitani, M. Matsukawa, K. Yamazaki

IEEE International Ultrasonics Symposium2010年10月11日

Deposition techniques of c-axis-tilted ScAlN films by conventional RF magnetron sputtering

K. Arakawa, T. Yanagitani, K. Kano, A. Teshigahara, M. Akiyama

IEEE International Ultrasonics Symposium2010年10月11日

Influence of shadowing effect on shear mode acoustic properties in the c-axis tilted AlN films

M Suzuki, and T. Yanagitani

IEEE International Ultrasonics Symposium2010年10月11日

Effects of HAp alignment and microstructure on the anisotropy of longitudinal wave velocity in bovine cortical bone

K. Yamamoto, T. Nakatsuji, Y. Yamato, T. Yanagitani, K. Yamazaki, M. Matsukawa, Y. Matsuyama

IEEE International Ultrasonics Symposium2010年10月11日

A simple technique for obtaining (11-20) or (10-10) textured ZnO films by RF bias sputtering

S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa, Y. Watanabe

IEEE International Ultrasonics Symposium2010年10月11日

Anisotropy of longitudinal wave velocity in spherically shaped bovine cortical bone

K. Yamamoto, T. Nakatsuji, M. Indo, T. Yanagitani, M. Matsukawa, K. Yamazaki

The third international conference on the development of Biomedical Engineering 2010年01月00日

Relationships between anisotropy of longitudinal wave velocity and HAp orientation in bovine cortical bone

Kazufumi YAMAMOTO, Tomohiro NAKATSUJI, Yuichiro YAOI, Yu YAMATO, Takahiko YANAGITANI, Mami MATSUKAWA, and Kaoru YAMAZAKI

3rd European Symposium on Ultrasonic Characterization of Bone2009年09月18日

Multilayered shear wave resonator consisting of c-axis tilted ZnO films

-

IEEE International Ultrasonics Symposium2009年09月00日

Measurement of electric properties in a ZnO single crystal via electromechanical coupling using Brillouin scattering method

-

IEEE International Ultrasonics Symposium2009年09月00日

Anisotropy of longitudinal wave velocity and HAp orientation in bovine cortical bone

Yaoi Y., Yamamoto K., Yanagitani T., Koizumi T., Matsukawa M., Yamazaki K., Nagano A.

International Congress on Ultrasonics (ICU) 20092009年01月11日

Ultrasonic wave properties in the bone axis direction of human and bovine cortical bone

Yamamoto K., Yaoi Y., Grondin J., Grimal Q., Yamato Y., Yanagitani T., Matsukawa M., Laugier P., Yamazaki K., Nagano A.

International Congress on Ultrasonics (ICU) 2009 2009年01月11日

Observation of induced shear acoustic phonons by Brillouin scattering

-

IEEE International Ultrasonics Symposium2008年11月00日

Pure-shear mode BAW resonators consisting of (11-20) textured ZnO films

-

IEEE International Ultrasonics Symposium2008年11月00日

Pure-shear mode BAW resonators consisting of (11-20) textured ZnO films

T. Yanagitani, M. Kiuch, M. Matsukawa and Y. Watanabe

Acoustics 082008年07月03日

Observation of induced shear acoustic phonons by Brillouin scattering

T. Yoshida, S. Murata, T. Yanagitani, M. Matsukawa

Acoustic 082008年07月01日

Ultrasonic wave properties in the bone axis direction of bovine cortical bone

K. Yamamoto, Y. Yaoi, Y. Yamato, T. Yanagitani, T. Koizumi, M. Matsukawa, K. Yamazaki, A. Nagano

Acoustic 082008年07月01日

Electromechanical coupling coefficient of semiconducting hexagonal crystal measured by Brillouin scattering

-

IEEE International Ultrasonics Symposium2008年04月01日

Pure-shear mode BAW resonator consisting of (10-10) and (11-20) textured AlN films

-

IEEE International Ultrasonics Symposium2008年04月01日

Propagation characteristics of SH-SAW in (11 0) ZnO layer/silica glass substrate structures

-

IEEE Ultrason. Symp2007年04月01日

Thin film stack transducer for simultaneous generation of longitudinal and shear waves at same frequency

-

IEEE Ultrason. Symp2007年04月01日

Ion beam sputter-deposited ZnO thin film for broadband shear wave excitation in the GHz range

-

IEEE Ultrason. Symp2007年04月01日

Highly oriented c-axis 23° tilted ZnO films with high quasi-shear mode electromechanical coupling coefficients

-

IEEE Ultrason. Symp2007年04月01日

Effect of the preference of hydroxyapatite crystallites on longitudinal wave velocity at small ROIs in bovine cortical bone

Y. Yamato, M. Matsukawa, H. Mizukawa, T. Yanagitani, K. Yamamoto, K. Yamazaki, A. Nagano

International congress on Ultrasonics 2007年04月00日

Elastic anisotropy and crystallites orientation of the bovine cortical bone

M. Matsukawa, H. Mizukawa, T. Yanagitani, Y. Yamato, K. Yamazaki, A. Nagano

17th International Bone Densitometry Workshop 2006年11月00日

The effect of hydroxyapatite crystallite orientation on ultrasonic velocity in bovine cortical bone

Y. Yamato, K. Yamazaki, A. Nagano, H. Mizukawa, T. Yanagitani, M. Matsukawa

4th Joint Meeting Acoustical Society of America and Acoustical Society of Japan 2006年11月00日

Elastic Anisotropy and Crystallites Orientation in Bovine Cortical Bone

Y. Yamato, H. Mizukawa, T. Yanagitani, M. Matsukawa, K. Yamazaki and A. Nagano

IEEE Ultrason. Symp 2006年10月06日

Electromechanical Coupling Coefficient k15 and Crystallites Alignment of (11 0) Textured

T. Yanagitani, M. Kiuchi, M. Matsukawa and Y. Watanabe

IEEE Ultrason. Symp2006年10月04日

Temperature Characteristics of Pure Shear Mode FBARs Consisted of (11 0) Textured

T. Yanagitani, M. Kiuchi, M. Matsukawa and Y. Watanabe

IEEE Ultrason. Symp2006年10月04日

Study on Formation Mechanism of (11-20) Textured ZnO Films

K. Kawamoto, M. Matsukawa, Y. Watanabe and T. Yanagitani

IEEE Ultrason. Symp 2006年10月04日

Effect of the crystallites orientation on the elastic anisotropy in the bovine cortical bone

M. Matsukawa, H. Mizukawa, T. Yanagitani, Y. Yamato, K. Yamazaki, A. Nagano

The 9th Western Pacific Acoustics Conference2006年06月00日

The relationship between acoustic anisotropy and crystal orientation in bovine cortical bone

Y. Yamato, M. Matsukawa, T. Yanagitani, T. Otani, K. Yamazaki, A. Nagano

1st European Symposium on Ultrasonic Characterization of Bone 2006年03月00日

Electromechanical coupling coefficient k15 of (11 0) textured ZnO films

T. Yanagitani , N. Mishima, M. Matsukawa and Y. Watanabe

IEEE Ultrason. Symp2005年09月20日

Higher-order shear mode FBAR using polarization-inverted layers of (11 0) textured

Y. Miyamoto, T. Yanagitani , M. Matsukawa and Y. Watanabe

IEEE Ultrason. Symp2005年09月20日

Shear Wave Transducer Using (11-20) Textured ZnO Film

T, Yanagitani, T. Nohara, M, Matsukawa and T, Otani

IEEE Ultrason. Symp2004年08月27日

Nondestructive evaluation of thin ZnO shear transducer by Brillouin scattering

K. Shintani, T. Yanagitani, M. Matsukawa, Y. Watanabe and T. Otani

IEEE Ultrason. Symp2004年08月25日

イオンビーム照射成膜によるc軸垂直配向希土類GaN薄膜の形成

鈴木雅視,柳谷隆彦

第61 回応用物理学会春季学術講演会2014年03月17日

エピタキシャルPZT 厚膜を用いた高温600℃における高効率超音波励振

片田 克吉,鈴木雅視,柳谷隆彦,和佐清孝

日本音響学会春季研究発表会2014年03月10日

圧電効果を利用した導電率計測技術

柳谷隆彦

研究集会「地震学をとりまく固体地球物理学」2014年02月01日

エピタキシャルPZT系厚膜の高温550℃における高い電気機械結合係数

柳谷隆彦,片田克吉,鈴木雅視,和佐清孝

圧電材料・デバイスシンポジウム20142014年01月29日

PZT系エピタキシャル薄膜を用いた二次モード分極反転共振子

片田克吉,柳谷隆彦,鈴木雅視,和佐清孝

圧電材料・デバイスシンポジウム20142014年01月29日

c軸傾斜ScAlN薄膜の擬似すべりモード電気機械結合係数

鈴木雅視,片田克吉,柳谷隆彦

圧電材料・デバイスシンポジウム20142014年01月29日

音響電気効果を考慮したGaN単結晶のGHz域音速の温度・周波数分散測

市橋隼人,柳谷隆彦,高柳真司,松川真美

圧電材料・デバイスシンポジウム20142014年01月29日

c-axis parallel oriented multilayer AlN film grown by ion-beam assisted deposition

鈴木雅視、柳谷隆彦

第23回日本MRS年次大会2013年12月10日

c 軸傾斜および平行配向ScAlN 薄膜/ 基板構造における弾性表面波の高い電気機械結合係数

高柳真司 柳谷隆彦 松川真美

第34回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム2013年11月20日

Brillouin 散乱法を用いたGaN 単結晶の音速分散測定

市橋隼人 柳谷隆彦 高柳真司 川部昌彦 松川真美

第34回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム2013年11月20日

ScAlN 膜における相境界付近のGHz 帯圧電特性と弾性温度係数

鈴木雅視 柳谷隆彦

第34回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム2013年11月20日

GHz 帯超音波励振を用いたエピタキシャルPZT 薄膜の分極反転挙動観察

柳谷隆彦 鈴木雅視 和佐清孝

第34回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム2013年11月20日

イオンビームアシスト成膜法によるc軸平行螺旋構造AlN薄膜の形成

鈴木雅視,柳谷隆彦

第74回応用物理学会秋季学術講演会2013年09月19日

イオンビームアシスト成膜によるc軸平行極性反転AlN多層構造の形成

鈴木雅視,柳谷隆彦

第60回応用物理学会春季学術講演会2013年03月29日

希土類を添加したGaN薄膜の相境界付近における巨大圧電性

鈴木雅視,伊藤一也,柳谷隆彦

第60回応用物理学会春季学術講演会 2013年03月27日

PZT系単結晶薄膜のGHz帯圧電特性とバイアス印可時の分極反転挙動

柳谷隆彦,鈴木雅視,和佐清孝

圧電材料・デバイスシンポジウム20132013年01月23日

AlN系薄膜におけるイオンビームを用いたc軸平行螺旋構造およびc軸垂直極性反転構造の形成

鈴木雅視,柳谷隆彦

圧電材料・デバイスシンポジウム20132013年01月23日

希土類を添加したAlNおよびGaN薄膜の圧電特性

伊藤一也,鈴木雅視,柳谷隆彦

圧電材料・デバイスシンポジウム20132013年01月23日

Al2O3粒スパッタ法よる(0001)配向ScAlN薄膜の極性制御と極性反転共振子

鈴木雅視,柳谷隆彦,小田川裕之

第33回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム2012年11月15日

巨大圧電性 (0001) ScAlGaN薄膜

伊藤 一也,鈴木 雅視,柳谷 隆彦

第33回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム2012年11月15日

c 軸垂直極性反転ScAlN 多層膜を用いた高次モード音響共振子

鈴木雅視,柳谷隆彦

日本音響学会2012年秋季研究発表会2012年09月20日

イオンビーム照射成膜による(0001)配向ScAlN薄膜の極性制御と極性反転構造の実現

鈴木雅視,柳谷隆彦,小田川裕之

第73回応用物理学会学術講演会2012年09月13日

Sc粒スパッタによる巨大圧電性(0001)ScAlN薄膜共振子の作製

柳谷隆彦,菅沼信広,鈴木雅視

応用物理学関係連合講演会2012年03月18日

c軸平行配向AlN圧電膜を用いた高次モード極性反転すべりモード共振子

鈴木雅視,柳谷隆彦

日本音響学会2012年春季研究発表会2012年03月13日

Bi(Me)O3-PbTiO3 高キュリー温度セラミックスの単結晶薄膜化

和佐清孝,松嶋朝明,足立秀明,松永利之,柳谷隆彦,山本孝

圧電材料・デバイスシンポジウム20142014年01月29日

超音波照射により皮質骨に発生する誘発電位の検討

常田裕子,都築温実,水野勝紀,柳谷隆彦,高柳真司,松川真美

圧電材料・デバイスシンポジウム20142014年01月29日

極性反転ZnOおよびAlN系薄膜の境界を伝搬するセザワ波の高い電気機械結合係数

高柳真司,柳谷隆彦,松川真美

圧電材料・デバイスシンポジウム20142014年01月29日

RFバイアス三極スパッタ法によるイオン照射を用いたO面,Zn面,a面およびm面ZnO薄膜の配向制御

橋本亮介,高柳真司,柳谷隆彦,松川真美

圧電材料・デバイスシンポジウム20142014年01月29日

c軸平行配向ZnO膜/平面・円管状石英上を伝搬するSH-SAWの液体センサ応用

加藤善也,柳谷隆彦,高柳真司,日山彰子,横山晋哉,松川真美

圧電材料・デバイスシンポジウム20142014年01月29日

厚み共振を利用した圧電薄膜成長初期における無配向層の厚み評価

高柳真司,柳谷隆彦,松川真美

第74回応用物理学会秋季学術講演会2013年09月17日

超音波照射による骨の誘発電位

常田裕子, 沖野正裕, 水野勝紀, 柳谷隆彦, 高柳真司, 松川真美,

平成25年度第2回アコースティックイメージング研究会 2013年08月00日

MHz域の超音波照射による骨の誘発電位

常田裕子, 沖野正裕, 水野勝紀, 柳谷隆彦, 高柳真司, 松川真美

第33回日本骨形態計測学会2013年07月00日

超音波骨トランスデューサの受波感度の検討

常田裕子, 沖野正裕, 水野勝紀, 柳谷隆彦, 高柳真司, 松川真美

日本音響学会2013年春季研究発表会2013年03月00日

RFバイアススパッタ法による高エネルギー正イオン照射を用いた六方晶系圧電薄膜の配向制御

高柳 真司,柳谷 隆彦,松川 真美

圧電材料・デバイスシンポジウム20132013年01月23日

180º,90R散乱配置を用いたBrillouin散乱計測によるGaNの弾性定数測定

市橋隼人、柳谷隆彦、高柳真司、川部昌彦、松川真美

第62回応用物理学会春季学術講演会2015年03月12日

RFマグネトロンスパッタ法におけるZnOターゲット温度がc軸平行配向ZnO膜の形成に及ぼす影響

高田千裕、高柳真司、柳谷隆彦、松川真美

第62回応用物理学会春季学術講演会2015年03月12日

RFバイアス三極スパッタ法におけるイオン照射を利用したO面,Zn面,a面およびm面ZnO薄膜の形成

橋本亮介、高柳真司、柳谷 隆彦、松川真美

第62回応用物理学会春季学術講演会2015年03月12日

超音波照射による骨中誘発電位の極性について

常田裕子,松川沙弥果,真野功,水野勝紀,柳谷隆彦,高柳真司,松川真美

圧電材料・デバイスシンポジウム20152015年02月18日

基板付き圧電薄膜のkt評価法の比較

小林勇太,鈴木雅視,柳谷隆彦,荒川元孝,大橋雄二

圧電材料・デバイスシンポジウム20152015年02月18日

走査型非線形誘電率顕微法による層状構造圧電薄膜の極性評価

小田川裕之,寺田浩士朗,西川宏明,柳谷隆彦,長康雄

圧電材料・デバイスシンポジウム20152015年02月18日

ScAlN薄膜における弾性定数テンソルのSc濃度依存性

柳谷隆彦,市橋隼人,鈴木雅視,高柳真司,松川真美

圧電材料・デバイスシンポジウム20152015年02月18日

陽極RFバイアス法による2次モード(000-1)/(0001)ScAlN FBAR

鈴木雅視,柳谷隆彦

圧電材料・デバイスシンポジウム20152015年02月18日

Second overtone mode polarization inverted HBAR consisting of (001)/(00-1) PbTiO3 epitaxial

Takahiko Yanagitani, Katsuyoshi Katada, Masashi Suzuki, Kiyotaka Wasa

The 35th Symposium on Ultrasonic Electronics2014年12月03日

Elastic constants c11 and c66 in ScxAl1-xN films determined by Brillouin scattering method

Hayato Ichihashi, Takahiko Yanagitani, Masashi Suzuki, Shinji Takayanagi, Masahiko Kawabe, Mami Matsukawa

The 35th Symposium on Ultrasonic Electronics2014年12月03日

Brillouin scattering measurement using induced phonon from ScAlN piezoelectric thin film

Masahiko Kawabe, Takahiko Yanagitani, Hayato Ichihashi, Shinji Takayanagi, Masashi Suzuki, Mami Matsukawa

The 35th Symposium on Ultrasonic Electronics2014年12月03日

Effects of microstructure on bone piezoelectricity in the MHz range

Hiroko Tsuneda, Sayaka Matsukawa, Isao Mano, Katsunori Mizuno, Takahiko Yanagitani, Shinji Takayanagi, Mami Matsukawa

The 35th Symposium on Ultrasonic Electronics2014年12月03日

Propagation characteristics of SH-wave in c-axis parallel oriented ZnO film/silica glass pipe

Shoko Hiyama, Takahiko Yanagitani, Shinji Takayanagi, Mami Matsukawa

The 35th Symposium on Ultrasonic Electronics2014年12月03日

Second overtone mode (0001)/(000-1) ScAlN multilayer FBARs fabricated by anode RF bias

Masashi Suzuki, Takahiko Yanagitani

The 35th Symposium on Ultrasonic Electronics2014年12月03日

PbTiO3エピタキシャル薄膜を用いた二次モード分極反転共振子

片田克吉、柳谷隆彦、鈴木雅視、和佐清孝

電子情報通信学会 超音波研究会2014年10月22日

イオン照射による極性反転 ScAlN 薄膜の形成と高次モードFBAR への応用

柳谷隆彦,鈴木雅視

EMシンポジウム20142014年06月05日

極性反転ScAlN系薄膜の境界を伝搬するセザワ波の高い電気機械結合係数

高柳真司,柳谷隆彦,松川 真美

EMシンポジウム20142014年06月05日

RFバイアススパッタ法により生じる高エネルギー正イオン照射を利用した六方晶系薄膜の配向制御

高柳真司,柳谷隆彦,松川真美

第60回応用物理学会春季学術講演会2013年03月29日

Brillouin散乱法によるGaN単結晶の音波物性測定

市橋隼人,杉本剛士,柳谷隆彦,高柳真司,松川真美

第60回応用物理学会春季学術講演会2013年03月29日

c軸傾斜配向ZnOまたはScAlN膜のレイリーSAWにおける高い電気機械結合

加藤善也,柳谷隆彦,高柳真司,今村功祐,松川真美

第60回応用物理学会春季学術講演会 2013年03月29日

c軸配向ZnO薄膜を用いた極性反転高次モード多層共振子

生駒遼,柳谷隆彦,高柳真司,鈴木雅視,小田川裕之,松川真美

第60回応用物理学会春季学術講演会2013年03月29日

IDT/c軸平行配向ZnO膜/円柱状石英ガラス上を多重周回するSH-SAWの液体中伝搬特性

今村功祐,柳谷隆彦,加藤善也,松川真美

第60回応用物理学会春季学術講演会2013年03月29日

c軸配向ZnO膜の極性制御と極性反転高次モード共振子への応用

生駒遼1,柳谷隆彦2,高柳真司1,鈴木雅視2,小田川裕之3,松川真美

圧電材料・デバイスシンポジウム20132013年01月23日

高温で高い圧電性を持つMnドープZnO薄膜

橋本亮介,柳谷隆彦,今村功祐,生駒遼,高柳真司,松川真美

圧電材料・デバイスシンポジウム20132013年01月23日

c軸傾斜配向ZnOまたはScAlN膜のレイリーSAWにおける高い電気機械結合係数

加藤善也,柳谷隆彦,高柳真司,今村功佑,松川真美

圧電材料・デバイスシンポジウム20132013年01月23日

c軸平行配向ZnO膜を用いた厚みすべりモード共振子によるアポリポタンパク質の濃度評価

吉田憲司,柳谷隆彦,川本貴之,佐々木昌,大場正利,加藤善也,高柳真司,渡辺好章

圧電材料・デバイスシンポジウム20132013年01月23日

IDT/c軸平行配向ZnO膜/円柱状石英ガラス上を多重周回するSH-SAWの液体中伝搬特性

今村功祐,柳谷隆彦,加藤善也,松川真美

圧電材料・デバイスシンポジウム20132013年01月23日

c軸傾斜配向ZnO膜/石英基板構造のレイリーSAWにおける高い電気機械結合係数

高柳 真司,柳谷 隆彦,今村 功祐,生駒 遼,杉本 剛士,松川 真美

第33回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム2012年11月15日

c軸配向ZnO薄膜における基板へのイオン照射を用いたZn面またはO面極性制御

生駒 遼 柳谷 隆彦 高柳 真司 鈴木 雅視 小田川 裕之 松川 真美

第33回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム2012年11月15日

MHz域における骨の電気機械変換特性

沖野 正裕 水野 勝紀 柳谷 隆彦3 クテル サビーヌ 松川 真美

第33回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム2012年11月15日

RFバイアススパッタ法によるc軸平行配向AlN及びScAlN薄膜の形成

高柳真司,柳谷隆彦,松川真美

第73回応用物理学会学術講演会2012年09月14日

RFマグネトロンスパッタ法における基板へのイオン照射を用いた c軸配向ZnO薄膜の極性制御

生駒遼,柳谷隆彦,高柳真司,鈴木雅視,小田川裕之

第73回応用物理学会学術講演会2012年09月14日

圧電薄膜の配向制御技術と液中横波励振

柳谷隆彦

スマート・アクチュエータ/センサ委員会定例会2012年07月27日

イオンビームアシストスパッタ法によるc軸平行AlN薄膜/石英基板の形成

鈴木雅視,柳谷隆彦

応用物理学関係連合講演会2012年03月17日

マグネトロンスパッタ源から生成される高エネルギー負イオン照射によるZnO膜の配向制御

高柳真司1,柳谷隆彦2,松川真美1,渡辺好章1

応用物理学関係連合講演会2012年03月17日

c軸平行配向ZnO膜を用いたSH-SAWセンサによる液体の導電率測定

中東佑太1,柳谷隆彦2,松川真美1,渡辺好章1

応用物理学関係連合講演会2012年03月17日

Sc粒スパッタによる巨大圧電性(0001)ScAlN薄膜の作製 -効率的なSc代替材料探索を目指した成膜法-

菅沼信広,鈴木雅視,柳谷隆彦

圧電材料・デバイスシンポジウム20122012年01月30日

c軸平行配向ZnO膜を用いた厚みすべりモード共振子による液体の粘性評価

澤崎守1,川本貴之2,1,森嘉一2,柳谷隆彦3,吉田憲司1,加藤善也1,高柳真司1,佐々木昌2,大場正利2,松川真美1,渡辺好章1

圧電材料・デバイスシンポジウム20122012年01月30日

マグネトロンスパッタ源から生成する高速負イオンを利用したZnO膜の配向制御

高柳真司,柳谷隆彦,松川真美,渡辺好章

圧電材料・デバイスシンポジウム20122012年01月30日

(0001)配向AlNおよびScAlN薄膜を用いた極性反転共振子

鈴木雅視,菅沼信広,柳谷隆彦,小田川裕之

圧電材料・デバイスシンポジウム20122012年01月30日

IBAD 法によるc 軸平行配向AlN 薄膜を用いた極性反転多層膜すべり共振子

鈴木雅視,菅沼信広,柳谷隆彦

第32回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム2011年11月09日

Sc 粒のスパッタにより作製したScAlN 薄膜の電気機械結合係数

菅沼信広,鈴木雅視,柳谷隆彦

第32回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム2011年11月09日

IBAD法を用いたc軸平行配向AlN薄膜の作製および極性反転すべり共振子への応用

鈴木雅視,菅沼信広,柳谷隆彦

電子情報通信学会超音波研究会2011年09月27日

c軸平行配向ZnO膜/非晶質基板上を伝搬するSH-SAWの電気機械結合係数

中東佑太・柳谷隆彦・松川真美・渡辺好章

電子情報通信学会超音波研究会2011年09月26日

ZnO圧電薄膜によるGHz域の励起フォノンを利用した高速Brillouin散乱測定

杉本剛士・佐野広幸・柳谷隆彦・高柳真司・松川真美

電子情報通信学会超音波研究会 2011年07月28日

曲面試料上に成膜したZnO 薄膜からの励起フォノンによるBrillouin 散乱

杉本剛士,佐野広幸,中東佑太,高柳真司,柳谷隆彦,松川真美

日本音響学会春季研究発表会2011年03月09日

c軸平行配向ZnO膜/非圧電性基板構造におけるSH-SAWの電気機械結合係数およびセンサ応用の検討

中東佑太, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章

圧電材料・デバイスシンポジウム20112011年02月01日

c軸平行配向AlN薄膜を用いた極性反転すべり共振子

鈴木雅視, 柳谷隆彦

圧電材料・デバイスシンポジウム20112011年01月31日

c-axis parallel oriented ZnO film depositions by variable frequency RF bias sputtering

S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa, Y. Watanabe

第31回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム2010年12月08日

Three dimensional anisotropy of ultrasonic wave velocity in bovine cortical bone - Effects of HAp crystallites orientation and microstructure -

中辻 知宏 山本 和史 山下 圭祐1 柳谷 隆彦 松川 真美1 山崎 薫 松山 幸弘

第31回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム2010年12月08日

Giant shear mode electromechanical coupling in c-axis tilted ScAlN films

Takahiko Yanagitani, Arakawa Kazuki, Suzuki Masashi, Kano Kazuhiko, Akihiko

第31回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム2010年12月08日

Observation of induced phonons by ZnO transducer with coaxial microwave resonator using Brillouin scattering

H. Sano, T Yanagitani, S. Takayanagi, M. Matsukawa, N. Ohtori

第31回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム2010年12月06日

In-plane and out-of-plane orientation control of AlN films by ion beam assisted RF magnetron sputtering

鈴木 雅視 柳谷 隆彦

第31回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム 2010年12月06日

c軸傾斜配向ScAlN膜の擬似すべりモードにおける巨大圧電性

柳谷隆彦、荒川和樹、鈴木雅視、加納一彦、勅使河原明彦、秋山守人

電子情報通信学会 超音波研究会2010年10月14日

Brillouin散乱法による同軸共振器と圧電薄膜を用いた励起フォノンの観測

佐野広幸,柳谷隆彦,高柳真司、松川真美

電子情報通信学会超音波研究会2010年09月30日

RFバイアススパッタ法によるc軸平行配向ZnO薄膜の形成 ~ バイアス周波数が配向性に及ぼす影響 ~

高柳真司、柳谷隆彦、松川真美、渡辺好章

電子情報通信学会超音波研究会2010年09月30日

ウシ左右大腿骨皮質骨中の特徴的な3次元音速異方性 ~ 最大音速方向の骨軸からのずれについて ~

中辻知宏・山本和史・高柳真司・柳谷隆彦・松川真美・山崎薫)

電子情報通信学会超音波研究会2010年09月30日

c 軸傾斜配向ScAlN 膜の擬似すべりモードにおける巨大圧電性

柳谷隆彦、秋山守人

日本音響学会秋季研究発表会2010年09月15日

Brillouin 散乱法による導電性ZnO 単結晶を用いた擬似すべりモード電気機械結合係数k15´の評価

佐野広幸,柳谷隆彦,松川真美

日本音響学会秋季研究発表会2010年09月14日

RFバイアススパッタ法による簡便な(11-20)および(10-10)配向ZnO膜の形成

高柳真司,柳谷隆彦,松川真美,渡辺好章

第57回 応用物理学関係連合講演会2010年03月17日

傾斜配向AlN膜の結晶粒界と横波音響特性

鈴木雅視,柳谷隆彦

日本音響学会春季研究発表会2010年03月08日

Brillouin散乱法による圧電半導体の面内方向抵抗率評価

柳谷隆彦,佐野広幸,松川真美

日本音響学会春季研究発表会2010年03月01日

傾斜配向AlN膜の構造が横波音響特性におよぼす影響

鈴木雅視,柳谷隆彦

圧電材料・デバイスシンポジウム20102010年02月01日

RFバイアススパッタ法による簡便な面内配向ZnO薄膜の形成

高柳真司,柳谷隆彦,松川真美,渡辺好章

圧電材料・デバイスシンポジウム20102010年02月01日

Piezoelectric properties of c-axis highly tilted AlN films

鈴木雅視,柳谷隆彦

The 30th Symposium on Ultrasonic Electronics2009年11月18日

Measurement of in-plane electric properties in a wide band-gap semiconductor by Brillouin scattering method

柳谷隆彦,佐野広幸,松川真美

The 30th Symposium on Ultrasonic Electronics 2009年11月18日

Crystallographic characteristics of (11-20) textured ZnO piezoelectric films fabricated by magnetron sputtering with linear erosion

川本貴之,柳谷隆彦,松川真美,渡辺好章,森嘉一,佐々木昌,大場正利

The 30th Symposium on Ultrasonic Electronics 2009年11月18日

Multilayer shear mode resonator consisting of c-axis tilted ZnO films

守里直希,高柳真司,柳谷隆彦,松川真美,渡辺好章

The 30th Symposium on Ultrasonic Electronics 2009年11月18日

ウシ大腿骨皮質骨の縦波音速異方性とHAp結晶配向

山本 和史,大和 雄,山崎 薫,長野 昭、矢追 佑一郎,中辻 智宏,松川 真美、柳谷隆彦

日本整形外科学会基礎学術集会2009年11月05日

Brillouin散乱法による圧電半導体の面内方向電気特性評価に関する検討

柳谷隆彦,佐野広幸,松川真美

電子情報通信学会超音波研究会2009年09月22日

c軸傾斜反転配向ZnO多層膜の作製と横波共振子への応用

守里直希・高柳真司,柳谷隆彦,松川真美,渡辺好章

電子情報通信学会超音波研究会2009年09月22日

直線状エロージョンマグネトロンスパッタリングによる(11-20)配向ZnO圧電膜の大面積成膜

川本貴之,柳谷隆彦,松川真美,渡辺好章,森嘉一,佐々木昌,大場正利

電子情報通信学会超音波研究会2009年09月22日

ウシ大腿骨皮質骨中の超音波縦波音速 ハイドロキシアパタイト結晶配向と微細構造の影響

矢追佑一郎, 松川真美, 山本和史, 山崎薫, 柳谷隆彦

電子情報通信学会超音波研究会2009年06月00日

ヒト及びウシ円環状皮質骨における骨軸方向への超音波伝搬特性

大和雄  山崎薫 長野昭 松川真美  矢追佑一郎 中辻智宏 柳谷隆彦

日本骨形態計測学会2009年05月30日

Brillouin散乱法による圧電半導体の面内方向抵抗率分布の評価

柳谷隆彦,吉田泰祐,佐野広幸,松川真美

第56回応用物理学関係連合講演会2009年03月30日

Anisotropy of longitudinal ultrasound velocity and HAp orientation in bovine cortical bone

Yuichiro Yaoi, Kazufumi Yamamoto1, Takahiko Yanagitani, Mami Matsukawa, Kaoru Yamazaki, Akira Nagano

The 29th Symposium on Ultrasonic Electronics 2008年11月11日

Electromechanical coupling coefficient of semiconducting piezoelectric crystal measured by Brillouin scattering

Taisuke Yoshida, Takahiko Yanagitani, Mami Matsukawa

The 29th Symposium on Ultrasonic Electronics2008年11月11日

Pure-shear mode BAW resonator consisting of (1120) textured AlN films

Takahiko Yanagitani, Masato Kiuchi

The 29th Symposium on Ultrasonic Electronics2008年11月11日

(11-20)配向AlN圧電薄膜を用いた純横波モード共振子

柳谷隆彦,木内正人,松川真美

第69回応用物理学会学術講演会2008年09月05日

Brillouin散乱法を用いた六方晶系圧電薄膜の評価

吉田泰祐,坂本雅則,柳谷隆彦,松川真美

圧電材料・デバイスシンポジウム20082008年01月25日

超音波による骨質の評価

山崎薫,大和雄,山本和史,長野昭,松川真美、矢追祐一郎,柳谷隆彦

第9回日本骨粗鬆症学会2007年11月14日

Propagation characteristics of SH-SAW in (11-20) ZnO film/silica glass substrate structures

A. Tanaka, T. Yanagitani, M. Matsukawa, and Y. Watanabe

The 28th Symposium on Ultrasonic Electronics2007年11月13日

Texture control of ZnO piezoelectric films by ion beam irradiation

柳谷隆彦,木内正人

The 28th Symposium on Ultrasonic Electronics2007年11月13日

A c-axis tilted ZnO film transducer for simultaneous excitation of longitudinal and shear waves

T. Matsuo, T. Yanagitani, M. Matsukawa, and Y. Watanabe

The 28th Symposium on Ultrasonic Electronics2007年11月13日

(11-20)ZnO膜/石英基板構造のSH型SAW伝搬特性

田中厚志,柳谷隆彦,松川真美,渡辺好章

電子情報通信学会超音波研究会2007年09月28日

c軸傾斜配向ZnO膜を用いたVHF帯縦波横波同時励振トランスデューサ

松尾卓也,柳谷隆彦,松川真美,渡辺好章

第68回応用物学会学術講演会2007年09月28日

c軸傾斜配向ZnO 膜を用いた縦波横波同時励振トランスデューサ

松尾卓也,柳谷隆彦,松川真美,渡辺好章

日本音響学会秋季研究発表会2007年09月20日

(11-20)面配向ZnO膜/石英基板構造のSH型SAW伝搬特性

田中厚志,柳谷隆彦,松川真美,渡辺好章

第68回応用物学会学術講演会2007年09月04日

Brillouin 散乱法を用いたガラス中の横波励起フォノンの観測

吉田 泰祐,村田 茂雄,松川 真美,柳谷 隆彦

日本音響学会春季研究発表会2007年03月13日

面内配向ZnO 多結晶膜/基板構造におけるSH 型SAW 特性

田中 厚志,松川 真美,渡辺 好章,柳谷 隆彦

日本音響学会春季研究発表会2007年03月13日

(11-20)ZnO膜/石英基板構造におけるSH型SAW特性

田中厚志、松川真美、渡辺好章, 柳谷隆彦

圧電材料・デバイスシンポジウム20072007年01月30日

イオンチャネリング効果によるZnO圧電膜の配向制御に関する検討

柳谷隆彦、木内正人

圧電材料・デバイスシンポジウム2007 2007年01月30日

c軸傾斜配向ZnO膜の電気機械結合係数と縦波横波同時励振トランスデューサへの適用

松尾卓也、松川真美、渡辺好章,柳谷隆彦

圧電材料・デバイスシンポジウム20072007年01月29日

横波モード圧電デバイスを目的としたイオンビームアシスト蒸着法による面内配向ZnO薄膜の作製

柳谷隆彦,木内正人

表面技術フォーラム2006年12月07日

Effects of sputtering gas on the formation of (11-20) textured ZnO films

Takayuki Kawamoto, Mami Matsukawa, Yoshiaki Watanabe, Takahiko Yanagitani

第27回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム2006年11月15日

Observation of induced shear acoustic phonons by Brillouin scattering

Shigeo Murata‡, Takayuki Kawamoto, Mami Matsukawa, Takahiko Yanagitani

第27回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム 2006年11月15日

Longitudinal wave velocity and orientation of HAp crystallites in local area of bovine femoral cortical bone

Yu Yamato† (Hamamatsu, Hirofumi Mizukawa, Takahiko Yanagitani,Mami Matsukawa Kaoru Yamazaki, Akira Nagano

第27回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム 2006年11月15日

Characteristics of shear mode FBAR using (11-20) textured ZnO films

Takahiko Yanagitani‡, Masato Kiuchi, Mami Matsukawa, Yoshiaki Watanabe

第27回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム 2006年11月15日

c軸傾斜配向ZnO 膜の形成および圧電特性

松尾 卓也,田中 厚志,松川 真美,渡辺 好章,柳谷 隆彦

日本音響学会秋季研究発表会2006年09月13日

ウシ皮質骨の弾性異方性と結晶配向性

水川 裕文,松川 真美,柳谷 隆彦,大和 雄,山崎 薫,長野 昭

日本音響学会春季研究発表会2006年03月14日

面内配向ZnO 膜を用いたすべりモード薄膜共振子の特性

柳谷 隆彦,松川 真美,渡辺 好章

日本音響学会春季研究発表会 2006年03月14日

面内配向ZnO膜のk15の評価およびすべりモード薄膜共振子への応用

川本貴之、三島夏樹、柳谷隆彦、松川真美、渡辺好章

圧電材料・デバイスシンポジウム20062006年02月00日

牛皮質骨の超音波伝搬特性と結晶配向

大和雄、松川真美,柳谷隆彦,水川裕文、山崎薫、大谷隆彦、長野昭

第26回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム2005年11月00日

面内配向ZnO薄膜の結晶性向上と膜厚均一化に関する検討

宮本善則,柳谷隆彦,松川真美,渡辺好章,大谷隆彦

面内配向ZnO薄膜の結晶性向上と膜厚均一化に関する検討2005年09月00日

面内配向ZnO薄膜の作製条件に関する検討

川本貴之,柳谷隆彦,松川真美,渡辺好章

日本音響学会秋季研究発表会2005年09月00日

面内配向ZnO膜の電気機械結合係数k15の評価

三島夏樹,柳谷隆彦,松川真美,渡辺好章

日本音響学会秋季研究発表会2005年09月00日

面内配向ZnO膜の圧電性評価と共振器への応用

三島夏樹,柳谷隆彦,松川真美,渡辺好章

電子情報通信学会超音波研究会2005年09月00日

面内配向ZnO膜の圧電性

柳谷隆彦,三島夏樹,松川真美,渡辺好章,大谷隆彦

第34回EMシンポジウム2005年05月00日

顕微ブリユアン光散乱法を用いたZnO薄膜の非破壊評価

村田茂雄,大和哲郎,新谷和明,柳谷隆彦,松川真美

日本音響学会春季研究発表会2005年03月00日

(11-20)面配向ZnO圧電膜の結晶性向上および膜厚分布の低減

柳谷隆彦,野原拓也,松川真美,渡辺好章,大谷隆彦

圧電材料・デバイスシンポジウム20052005年02月00日

面内配向ZnO薄膜を用いた横波トランスデューサの変換特性

野原拓也,柳谷隆彦,松川真美,渡辺好章,大谷隆彦

圧電材料・デバイスシンポジウム20052005年02月00日

面内配向ZnO 薄膜を用いた横波トランスデューサ

柳谷隆彦,松川真美,渡辺好章,大谷隆彦

電気関係学会関西支部連合大会2004年11月00日

顕微ブリユアン光散乱法による面内配向ZnOフィルムの評価

新谷和明,柳谷隆彦,松川真美,大谷隆彦

第25回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム2004年10月00日

面内配向ZnO薄膜を用いたトランスデューサの評価

柳谷隆彦,松川真美,渡辺好章,大谷隆彦

第25回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム2004年10月00日

横波励振を目的とした面内配向ZnO薄膜の結晶性向上に関する検討

宮本善則,柳谷隆彦,松川真美,渡辺好章,大谷隆彦

日本音響学会秋季研究発表会2004年09月00日

面内配向ZnO 薄膜を用いた横波トランスデューサ

柳谷隆彦,野原拓也,松川真美,渡辺好章,大谷隆彦

日本音響学会春季研究発表会2004年03月00日

(11-20)面配向ZnO薄膜による横波トランスデューサの作製

柳谷隆彦,野原拓也,松川真美,渡辺好章,大谷隆彦

圧電材料・デバイスシンポジウム20042004年01月00日

面内配向ZnO 薄膜による横波励振の検討

柳谷隆彦,野原拓也,松川真美,渡辺好章,大谷隆彦

第24回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム2003年11月00日

横波励振を目的とした面内配向ZnO薄膜の開発

柳谷隆彦,野原拓也,松川真美,渡辺好章,大谷隆彦

電子情報通信学会超音波研究会2003年09月00日

ZnO薄膜を用いた横波トランスデューサの検討

野原拓也,柳谷隆彦,松川真美,渡辺好章,大谷隆彦

日本音響学会秋季研究発表会2003年09月00日

金属膜上に作製されたZnO 面内一方向配向膜の特性

柳谷隆彦,松川真美,大谷隆彦,三原敏行

日本音響学会2003年春季研究発表会2003年03月00日

特許

整理番号:1793

圧電体薄膜及びそれを用いた圧電素子(日本, PCT)

柳谷 隆彦, 鈴木 雅視

特願2016- 92976、特開2017-201050

整理番号:1923

トランス及び該トランスを用いたレクテナ(日本)

柳谷 隆彦, 唐澤 嶺

特願2017- 90568、特開2018-190800

外部研究資金

科学研究費採択状況

研究種別:科学研究費補助金  (基盤研究(B))  代表

横波超音波の固有振動数変動による抗原抗体反応の高感度質量計測

2016年04月-2019年03月

配分額:¥16380000

研究種別:科学研究費補助金  (挑戦的萌芽研究)  代表

極性反転多層構造の巨大圧電性薄膜を用いたGHz帯高分解能超音波プローブの実現

2015年04月-2017年03月

配分額:¥3770000

研究種別:科学研究費補助金  (若手研究(B))  代表

高感度センサMEMSを目指した巨大横波圧電薄膜の開発

2011年04月-2014年03月

配分額:¥4550000

研究種別:科学研究費補助金  (若手研究(B))  代表

圧電薄膜を用いた表面波型液体計測センサの開発

2009年04月-2011年03月

配分額:¥4420000

研究種別:科学研究費補助金 (特別研究員奨励費) 代表

面内配向六方晶系薄膜の創製および横波モード共振小型分子間相互作用センサへの応用

2007年04月-2009年03月

配分額:¥2000000

研究種別:科学研究費補助金 (挑戦的萌芽研究) 分担

光散乱法を用いた非接触圧電特性評価システムの開発

2012年04月-2014年03月

研究種別:科学研究費補助金  (基盤研究(B))  分担

超音波照射により生じる骨中の圧電現象の計測と評価

2012年04月-2015年03月

研究種別:

高速負イオン発生抑制成膜による安価なCeを用いたAlN薄膜の圧電性増幅

2018年-0月-2021年-0月

配分額:¥6370000

研究種別:

横波超音波の固有振動数変動による抗原抗体反応の高感度質量計測

2016年-0月-2019年-0月

配分額:¥16380000

研究種別:

極性反転多層構造の巨大圧電性薄膜を用いたGHz帯高分解能超音波プローブの実現

2015年-0月-2017年-0月

配分額:¥3770000

研究種別:

走査型非線形誘電率顕微法による極性反転圧電薄膜の層状構造測定法の研究

2015年-0月-2018年-0月

配分額:¥4810000

研究種別:

高感度センサMEMSを目指した巨大横波圧電薄膜の開発

2012年-0月-2015年-0月

配分額:¥4550000

研究種別:

光散乱法を用いた非接触圧電特性評価システムの開発

2012年-0月-2014年-0月

配分額:¥4030000

研究種別:

超音波照射により生じる骨中の圧電現象の計測と評価

2012年-0月-2015年-0月

配分額:¥14950000

研究種別:

圧電薄膜を用いた表面波型液体計測センサの開発

配分額:¥4420000

研究種別:

GHz帯横波斜入射の複素反射率測定による抗原抗体反応の高感度粘弾性計測

2019年-0月-2022年-0月

配分額:¥16900000

研究資金の受入れ状況

提供機関:立石科学技術振興財団実施形態:研究助成金

研究助成2009年-

代表

提供機関:日東学術財団実施形態:研究助成金

助成2011年-

代表

提供機関:小野音響学研究助成実施形態:研究助成金

小野音響学研究助成2012年-

代表

提供機関:村田学術振興財団実施形態:研究助成金

研究助成2012年-

代表

提供機関:中部科学技術センター実施形態:研究助成金

学術奨励研究助成事業2013年-

代表

提供機関:鈴木謙三記念医科学応用研究財団実施形態:研究助成金

調査研究助成2013年-

代表

提供機関:大倉和親記念財団実施形態:研究助成金

研究助成2013年-

代表

提供機関:中谷医工計測技術振興財団実施形態:研究助成金

研究助成2013年-

代表

提供機関:堀科学芸術振興財団実施形態:研究助成金

研究助成(一般)2013年-

代表

提供機関:高橋産業経済研究財団実施形態:研究助成金

一般公募による助成2013年-

代表

学内研究制度

特定課題研究

巨大圧電性薄膜を用いた高感度プローブによる高分解能超音波像装置

2017年度

研究成果概要:本研究は、超音波映像装置に応用することを目指して、巨大圧電効果を持つ常誘電体薄膜について数十μm以上の厚膜成長させる技術を確立することを目的としている。RFマグネトロンスパッタ法を用いて膜応力を低減することで厚さ43μmのScAl...本研究は、超音波映像装置に応用することを目指して、巨大圧電効果を持つ常誘電体薄膜について数十μm以上の厚膜成長させる技術を確立することを目的としている。RFマグネトロンスパッタ法を用いて膜応力を低減することで厚さ43μmのScAlN厚膜トランスデューサの作製に成功した.ScAlN(0002)X線回折ピークのロッキングカーブ半値幅が4.4ºであり良好な配向性を示した。ネットワークアナライザで縦波変換損失を測定した結果、共振周波数が81MHzのときの電気機械結合係数ktは0.43とPZT系に匹敵する値であった.現在、広く実用化されているPVDF高分子膜と比べるとktがはるかに大きいこと示された。

極性反転多層構造の圧電薄膜を用いた高分解能超音波プロープの実現

2015年度共同研究者:鈴木雅視

研究成果概要:超音波顕微鏡装置において画像を高分解能化するには、超音波の高周波化と高出力化が必要である。また、高周波化するには使用する圧電体を薄膜化する。本研究では、圧電薄膜を極性反転多層させることにより、周波数を保ったまま耐電圧性を向上させか...超音波顕微鏡装置において画像を高分解能化するには、超音波の高周波化と高出力化が必要である。また、高周波化するには使用する圧電体を薄膜化する。本研究では、圧電薄膜を極性反転多層させることにより、周波数を保ったまま耐電圧性を向上させかつ励振面積を大きくし、超音波出力を向上させるものである。本研究では、圧電薄膜の中では最も圧電性の大きなScAlN薄膜とZnO薄膜についてスパッタリング成膜法による成長実験を行った。その結果、ZnO薄膜では300℃以上でプラズマ柱外では配向性が良いものが得られ、極性はO極性となることがわかった。これに対して、ScAlN薄膜では室温でプラズマ柱内では配向性が良いものが得られ、極性はAl極性となることを発見した。そこで、この技術を用いてAu上部電極薄膜/Al極性ScAlN薄膜/O極性ZnO薄膜/高配向Ti下部電極薄膜/石英ガラス基板構造の極性反転超音波プローブの作製に成功した。励振面積は2層反転することにより予想どおり2倍となった(50Ω整合時の面積が2倍)。この研究成果に基づいてIEEE超音波国際会議おける受賞(2016年)、超音波シンポジウム奨励賞(2016年)、応用物理学会講演奨励賞(2016年)を受賞した。

横波超音波の固有振動数変動による抗原抗体反応の高感度質量計測

2015年度共同研究者:鈴木雅視

研究成果概要:圧電薄膜の固有振動数変動を用いた高感度質量計測センサについて研究を行った。センサの面積を大きくすれば、それに比例して雑音(共振ピークの雑音)を小さくしていくことができ、測定感度を高くすることができると考えられる。しかし、50Ω計測...圧電薄膜の固有振動数変動を用いた高感度質量計測センサについて研究を行った。センサの面積を大きくすれば、それに比例して雑音(共振ピークの雑音)を小さくしていくことができ、測定感度を高くすることができると考えられる。しかし、50Ω計測系と整合させるにはセンサのキャパシタンスが定まり、おのずと電極面積が決定される。(膜厚は共振周波数で決定)。本研究では、イオンビームスパッタ法を用いて、酸素イオンビームの照射法を反転させることにより、極性が互いに反転したZnO圧電薄膜を積層成長する技術を開発した。作製した薄膜は高い横波圧電効果を有していることも確認した。これにより、共振周波数を維持したまま膜厚を反転層数倍させ、50Ω整合したままセンサ面積を反転層数倍させたセンサの作製に成功した。

高速負イオン発生抑制成膜による希土類添加AIN薄膜の巨大圧電性発現

2018年度共同研究者:唐澤嶺, 遠藤結佳, 清水貴博, 正宗千明, 松田有佳

研究成果概要:本研究では,製法及び不純物含有量の異なるScAl合金ターゲットを用意し,スパッタ成膜時に発生する負イオン照射量及びScAlN薄膜の圧電性へ及ぼす影響を比較した.アーク溶融ターゲット,焼結ターゲット,電子ビーム溶融ターゲットの3種類...本研究では,製法及び不純物含有量の異なるScAl合金ターゲットを用意し,スパッタ成膜時に発生する負イオン照射量及びScAlN薄膜の圧電性へ及ぼす影響を比較した.アーク溶融ターゲット,焼結ターゲット,電子ビーム溶融ターゲットの3種類のScAl合金ターゲットについてスパッタ成膜中の酸素負イオンO-及び窒化炭素負イオンCN-の発生量を計測した.ScAlN薄膜共振子を作製し,電気機械結合係数kt2を推定した結果,アーク溶融ターゲットで20.6%,焼結ターゲットで20.1%,電子ビーム溶融ターゲットで20.3%と,いずれのターゲットを用いても共に先行研究(kt2=18.5%)よりも高い圧電性を示したが,3種類のターゲットに大きな差は見られなかった.

現在担当している科目

科目名開講学部・研究科開講年度学期
電気・情報生命工学フロンティア先進理工学部2019春学期
電気・情報生命工学フロンティア  【前年度成績S評価者用】先進理工学部2019春学期
電気・情報生命工学実験B A組先進理工学部2019春学期
電気・情報生命工学実験B B組先進理工学部2019春学期
電気・情報生命工学実験B A組 【前年度成績S評価者用】先進理工学部2019春学期
電気・情報生命工学実験B B組 【前年度成績S評価者用】先進理工学部2019春学期
電気・情報生命工学実験C先進理工学部2019秋学期
電気・情報生命工学実験C  【前年度成績S評価者用】先進理工学部2019秋学期
プロジェクト研究A先進理工学部2019春学期
プロジェクト研究A  【前年度成績S評価者用】先進理工学部2019春学期
プロジェクト研究B先進理工学部2019秋学期
プロジェクト研究B  【前年度成績S評価者用】先進理工学部2019秋学期
卒業研究A先進理工学部2019春学期
卒業研究A  【前年度成績S評価者用】先進理工学部2019春学期
卒業研究B先進理工学部2019秋学期
卒業研究B (春学期) 先進理工学部2019春学期
卒業研究B  【前年度成績S評価者用】先進理工学部2019秋学期
卒業研究B (春学期)  【前年度成績S評価者用】先進理工学部2019春学期
電磁気学B (3クラス)先進理工学部2019秋学期
電磁気学B・演習 (3クラス)先進理工学部2019秋学期
プラズマエレクトロニクス先進理工学部2019秋学期
超音波デバイス 先進理工学部2019秋学期
電磁気学要論先進理工学部2019春学期
電磁気学要論  【前年度成績S評価者用】先進理工学部2019春学期
電磁気学要論演習先進理工学部2019春学期
電磁気学要論演習  【前年度成績S評価者用】先進理工学部2019春学期
Graduation Thesis A先進理工学部2019秋学期
Graduation Thesis B先進理工学部2019春学期
修士論文(電生)大学院先進理工学研究科2019通年
Research on Molecular Sensors and Devices大学院先進理工学研究科2019通年
分子センサデバイス研究大学院先進理工学研究科2019通年
分子センサデバイス特論大学院先進理工学研究科2019春学期
Advanced Seminar A大学院先進理工学研究科2019春学期
特別演習A大学院先進理工学研究科2019春学期
Advanced Seminar B大学院先進理工学研究科2019秋学期
特別演習B大学院先進理工学研究科2019秋学期
Seminar on Molecular Sensors and Devices A大学院先進理工学研究科2019春学期
分子センサデバイス演習A大学院先進理工学研究科2019春学期
Seminar on Molecular Sensors and Devices B大学院先進理工学研究科2019秋学期
分子センサデバイス演習B大学院先進理工学研究科2019秋学期
Seminar on Molecular Sensors and Devices C大学院先進理工学研究科2019春学期
分子センサデバイス演習C大学院先進理工学研究科2019春学期
Seminar on Molecular Sensors and Devices D大学院先進理工学研究科2019秋学期
分子センサデバイス演習D大学院先進理工学研究科2019秋学期
Master's Thesis (Department of Electrical Engineering and Bioscience)大学院先進理工学研究科2019通年
分子センサデバイス研究大学院先進理工学研究科2019通年